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《光机电信息》 2011年04期
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嵌入式静电驱动控制电源设计

杨会生  
【摘要】:分析了静电驱动原理以及失效原因,针对静电驱动的特点设计了用于静电驱动的控制电源,该电源采用内嵌DAC的ADuC842系统作为控制芯片,与信号采集及反馈电路一同构成闭环控制系统,控制DC-DC变换器产生大范围的稳定电压。输出电压范围15~80V,电压文波800mV。
【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【分类号】:TN86

【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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