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《光电子·激光》 2018年12期
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倒金字塔结构的黑硅PIN光电探测器的研究

王锦  陶科  李国峰  梁科  蔡宏琨  
【摘要】:由于晶体硅间接带隙的本质,光的吸收系数较低,影响了硅基光电探测器的量子效率。倒金字塔结构被证明是能够使得单晶硅片的光吸收效率接近Yablonovitch limit的有效陷光结构。本论文采用金属催化腐蚀技术在单晶硅上制备具有随机分布的倒金字塔陷光结构,并将其应用到PIN光电探测器。结果显示具有倒金字塔结构的黑硅PIN光电探测器加权平均反射率从20.18%降低至4.77%,探测器的漏电流仅0.9nA,光谱响应度达到0.64A/W,较常规硅探测器提高33%。这些结果表明金属催化腐蚀技术形成的倒金字塔结果能有效降低器件的表面反射率,从而提高探测器的光谱响应度。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王巍;武逶;白晨旭;冯其;冯世娟;王振;曹阳;;硅PIN光电探测器阵列的串扰分析[J];半导体光电;2013年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 王巍;杜超雨;王婷;鲍孝圆;陈丽;王冠宇;王振;黄义;;基于0.35μm CMOS工艺的APD器件仿真分析[J];半导体光电;2015年06期
2 龙弯;王睿;许中杰;;红外成像系统中串扰效应的研究现状与进展[J];激光与光电子学进展;2015年10期
3 赖莉萍;罗福;张蓉竹;;CMOS阵列响应过程中的电串扰特性研究[J];强激光与粒子束;2015年06期
4 陈珂;刘学聪;罗先卫;周新磊;彭伟;于清旭;;32通道光纤阵列式高灵敏飞秒激光光谱分析仪[J];光电子·激光;2015年01期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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2 William D.Meade ,段庆儒;射线探伤进入数字化时代[J];航空制造技术;2005年11期
3 郝国强,张永刚,刘天东,李爱珍;InGaAs PIN光电探测器的暗电流特性研究[J];半导体光电;2004年05期
4 盛丽艳,韩德俊,张秀荣,田晓娜,王传敏,杜树成,谢凡,王光甫;带保护环结构的条形X光阵列探测器[J];半导体学报;2003年02期
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9 杨电;赵先明;徐红春;;雪崩型光电探测器的自动老化测试的研究[A];第十四届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2012年
10 南瑶;于帅;许荣国;桑鹏;杨鸿儒;;陷阱型光电探测器量程扩展和响应灵敏度线性测量方法[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
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2 撰稿 本报记者 张希;宁企研发光电探测器 保障嫦娥三号平安“落月”[N];南京日报;2013年
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6 崔书娟;氧化镓基光电探测器的研制与研究[D];中国科学院大学(中国科学院物理研究所);2018年
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9 武思平;高性能聚合物光电探测器的研究[D];华南理工大学;2016年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 于文治;基于二维纳米材料的红外光电探测器研究[D];苏州大学;2017年
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