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《光电子.激光》 2011年08期
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反射式超精密定位智能控制系统的研究

张金龙  徐慧  刘京南  内田敬久  郭怡倩  
【摘要】:设计了一种基于反射激光莫尔信号的超精密定位装置,系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号,可实现高精度位置检测及超精密自动定位。针对反射式精密定位系统存在非线性,采用基于模糊神经网络的精密定位PID控制方法,利用模糊控制的模糊推理能力与神经网络的自学习能力,将模糊控制与RBF神经网络相结合在线(on line)调整PID控制参数,实现精密定位PID控制的自适应和智能化。实验结果表明,使用基于模糊神经网络的PID控制,控制响应快、稳定性好和鲁棒性强,可有效提高定位精度及定位速度,系统可获得±0.4μm的定位精度。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前4条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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