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Ernst电极系统电场均匀性分析

吕岩  万重怡  
【摘要】:分析了用于TEA CO2 激光器的Ernst电极在加工和装配过程中可能产生的误差对整个电极系统电场均匀性的影响。引入模拟软件ANSYS,利用有限元方法计算了 Ernst电极系统的静电场问题。计算结果给出了在电极表面曲线不连接或交错、电极中部曲线被磨平、上下电极水平错开、上下电极间距偏差和上下电极不平行时的电极表面电场的畸变情况和变化趋势。计算误差小于5×10-4。

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