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《光电子·激光》 2005年02期
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彩色膜上ITO的室温沉积及其在FPD中的应用

孟志国  彭华君  吴春亚  李娟  熊绍珍  丘成峰  李娟娟  王文  郭海成  
【摘要】:使用直流磁控溅射技术,在彩色膜衬底上室温制备出粘附性良好的氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜。X光衍射(XRD)和原子力显微(AFM)分析表明,室温ITO为多晶态,薄膜具有很好的透过率和良好的导电特性,方块电阻为120Ω/□,对应ITO/彩色膜复合膜在450nm的蓝(B)光、530nm的绿(G)光、630nm的红(R)光处的峰值透过率均达到85%左右。彩色膜与ITO电极的形成及联接等加工工艺有良好的相容性。对该技术在彩色液晶显示(LCD)和彩色有机发光显示(OLED)中的应用,进行了探索。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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4 邓建芳;李军建;杨健君;;低温ITO膜的制备及光电性能[J];现代显示;2005年12期
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 汪丹;SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究[D];山东大学;2011年
2 邓建芳;低温ITO膜的制备及性能研究[D];电子科技大学;2006年
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【同被引文献】
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3 李潇;施雯;张健;陈智勇;;非平衡磁控溅射CrTiAlN涂层的耐腐蚀性能[J];中国表面工程;2010年03期
4 李金龙;冒守栋;孙科沸;宋振纶;;氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响[J];中国表面工程;2010年03期
5 孙彩云;何庆兵;李立;张隆平;吴护林;;磁控溅射法制备TiB_2涂层的研究进展[J];材料导报;2009年S1期
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中国硕士学位论文全文数据库 前4条
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【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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8 周爱萍;高金霞;孙艳;;Nb掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究[J];人工晶体学报;2012年04期
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10 姚亮;张永爱;雷晓阳;郭太良;;平板显示器中ITO透明电极制备的研究[J];液晶与显示;2008年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
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中国硕士学位论文全文数据库 前7条
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2 汪丹;SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究[D];山东大学;2011年
3 张文杰;射频磁控溅射大尺寸ZnO:Al薄膜生长工艺及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 陈松生;投射式电容触摸屏探究[D];苏州大学;2011年
5 胥超;PTCDA/p-Si光电探测器的研制及参数优化[D];兰州大学;2007年
6 李青;基于Silole分子的有机电致发光器件的性能研究[D];电子科技大学;2007年
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3 王俊翎 ,费秀娥 ,阎晓梅;彩色条纹滤色器制造技术[J];光子学报;1985年03期
4 李达汤;有机发光显示材料[J];新材料产业;2000年12期
5 杨小慧;平板显示的最新进展[J];光电子技术;2004年01期
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7 陈飞,祁康成;有机发光显示的几项新技术[J];现代显示;2005年06期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 李喜峰;缪维娜;张群;章壮健;华中一;;直流磁控溅射法制备In2O3:Mo透明导电氧化物薄膜[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
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4 王丽丽;郑伟涛;王欣;马楠;;直流磁控溅射沉积Fe-N薄膜的结构及磁性研究[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
5 马汶伟;;光学薄膜在照明领域的应用[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
6 王丽丽;王欣;马楠;郑伟涛;;直流磁控溅射沉积Fe-N薄膜的结构及磁性研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
7 沈燕;彭璐;杨鑫沼;刘存志;;蓝光LED芯片透明导电薄膜ITO退火工艺的研究[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
8 黎刚;杨海强;王俊;崔明启;;Mo沉积成膜质量与磁控溅射条件间关系的STM研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
9 张广安;吴志国;范晓彦;闫鹏勋;;直流磁控溅射制备Cu3N薄膜及其热稳定的影响[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
10 文胜平;宗瑞磊;曾飞;潘峰;;应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及其塑性变形不稳定性研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
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1 杨伟清 张兆军;抢占多媒体领域制高点[N];科技日报;2006年
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4 陈波赵丽娜;自主创新描绘宏威蓝图[N];中国高新技术产业导报;2008年
5 王文;美以两企业合作开发自供电有机发光显示照明产品[N];国际商报;2009年
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8 彭俊彪;AMOLED:未来发展取决于多种因素合力[N];中国电子报;2008年
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10 王如晨;松下欲联手佳能 130亿购日立面板股权[N];第一财经日报;2007年
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1 蒋杰;双电层静电调制及其低电压氧化物薄膜晶体管研究[D];湖南大学;2012年
2 林慧;ITO导电基板与有机光电器件的制备及特性研究[D];电子科技大学;2008年
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5 王宁;新型透明导电氧化物薄膜的设计与制备及其在有机光电器件中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
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2 付金栋;纳米氧化铟锡制备透明隔热涂料的研究[D];南京工业大学;2003年
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4 陈飞霞;纳米氧化铟锡透明隔热涂料的制备及性能研究[D];南京工业大学;2004年
5 孙晓霞;纳米ITO粉体的制备及其分散性研究[D];武汉理工大学;2005年
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8 吴庆海;离子液体中纳米氧化铟、氧化锡和ITO粉末的制备及性能研究[D];广西大学;2008年
9 张西鹏;锆合金基体上直流磁控溅射铬膜组织与性能研究[D];四川大学;2003年
10 孙吉梅;超细微粒分散稳定性和表面改性研究[D];郑州大学;2007年
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