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《光电子.激光》 2004年09期
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利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测

卢振武  李凤有  刘华  谢永军  翁志成  
【摘要】:基于曲面计算全息方法,设计了检测大口径凸面非球面的干涉仪,其精度可优于λ/30(P V值)。研究了利用激光直写设备在曲面基底上制作全息图的方法,由于全息图的线宽变化较大,采用刻线的两边精确写入、中间螺旋线写入快速填充的策略,有效提高了写入精度和效率。在口径110mm、曲率半径500mm的曲面基底上,制作出了全息元件。利用自制的干涉装置,对用金刚石车床车削成的、口径100mm的凸面非球面进行了检测,非球面的精度为0.8λ(P V值),检测结果与车床的精度吻合很好。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 卢振武,刘华,李凤有;利用曲面计算全息图进行非球面检测[J];光学精密工程;2004年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 谢永军;曲面激光直接写入技术[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 闫玮;曲面激光直写光刻技术研究[D];浙江大学;2006年
2 李国旗;非球面镜超精密测量与误差分析系统设计与研究[D];广东工业大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈亦兵,杨国光,侯西云;激光光刻中的超分辨现象研究[J];光学学报;1999年11期
2 周光亚,陈益新,王宗光,杨国光;激光直接写入过程的计算机仿真研究[J];光学学报;1999年02期
3 梁宜勇;全数字化激光直写转台系统[J];光电工程;2004年05期
4 张涛,杨国光,粱宜勇;极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法[J];光学仪器;2004年01期
5 杨国光,沈亦兵,侯西云;微光学技术及其发展[J];红外与激光工程;2001年04期
6 沈全洪,蒋培军,齐国生,徐端颐,李庆祥;用于高密度母盘刻录的二级定位方法[J];清华大学学报(自然科学版);2005年02期
7 李毓辉,郭群山;VC++环境下的数据误差分析[J];兵工自动化;2004年02期
8 杨甬英,卓永模,杨明建;用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪[J];光电工程;1999年06期
9 欧阳渺安;;超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究[J];光学精密工程;2006年04期
10 张学军,张云峰,余景池,张忠玉;FSGJ-1非球面自动加工及在线检测系统[J];光学精密工程;1997年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 梁宜勇;可变线宽的无掩膜光刻理论与技术研究[D];浙江大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 周文静;彭娇;于瀛洁;;基于数字全息技术的变形测量[J];光学精密工程;2005年S1期
2 郭培基;余景池;;用校正法提高补偿器检测法的精度[J];光学精密工程;2006年02期
3 张红鑫;卢振武;王瑞庭;李凤有;刘华;孙强;;曲面复眼成像系统的研究[J];光学精密工程;2006年03期
4 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘华;利用曲面计算全息图检测非球面[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王响;反射式准直系统设计与检测[D];长春理工大学;2007年
【相似文献】
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7 樊建华,车尧炎;基于Windows的纸盆模具CAD/CAM系统技术分析与实现[J];机械设计与研究;2002年02期
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9 高成英,刘宁,罗笑南;基于细分曲面的三维服装柔性实体模拟[J];计算机研究与发展;2004年03期
10 卢振武,李凤有,刘华,谢永军,翁志成;利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测[J];光电子.激光;2004年09期
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