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《光电子·激光》 2002年11期
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移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制

惠梅  李庆祥  王东生  徐毓娴  
【摘要】:在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干涉相衬显微测量系统;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出了物体的微观三维形貌,实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量。结果表明:粗糙度重复测量精度为1.2nm;形貌高度分辨率为4.6nm。
【作者单位】清华大学精密仪器与机械学院
【基金】:国家自然科学基金资助项目(59975052)
【分类号】:TN247

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘晨;卢荣胜;陈磊;王骏武;;基于光学法表面粗糙度的测量研究进展[J];半导体光电;2010年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 王东;微小型多通道波前探测器Hartmann阵列设计与实验研究[D];华中科技大学;2004年
2 付赛;基于DSP技术的自适应光学系统信号处理系统[D];华中科技大学;2005年
3 吴春付;光学多通道表面检测系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
4 刘婷婷;螺旋相位板及其在光学信息处理中的应用研究[D];山东师范大学;2008年
5 张槊墨;微分干涉相衬显微镜的设计[D];湖北工业大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 许谊,徐毓娴,惠梅,蔡昕;微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌[J];光学精密工程;2001年03期
2 徐福候;;诺马斯基棱镜的原理及其计算方法[J];光学仪器;1983年02期
3 陈峻堂;;微分干涉相衬显微术[J];光学仪器;1984年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 苏燕飞;带电粒子作同频旋转振动的辐射[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2002年02期
2 黄玉波;栗大超;胡小唐;胡春光;张文栋;徐临燕;;MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法[J];传感技术学报;2006年05期
3 杨素君,孙建勇,刘丽娟;采煤机滚筒叶片上喷嘴方向的确定方法[J];阜新矿业学院学报(自然科学版);1997年06期
4 张忠厚,彭晓华;导体表面上的电磁场研究[J];辽宁工程技术大学学报;2005年03期
5 张思团;叶虎年;许忠宝;;Nomarski棱镜的优化设计[J];光电工程;2007年05期
6 刘卿卿;李海燕;浦昭邦;;光学法表面形貌测量技术[J];光电技术应用;2008年02期
7 徐毓娴,蔡昕,张志利;改进型Wollaston棱镜设计[J];光学精密工程;2001年02期
8 许谊,徐毓娴,惠梅,蔡昕;微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌[J];光学精密工程;2001年03期
9 马冬梅;孙军月;张波;韩昌元;;高精度大口径平面镜面形角差法测试探究[J];光学精密工程;2005年S1期
10 张志利,徐毓娴,李文江;透明体的光学定量测量[J];光学技术;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李会雨;李玉和;李庆祥;廖小华;葛杨翔;;超光滑表面粗糙度检测系统的研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
2 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
3 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
4 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
5 李朝辉;基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究[D];天津大学;2004年
6 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
7 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
8 张红霞;用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化[D];天津大学;2004年
9 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
10 戴蓉;基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
2 罗婷;白光干涉测量光学薄膜厚度[D];南京理工大学;2011年
3 连晨光;石英晶体碱(KOH、NaOH)腐蚀像及其与酸(HF)腐蚀像对比研究[D];中国地质大学;2011年
4 沈金华;激光共聚焦信号处理及控制技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 陈朋;晶圆表面形貌的微分干涉系统设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 石凤;基于双波长干涉的微表面形貌测量的算法和实验研究[D];天津大学;2010年
7 李和利;晶圆表面微观形貌检测系统的实现及控制[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 翟伟光;晶圆表面形貌的微分干涉系统图像相位提取及去包裹[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 程伟林;偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究[D];华中科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沙定国;自适应光学波面相位重构的区域算法[J];北京理工大学学报;1991年04期
2 常素萍;谢铁邦;;钢球表面粗糙度的白光干涉非接触测量法[J];轴承;2006年03期
3 张玲玲;谢铁邦;;基于扫描白光干涉法的接触式轮廓综合测量仪[J];轴承;2006年12期
4 郑伟,王海英,张礼勇,张克坚;三维表面轮廓的测量技术[J];东北林业大学学报;2003年05期
5 王世华,周肇飞;散射式激光表面粗糙度测量仪[J];导弹与航天运载技术;1997年01期
6 蔡希洁,许发明,林尊琪,杨镜新;用于精密衰减控制的半波片和偏振片组合[J];大连理工大学学报;1997年S2期
7 陈启美,吴琨,丁传锁,陈锁柱;USB协议层[J];电力自动化设备;2001年05期
8 张庆森,张俊文,闻向斌;皮肤皱纹测量系统的研究与设计[J];电子工程师;2005年05期
9 孙士平;USB2.0规范及EZ-USBFX2外设控制[J];电子产品可靠性与环境试验;2004年05期
10 何光宏;张志津;彭光含;白海会;杨学恒;;基于STM的原子力显微镜的设计及应用[J];电子显微学报;2006年01期
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
2 李朝辉;基于相移干涉法的微表面轮廓仪的研究[D];天津大学;2004年
3 张红霞;用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化[D];天津大学;2004年
4 杜艳丽;基于白光干涉的金属极薄带测厚理论与系统研究[D];浙江大学;2006年
5 李新弘;基于白光干涉的自稳定定量相位成像技术及系统研究[D];浙江大学;2008年
6 武旭华;φ300mm移相干涉仪的关键技术研究[D];南京理工大学;2007年
7 常素萍;基于白光干涉轮廓尺寸与形貌非接触测量方法和系统[D];华中科技大学;2007年
8 戴蓉;基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 孙姣芬;虚光栅移相莫尔条纹法对干涉图的处理及应用[D];南京理工大学;2004年
2 倪肖勇;光谱型白光干涉在测距和光学薄膜相位测试中的应用研究[D];浙江大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张流强;胡辉;肖沙里;曹玉琳;陈宇晓;;粗糙表面镜向散射光强统计[J];光电工程;2011年12期
2 申路;王宇华;杨永强;;基于白光干涉术的微器件三维表面形貌恢复研究[J];佛山科学技术学院学报(自然科学版);2012年04期
3 郭冰;张勇;刘芬芬;;连续多幅激光散斑图像的纹理研究[J];内江科技;2012年09期
4 王军;陈磊;吴泉英;臧涛成;;利用白光干涉垂直扫描法测量波片延迟量[J];激光与光电子学进展;2013年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 陈朋;晶圆表面形貌的微分干涉系统设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 翟伟光;晶圆表面形貌的微分干涉系统图像相位提取及去包裹[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 陈夏盛;血细胞分析仪通用信号采集存储系统设计[D];哈尔滨工业大学;2008年
4 单国锋;聚焦光路和成像光路相分离的光镊系统[D];南京大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英;纳米级精度的线宽测量仪[J];光学精密工程;1994年01期
2 赵宏,陈文艺,谭玉山;利用莫尔条纹的准正弦特性的三维轮廓术[J];光学学报;1994年08期
3 朱日宏,陈进榜,王青,陈磊;移相干涉术的一种新算法:重叠四步平均法[J];光学学报;1994年12期
4 陈进榜,宋德真,朱日宏,王青,陈磊,陈道炯;高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪[J];光学学报;1995年04期
5 赵兵,郭彬,方如华;相位移法中的量化误差效应[J];光学学报;1996年12期
6 苏显渝,李杰林,李继陶;激光片光三维传感中降低散斑影响的新方法[J];光学学报;1997年02期
7 苏显渝,谭松新,向立群,李继陶,羡涛;基于傅里叶变换轮廓术方法的复杂物体三维面形测量[J];光学学报;1998年09期
8 陈峻堂;;微分干涉相衬显微术[J];光学仪器;1984年01期
9 李庆祥,王伯雄,薛实福,徐毓娴;微细图形几何尺寸测量的实验研究[J];计量学报;1993年04期
10 高宏,薜实福,李庆详,严普强;超光滑表面轮廓的绝对测量[J];计量学报;1995年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 惠梅,牛憨笨,许谊,徐毓娴,李庆祥;表面微观形貌测量中数字图象处理的应用[J];光子学报;2001年11期
2 周明宝,林大键,白临波;衍射光学元件表面形貌测量方法研究[J];光电工程;1998年S1期
3 苏俊宏,陈磊,朱日宏;光盘基片平整度的相移干涉测量方法[J];光电工程;2004年01期
4 许忠保;张塑默;;微分干涉相衬显微镜中Nomarski棱镜设计[J];湖北工业大学学报;2006年06期
5 蔡履中;闫汝森;;相移干涉术中参考波准直误差的数值校正[J];光电子.激光;2011年05期
6 莘雪成;张雨东;李国俊;王炯;罗先刚;;基于双频光栅的微分干涉相衬方法[J];光电工程;2011年06期
7 夏立峰,周明宝;白光相移干涉中频谱对测量精度的影响[J];光电工程;2000年03期
8 惠梅,邓年茂,王东生,李庆祥;基于跳变线估测的相位包裹去除法[J];光电子.激光;2003年07期
9 董大年;程上彝;杨国渝;;表面微观形貌的非接触测量[J];光电工程;1989年01期
10 刘青,蔡履中,王玉荣,赫明钊;利用振幅型空间光调制器作相移器的相移干涉术[J];山东大学学报(理学版);2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张晋宽;刘耀红;滕霖;;极低散射光学表面微观形貌评价技术研究[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
2 庞桂兵;李殿明;温春胜;齐学智;徐文骥;;电化学加工1Cr18Ni9Ti的表面微观形貌对润湿性能的影响[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 杨晓喻;梁星;;原子力显微镜下钛种植体表面微观形貌的研究[A];第四届全国口腔种植学术会议论文集[C];2005年
4 马雪红;时小军;胡仲翔;;表面微观形貌测量技术研究概述[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
5 马雪红;时小军;胡仲翔;;表面微观形貌测量技术研究概述[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
6 张红霞;张以谟;井文才;周革;朱蔚;唐锋;;用于微表面形貌检测的大视场相移显微干涉仪的研制[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
7 何宁;廖欣;周田华;;光纤传感技术在膜厚测量中的应用[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 武文明;成来飞;王广;;高温热处理对C/SiC复合材料热辐射性能的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(下册)[C];2008年
9 郑振;李宁;黎德育;;低磷化学镀镍补加工艺的研究[A];2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会论文集[C];2009年
10 陈国华;;活塞裙部表面粗糙度检测系统的研究[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅰ)[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘青;数字相移干涉术中图像处理和波前再现误差的分析及校正算法的研究[D];山东大学;2005年
2 孟祥锋;基于迭代相位恢复算法和相移干涉术的光学信息安全技术的研究[D];山东大学;2008年
3 吴开杰;复谱频域OCT快速成像的若干关键技术研究[D];天津大学;2005年
4 吴琼;提升被动微波遥感器空间分辨率的理论及方法研究[D];中国科学院研究生院(空间科学与应用研究中心);2011年
5 苏俊宏;基于干涉法的量块长度测量技术研究[D];南京理工大学;2006年
6 田春林;固着磨料高速研磨机理及工件表面质量的研究[D];长春理工大学;2005年
7 戴蓉;基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究[D];华中科技大学;2007年
8 尹自强;超精密直线度测量及表面微观形貌分析研究[D];国防科学技术大学;2003年
9 马龙;白光扫描干涉测量方法与系统的研究[D];天津大学;2011年
10 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋菲;精密晶圆检测系统中相移干涉术的算法与实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 李殿明;1Cr18Ni9Ti电化学加工表面微观形貌调控技术[D];大连工业大学;2012年
3 余廷浩;超精细表面微观形貌无接触在线检测仪的研制[D];四川大学;2004年
4 李和利;晶圆表面微观形貌检测系统的实现及控制[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
6 安宏宇;精密晶圆检测仪光学系统的设计与实验[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 张元晶;SiC_p/Al复合材料高速切削加工表面微观形貌表征的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 赫明钊;数字全息图像加密及水印技术[D];山东大学;2005年
9 胡家国;铣削力及铣削表面微观形貌分维数的研究[D];南京理工大学;2004年
10 方吉光;三维微表面相移干涉术研究[D];浙江大学;2006年
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