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真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究

袁镇海  谢致薇  罗广南  邓其森  郑健红  戴达煌  付志强  
【摘要】:克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些难点,成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜,并对其表面形貌、硬度及结合强度、结构进行了分析,结果表明,真空阴极电弧沉积法是制备综合性能良好的光亮类金刚石膜的有效方法.类金刚石膜为非晶结构,具有明显的sp3结构特征.

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