收藏本站
《光电技术应用》 2012年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

双光栅干涉位移传感器原理及其误差分析

张金华  陈良洲  刘晓军  
【摘要】:双光栅干涉位移传感器拥有量程大、精度高等优点。文中详细阐述了传感器的测量原理,并对此理论原理进行ZE MAX软件仿真。与此同时,基于角谱理论推导得到干涉场中的光强分布。结果表明,激光通过双光栅后可以得到三角函数分布的干涉条纹,且双光栅相对移动一个光栅距离时条纹相应移动一个周期。最后分析了对双光栅传感器位移测量结果可能带来误差的因素,以及这些因素对测量结果的影响,文中给出了部分因素的误差表达式。
【作者单位】华中科技大学机械学院仪器系;
【基金】:国家自然科学基金(51075169)
【分类号】:TP212.14

知网文化
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 戴斌飞;武文远;任建锋;;用ZEMAX软件辅助迈克耳孙干涉仪实验教学[J];大学物理;2008年07期
2 郝德阜;;光栅干涉仪的运动误差原理[J];光学机械;1990年05期
3 刘玉圣;范光照;陈叶金;;高精度衍射光栅干涉仪的研制[J];工业计量;2006年02期
4 王生怀;杨旭东;谢铁邦;;双衍射光栅位移传感器原理及应用[J];计量技术;2008年06期
5 沈为民;;双光栅干涉仪[J];苏州大学学报(自然科学);1992年01期
6 沈为民;;部分相干照明双光栅干涉仪[J];苏州大学学报(自然科学);1992年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张景波,刘昭度,齐志权,马岳峰;汽车自适应巡航控制系统的发展[J];车辆与动力技术;2003年02期
2 薛建强,龚跃球,刘孝明,徐慢;旋转涂覆法制备硫化砷玻璃薄膜及其光学性质的研究[J];玻璃与搪瓷;2003年05期
3 王君立,李大一,檀慧明;基于80C196KC单片机的全固态激光器温控系统[J];长春理工大学学报;2003年02期
4 曲伟;双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究[J];传感器技术;2004年10期
5 孙艳玲;谢铁邦;;激光干涉接触式轴承表面轮廓综合测量[J];轴承;2006年04期
6 任轶凝;条形码中距离动态识别技术研究[J];电讯技术;1996年06期
7 刁小玲;;一种厚膜混合集成结构的温度控制电路[J];电子与封装;2008年06期
8 俞康泰,范明锋;米氏(Mie)理论在锆乳浊釉中的应用研究[J];佛山陶瓷;2001年03期
9 谢国华,张佐光;红外与雷达隐身涂层激光后向散射特性[J];复合材料学报;2004年05期
10 刘妍,杨庆斌,王彩霞,李仲吉,张连房;涤纶初生丝双折射色那蒙公式的修正[J];纺织学报;1992年09期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
2 杨甬英;可用于瞬态激光波前畸变实时检测技术的研究[D];浙江大学;2002年
3 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 粟时平;多轴数控机床精度建模与误差补偿方法研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
5 阎春生;光纤过程层析成像技术研究[D];清华大学;2003年
6 刘俭辉;宽带光纤放大器及可调谐掺铒光纤激光器的研究[D];天津大学;2004年
7 李昆;激光非接触位移传感器的研制及其应用[D];中国地震局工程力学研究所;2004年
8 王桐;基于SOA的注入锁模光纤环激光器特性及应用研究[D];清华大学;2004年
9 巴音贺希格;衍射光栅色散理论与光栅设计、制作和检验方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
10 钟明;大量程光纤绝对测距仪研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙静;基于DBR光纤激光器的光生毫米波技术研究[D];天津理工大学;2010年
2 李扬;基于中红外光谱技术监测生物乙醇发酵过程:乙醇和葡萄糖含量的测定[D];吉林大学;2011年
3 王银泽;无人机电动舵机系统仿真与分析[D];电子科技大学;2011年
4 雷平顺;光栅外腔半导体激光器的输出特性研究[D];长春理工大学;2011年
5 郝怀庆;三波长可见光功率计的技术研究[D];长春理工大学;2011年
6 张栓伟;线扫掌纹图像采集系统设计与实现[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 张艳艳;一种新的双频激光多普勒测速方法研究[D];清华大学;2010年
8 吴春辉;基于ARM的光纤布喇格光栅传感信号解调系统的研究[D];燕山大学;2011年
9 王冬冬;基于F-P滤波器解调的光纤光栅测温系统的研究[D];北京工业大学;2011年
10 娄莉娜;基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究[D];重庆理工大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 许慧斌,张小波,宾鸿赞;基于PC总线的位置测量与电机控制卡[J];电子与自动化;1999年03期
2 杨旭东;陈育荣;谢铁邦;;基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器[J];工具技术;2007年06期
3 赵晓红,杨江萍,李丽娟;迈克耳孙干涉仪异常现象研究[J];物理与工程;2003年04期
4 邓小燕;乔蹻;潘永华;周进;;迈克尔逊干涉仪中补偿板与干涉条纹[J];物理与工程;2006年02期
5 张玲玲;谢铁邦;;基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪[J];计量技术;2007年03期
6 沈为民;;双光栅干涉仪[J];苏州大学学报(自然科学);1992年01期
7 王学新;杨照金;武波;李华杰;;用2种光学设计软件对像差特性进行的研究[J];应用光学;2006年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 郭军;激光干涉表面形貌测量系统及3D-MOTIF评定研究[D];华中科技大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘惠兰;张晓青;曹文娟;王俊杰;;基于相位凝固技术的激光反馈干涉术[J];光子学报;2011年08期
2 杨德华;戚永军;;应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正[J];光学精密工程;2006年02期
3 徐育,金泰义,李胜利,赵宇飞,王正安;提高Y结构光纤强度型位移传感器灵敏度的方法探讨[J];计量技术;1996年05期
4 李忠杰;数字式超声波位移测量仪的研究[J];自动化与仪表;1999年03期
5 许军;面阵图像传感器在位移测量中的应用研究[J];工业仪表与自动化装置;2000年05期
6 薛中会,李风云,关荣峰,陈艳辉;光纤光栅及其在传感器中的应用[J];焦作工学院学报(自然科学版);2003年01期
7 何刘,刘建胜;双通道反射式强度调制型光纤位移测量系统[J];遥测遥控;2004年04期
8 马林;冯硕;;光纤传感技术位移检测特性分析[J];湖南工业职业技术学院学报;2005年04期
9 庄汉忠 ,顾健;电涡流传感器在位移测量上的应用[J];江苏大学学报(自然科学版);1991年04期
10 ;二维位移测量装置[J];光机电信息;1994年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邵建新;江苏华;;电脑配料秤误差分析及控制[A];第二届全国称重技术研讨会论文集[C];2000年
2 王晋生;蔡光起;原所先;胡明;史家顺;;基于微分变换的机器人误差分析[A];企业应用集成系统与技术学术研究会论文集[C];2006年
3 朱德良;杨栋;;混凝土搅拌楼配料系统检测方法与误差分析[A];江苏省计量测试学会2006年论文集[C];2006年
4 谈格;;流量积算仪参数设置常见错误及其误差分析[A];江苏省计量测试学会2006年论文集[C];2006年
5 刘朝山;肖松;马涛;刘光斌;;基于双视场弹载星敏感器的姿态测量及误差分析[A];2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会论文集[C];2007年
6 李昶;赵志根;熊华庚;;EXCEL在计算煤层气资源量中的应用[A];中国煤炭学会矿井地质专业委员会2007年学术论坛专辑[C];2007年
7 朱林;;冷库用冷风机试验装置的研制及冷风机制冷量试验误差分析[A];全国暖通空调制冷1994年学术年会资料集[C];1994年
8 王金敏;韩永辉;周永旭;李乃华;;双螺杆泵试验系统管路设计及数据采集误差分析[A];面向制造业的自动化与信息化技术创新设计的基础技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
9 魏可惠;于勇;;惯性仪表测速定位误差分析[A];中国惯性技术学会光电技术专业委员会第五次学术交流会暨重庆惯性技术学会第九次学术交流会论文集[C];2002年
10 王志;谢华锟;王贵成;;锥齿轮测量新方法的误差分析[A];江苏省机械工程学会第六次会员代表大会论文集[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 郑千里;我国率先开展遥感误差分析[N];科技日报;2001年
2 本报记者 李春玲;桥梁支座位移测量向智能化迈进[N];人民铁道;2006年
3 张树民;中和滴定与误差分析[N];山西科技报;2003年
4 通讯员 裘桂英 胡胜友 记者 刘纯友;纳米光镊技术跻身国际前沿[N];安徽日报;2004年
5 山西杏花村汾酒集团有限责任公司王凤仙 刘小宇 韩红 武艳荣 雷艳兰 武爱萍 于小莲;白酒中总酯测定的误差分析[N];华夏酒报;2009年
6 沃都;让“死数据”变成“活信息”[N];中国石油报;2003年
7 三门峡水文水资源局总工程师 屠新武 彭世想 赵双权;对黄河潼关至三门峡河段水量不平衡的几点认识[N];黄河报;2007年
8 全超庄学召;电压互感器二次回路压降误差分析及改进措施[N];国家电网报;2008年
9 彭会安 刘丽 张晓茵;自主创新赢天下[N];中国高新技术产业导报;2006年
10 潞安矿业(集团)公司五阳热电厂 张俊锋 张路明;小电流接地系统接地在检测工程应用分析[N];山西科技报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 冯平;智能位移传感器系统的研究[D];浙江大学;2001年
2 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
3 陶忠祥;位置敏感探测器在头位跟踪中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
4 阎敬业;星载三维成像雷达高度计系统设计与误差分析[D];中国科学院研究生院(空间科学与应用研究中心);2005年
5 李晓平;WDM薄膜滤光片和分束器的设计与制造研究[D];华中科技大学;2005年
6 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
7 吴艳阳;超声散斑相关法测量新技术研究[D];华中科技大学;2006年
8 邱天;数字激光散斑图像的仿真建模和位移测量算法研究[D];中国科学技术大学;2006年
9 陈炜卿;定向井轨迹误差分析及三维可视化描述研究[D];中国石油大学;2007年
10 陈锡侯;新型时栅位移传感器研究[D];重庆大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 焦胜利;射影重建的误差分析[D];哈尔滨工业大学;2006年
2 王征;电视收视率调查质量控制研究[D];对外经济贸易大学;2007年
3 王会;平面连杆机构的计算机辅助设计系统研究与实现[D];天津工业大学;2004年
4 李伟;基于模糊控制的气体流速控制仪设计[D];吉林大学;2005年
5 陈振;空间光通信中的ATP系统分析与研究[D];南京理工大学;2005年
6 胡霞珍;用于万能工具显微镜的图像处理技术研究[D];哈尔滨理工大学;2005年
7 毕业;导弹半实物仿真系统误差分析[D];西北工业大学;2006年
8 李德维;非接触式轮对几何参数测量精度研究[D];西南交通大学;2006年
9 徐观;汽车四轮定位仪检定方法与装置的研究[D];吉林大学;2006年
10 方东;ICS型电子皮带秤在烟草制丝线中的应用技术研究[D];合肥工业大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026