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《光电子技术与信息》 2003年02期
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光波导用TiO_2/SiO_2复合薄膜的制备及其性能研究

李小甫  余海湖  姜德生  
【摘要】:用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大。光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 海日沙·阿不来提;麦麦提依明·马合木提;阿布力孜·伊米提;;高灵敏复合光波导传感器及其研究进展[J];化学传感器;2008年02期
2 王丽格;黄美东;李洪玉;张琳琳;佟莉娜;杜姗;;采用不同功率溅射制备氧化钛薄膜的研究[J];天津师范大学学报(自然科学版);2012年01期
3 蒋甜甜;黄美东;杜姗;;溅射氧化钛薄膜的光学性能及热处理对其结构的影响[J];天津师范大学学报(自然科学版);2012年03期
4 王丽格;黄美东;杜珊;佟莉娜;刘野;;退火处理对TiO_2薄膜结构和透射的影响[J];真空;2012年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 崔倩;静电自组装法制备复合分离膜[D];郑州大学;2007年
2 王静;聚合物光波导薄膜的制备及改性研究[D];厦门大学;2007年
3 李美莲;有机无机复合光波导的研究[D];西安理工大学;2008年
4 杨天夫;基于聚合物材料的平面光波导生化传感器[D];吉林大学;2010年
5 陈世坤;SiO_2胶体微球自组装光子晶体的实验研究[D];新疆大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 魏红振,余金中,刘忠立,王启明;硅基光波导及光波导开关的研究进展[J];半导体光电;1999年06期
2 王德强,陈玮,程继健;玻璃光波导研究进展[J];材料导报;2000年01期
3 翟继卫,杨涛,杨合情,张良莹,姚熹;溶胶-凝胶法制备TiO_2-SiO_2复合薄膜的波导特性研究[J];硅酸盐学报;1998年05期
4 钟迪生,王鲁川,于颖沚;用分光光度法测量薄膜的光学常数[J];辽宁大学学报(自然科学版);1996年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙潇;贾书海;;一种新型梯度电场控制光开关的原理研究[J];半导体光电;2008年01期
2 贾玉斌,陈良惠,李玉璋;一种微机械光开关的分析和设计(英文)[J];半导体学报;2001年07期
3 姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,谢二庆;光敏性溶胶-凝胶波导材料[J];半导体学报;2004年06期
4 杨红侠;杨殿来;翟滨;王志强;张敬伟;林海;;Pr~(3+)掺杂铋碲酸盐玻璃的热膨胀与可见荧光发射[J];材料导报;2006年S2期
5 程新利,林志浪,王永进,肖海波,张峰,邹世昌;光通信用厚膜SOI材料的制备与研究[J];功能材料与器件学报;2004年04期
6 王德强;陈玮;程继健;;新型硫卤玻璃GeS_2-Ga_2S_3-AgX(X=Cl,Br,I)中的K~+-Ag~+离子交换[J];硅酸盐通报;2006年06期
7 温芳,祝生祥,李锐;新型AFM探针的制备及应用[J];光学技术;2002年05期
8 帕提曼亚森·亚森;艾拜拉·热合曼;阿布力孜·伊米提;;环糊精复合薄膜光波导元件的气敏性研究[J];光学技术;2011年05期
9 周毅;汪爱英;;多样品法确定类金刚石薄膜的光学常数与厚度[J];光学学报;2010年08期
10 徐光青;郑治祥;汤文明;刘君武;吕珺;王建民;吴玉程;;Cu~(2+)离子掺杂纳米SiO_2材料中346nm光致发光带[J];硅酸盐学报;2005年12期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 陈玮;王德强;程继健;;新型硫卤玻璃的离子交换研究[A];2005中国硅酸盐学会特种玻璃分会学术研讨会会议论文集[C];2005年
2 乔明霞;黄伟;张彬;;用透射率测试曲线确定几种红外薄膜材料的光学常数和厚度[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
3 占恒正;尹锐;王明华;江晓清;;改进的非对称Y分叉全内反射型开关特性分析[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张艳武;有机/无机复合材料光学性质及其可调控光波导器件[D];复旦大学;2008年
2 郑伟伟;玻璃基离子交换工艺及波导器件的研究[D];浙江大学;2011年
3 余海湖;静电自组装纳米复合薄膜研究[D];武汉理工大学;2002年
4 伊德尔;多波长光盘头合分束实现方法及亚波长光栅偏振器件研究[D];清华大学;2003年
5 贾大功;多路空间互连光旋转连接器的研制[D];天津大学;2004年
6 李毅刚;新型掺铒光学材料及光波导的制备与光学性质研究[D];复旦大学;2005年
7 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
8 于天宝;多模干涉型光子晶体波导耦合系统的特性及其应用研究[D];浙江大学;2007年
9 张玉红;硅材料电光效应的研究[D];吉林大学;2008年
10 肖立峰;集成光学声光可调谐滤波器的研究及应用[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈庆友;稀土掺杂新型镀膜材料的研究[D];长春理工大学;2010年
2 夏舸;阵列波导光栅的空间频域特性与分析[D];华中师范大学;2002年
3 李小甫;薄膜光波导新型成膜方法的研究[D];武汉理工大学;2002年
4 刘细成;透射光谱法测量薄膜参数的研究[D];四川大学;2003年
5 唐锋;计算机机群系统高速光互连链路及网络的研究[D];天津大学;2004年
6 孙晨光;数字相移相位测量技术及其应用[D];天津大学;2004年
7 王顺权;声光可调谐滤波器的研究[D];天津大学;2004年
8 佟威;Ge-S基硫卤玻璃红外光纤材料的组成、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2004年
9 肖立峰;宽带声光可调谐光谱仪的研究[D];天津大学;2004年
10 陈恭敬;光学薄膜常数计算方法与测量系统的研究[D];电子科技大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李育洪,王克逸;基于平面光波导的光学传感器[J];安徽教育学院学报;2001年06期
2 赵禹,张大明,刘式墉,衣茂斌,卢东昕;制作聚合物光波导的铝掩模工艺[J];半导体光电;2005年03期
3 王玥;吴远大;李建光;王红杰;胡雄伟;;有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征[J];半导体光电;2007年04期
4 徐永青,梁春广,杨拥军,赵彤;硅基SiO_2光波导[J];半导体学报;2001年12期
5 张超灿,孙江勤,李曦,李华智;溶胶-凝胶法制备PMMA/SiO_2透明纳米复合材料的研究[J];玻璃钢/复合材料;2000年04期
6 林晶;刘壮;孙智慧;高德;;氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响[J];包装工程;2008年10期
7 肖素艳,王东红,高明,刘晓为;硅基光波导压力传感器[J];传感器技术;2002年08期
8 孙奉玉,吴鸣,李文钊,李新勇,顾婉贞,王复东;二氧化钛表面光学特性与光催化活性的关系[J];催化学报;1998年02期
9 王德强,陈玮,程继健;玻璃光波导研究进展[J];材料导报;2000年01期
10 徐翔;周斌;沈军;倪星元;徐超;侯今强;;紫外曝光在ZrO_2薄膜上引入微结构的研究[J];材料导报;2005年09期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐静;基于聚合物集成光波导的MZI传感芯片的研究[D];浙江大学;2004年
2 高福斌;硅基聚合物微光机械振动传感器的研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 艾晓莉;有机—无机杂化纳滤膜的制备及其在红霉素分离方面的应用[D];西北工业大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 帕提曼·尼扎木丁;阿布力孜·伊米提;;PVA薄膜光波导气敏元件及其应用研究[J];高分子学报;2011年04期
2 郑建旭;管永川;冉慧丽;姜心;魏晓鸽;蒋登高;;氨气传感器的应用和研究进展[J];化工新型材料;2010年02期
3 海日沙·阿不来提;阿达来提·阿不都热合曼;麦麦提依明·马合木提;阿布力孜·伊米提;;挥发性有机物气体光波导气敏元件的研究[J];化学传感器;2009年01期
4 阿达来提·阿不都热合曼;麦麦提依明·马合木提;海日沙·阿不来提;阿布力孜·伊米提;;氮氧化物光波导传感元件的研究[J];化学传感器;2010年04期
5 陈伟;范和平;;光电印制电路板用聚合物光波导研究进展[J];印制电路信息;2009年S1期
6 陈伟;范和平;;光电印制电路板用聚合物光波导材料研究进展及应用[J];印制电路信息;2010年S1期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 逄淑杰;用于泵浦激光放大器的稀土掺杂纳米粒子及有机杂化材料的制备与表征[D];吉林大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 姑丽各娜·买买提依明;In_2O_3复合薄膜的制备及其气敏性研究[D];新疆大学;2011年
2 郑建旭;聚苯胺/高分子复合气敏材料的研究[D];郑州大学;2011年
3 海日沙·阿不来提;苯类挥发性有机物光波导化学传感元件的研究[D];新疆大学;2009年
4 杨天夫;基于聚合物材料的平面光波导生化传感器[D];吉林大学;2010年
5 沙代提古丽·买合苏提;光波导元件检测酸性及挥发性有机气体的研究[D];新疆大学;2010年
6 热娜古丽·阿不都热合曼;过氧聚钨酸(PTA)及其掺杂物薄膜玻璃光波导元件的研究[D];新疆大学;2010年
7 帕提曼·尼扎木丁;LiFe_(1-x)M_xPO_4薄膜复合光波导化学传感器的研究[D];新疆大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 张勇,王民权;非线性光学材料的研究进展[J];材料导报;1996年04期
2 陈玮,王德强,程继健,蒋幼梅,梁振华;Ga_2S_3-GeS_2-KCl系统玻璃的研究[J];华东理工大学学报;1998年04期
3 王德强,陈玮,程继健;新型GeS_2-Ga_2S_3-KBr系统玻璃的形成及性能[J];无机材料学报;1999年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李小甫,余海湖,姜德生;离子自组装成膜技术制备TiO_2/SiO_2薄膜光波导[J];光电子.激光;2003年05期
2 胡雪涛,李佐宜,林更琪,王浩敏,廖红伟;磁控射频溅射法制备光波导薄膜研究[J];光电子技术与信息;2001年01期
3 洪伟年;;红外区域传输的多晶纤维光波导[J];光纤与电缆及其应用技术;1979年02期
4 姚慧海,陈智浩;光波导等参元分析[J];光学学报;1987年09期
5 祝宁华,吴正德;LiNbO_3光波调制器的优化设计[J];电子科技大学学报;1991年04期
6 卓壮,邵宗书,孟宪林,王继扬;不同掺镁量的Z切LiNbO_3质子交换光波导的制备和表征[J];人工晶体学报;1994年03期
7 李蓉芳;带有硫族化合物光纤光波导的YAG:Er激光器在激光外科中的应用[J];光机电信息;1995年12期
8 杨妹清;未来的光波导器件技术[J];光机电信息;1997年07期
9 慕桓,陆加佳,闻震利,金国良;掺铒玻璃Ag~+-Na~+离子交换光波导的分析[J];上海交通大学学报;2004年02期
10 祝宁华,金锋;Ti:LiNbO_3光波导导模的场分布[J];光学学报;1993年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张蓉君;祁志美;;时间分辨光波导分光光谱技术原位研究分子及纳米粒子的吸附动力学行为[A];第十六届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2011年
2 汪业衡;;一般截面光波导Maxwell方程的求解[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册)[C];1999年
3 赵玉荣;陈晓;;基于离子自组装的星型荧光产物的制备和表征[A];中国化学会第十三届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2011年
4 但亚平;岳瑞峰;王燕;刘理天;;氮氧化硅薄膜的光学特性及其在光波导中的应用[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
5 赵桂荣;张卫华;赵高扬;胡雄伟;杨沁清;;SiO_2薄膜及其微细图形制备新技术[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
6 许冠辰;陈晓;;离子自组装法制备响应性有机荧光纳米材料[A];中国化学会第28届学术年会第15分会场摘要集[C];2012年
7 靖波;陈晓;赵玉荣;;离子自组装固体状囊泡及温度诱导的转变[A];中国化学会第十二届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2009年
8 虎宝仁;王鹏;;浅谈光波导铌酸锂晶体生长[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
9 邱建荣;朱从善;三浦清贵;平尾一之;;飞秒激光诱导玻璃中3维光波导的研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
10 潘月秀;余瑞莲;石松;冯志海;;多联吡啶/过渡金属离子自组装复合薄膜材料[A];复合材料:创新与可持续发展(上册)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 李德辉 通讯员 马永军;创新因执着而美丽[N];联合日报;2008年
2 记者 郑千里;集成光波导型电磁场传感器制成[N];科技日报;2001年
3 马永军;王克明:创新最重要的是执著[N];中国教育报;2008年
4 冯卫东;哈利波特有了新斗篷[N];科技日报;2009年
5 本报记者 李德辉 通讯员 王静 实习生 王远;生命在创造中闪光[N];联合日报;2006年
6 记者  陈超;母板内光互联技术取得突破[N];科技日报;2007年
7 李大庆;最贵平常心[N];科技日报;2000年
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9 通讯员 朱文龙;尖端技术如何走出企业[N];上海科技报;2006年
10 通讯员 张少梅 刘秀红 冯刚;王克明 学生心目中的“平民大师”[N];中国教育报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘嘉敏;光波导三轴力传感方法的理论分析与实验研究[D];重庆大学;2001年
2 周剑英;InP基量子阱电吸收行波光调制器的研制[D];浙江大学;2005年
3 姜毅;离子注入光电晶体损伤诱导折射率改变及波导导模特性研究[D];山东大学;2006年
4 刘祥志;离子注入光波导的数值分析研究[D];山东大学;2008年
5 王亮玲;离子注入与离子交换平面和条形光波导的制备及其特性研究[D];山东大学;2008年
6 程光华;飞秒激光与透明介质相互作用的非线性及应用[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
7 贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
8 李玉华;飞秒激光微细加工电介质材料与微光器件制备研究[D];华中科技大学;2007年
9 余本海;飞秒激光对透明电介质材料的烧蚀与微加工研究[D];华中科技大学;2008年
10 甘小勇;高速铌酸锂波导电光调制器关键技术研究[D];电子科技大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李小甫;薄膜光波导新型成膜方法的研究[D];武汉理工大学;2002年
2 宋哲;理想光波导短程透镜的理论与实验研究[D];长春光学精密机械学院;2001年
3 刘珂;光子晶体光纤的理论分析及其在THz波导分析中的应用[D];浙江大学;2005年
4 邵国玉;SOI光波导与光功率分配器的基础研究[D];长春理工大学;2004年
5 文学金;波导模式基本理论及其应用[D];浙江大学;2004年
6 李登峰;光波导在任意微扰下的耦合模理论[D];福建师范大学;2003年
7 陈国强;微纳光束光波导的传输和控制分析[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 申人升;磷硅酸盐波导材料的溶胶—凝胶法制备[D];吉林大学;2005年
9 许晓波;微环谐振器阵列滤波器研究[D];长春理工大学;2007年
10 金辉;平面光波导的理论研究与特性参数的测试[D];天津大学;2004年
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