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《广东化工》 2008年02期
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铁电薄膜材料的制备技术及应用

郭旭侠  王江波  周小英  
【摘要】:铁电薄膜材料、集成铁电器件以及与之相应的物理问题,引起物理学、材料科学与工程、微电子与光电子学等领域的科学技术人员和学者的关注。文章介绍了铁电薄膜新研究进展,对目前最常用的几种主要制备方法进行了评述,重点分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。并对未来的可能进展作了简单的描述,指出了目前关于铁电薄膜研究中的一些问题,并提出一些解决问题的办法。

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 朱新德;掺锶锰酸镧薄膜的制备工艺及电性能研究[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
2 刘越峰;多铁材料YMnO_3的制备与表征[D];河南大学;2009年
3 徐洁;Pt/Pb(Zr_(0.20)Ti_(0.80))O_3/Pt光电流产生机制的研究[D];苏州大学;2010年
4 付勇华;基于非晶钛酸钡铁电薄膜的白光LED器件的研究[D];华中科技大学;2009年
5 于玲君;氧化物过渡层材料的制备及其对BST薄膜结构与介电性能的影响研究[D];济南大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘梅冬,曾亦可,李楚容,饶韫华,王培英,邓传益;铁电薄膜的制备及应用技术研究[J];材料导报;2000年12期
2 陈志武;卢振亚;;铁电薄膜材料及其相关问题研究进展[J];材料导报;2005年05期
3 王华;铁电薄膜及其制备技术[J];桂林电子工业学院学报;2001年02期
4 肖定全;铁电薄膜研究中的几个重要问题[J];功能材料;2003年05期
5 孙顺明;铁电薄膜的材料系统与功能性质[J];硅酸盐通报;1999年04期
6 王悦辉,庄志强;铁电薄膜材料的研究进展[J];陶瓷研究与职业教育;2003年02期
7 苗彬彬;王君;陈江涛;闫鹏勋;;铁电PLZT薄膜的最新研究进展[J];人工晶体学报;2006年03期
8 李慧勤;谈国强;安百江;张欣娟;;水热法制备薄膜材料技术研究进展[J];陶瓷;2007年07期
9 戴自璋;铁电薄膜材料的性能,应用和发展前景[J];陶瓷研究;1997年03期
10 朱小红,朱建国,郑东宁,李林;铁电钛酸锶钡薄膜的最新研究进展[J];无机材料学报;2003年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蔡玉平;冯蒙丽;韩代朝;;BST薄膜高介电调谐率和低介电损耗的设计[J];兵器材料科学与工程;2010年04期
2 王义;朴林华;;微型气流陀螺敏感机理的有限元分析[J];微纳电子技术;2007年Z1期
3 张德志;李焰;钟方平;林俊德;王等旺;王长利;;冲击波壁面反射压力的压杆测试法[J];兵工学报;2007年10期
4 纪明明;朴林华;李白华;;气流式水平姿态传感器的三维建模及计算[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2010年02期
5 王星;朴林华;余全刚;;气流式角速度陀螺的温度场和压强有限元分析[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2011年04期
6 张保丽;朴林华;梅传志;;腔体结构对射流陀螺分辨率影响的有限元分析[J];北京信息科技大学学报(自然科学版);2012年03期
7 连红运;陈以方;李庆;;聚焦换能器的研制和在超声特征成像中的应用[J];传感技术学报;2006年04期
8 韦晓兰;李柳应;舒建华;莫志宏;;压电生物传感器响应机制的声阻抗模型理论分析[J];传感技术学报;2007年04期
9 齐洪东;杨涛;岳高铭;韩宾;胡莉;;微型压电陶瓷振动发电技术研究综述[J];传感器与微系统;2007年05期
10 魏双会;褚金奎;杜小振;;压电发电器建模研究[J];传感器与微系统;2008年06期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 王骥;柳建松;杜建科;黄德进;;薄膜体声波谐振器结构与振动分析[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
2 董天晓;王丽坤;秦雷;李莉;吴炜伟;王钢;;压电圆柱叠堆换能器的有限元分析[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
3 王德石;杜贻群;任斌;;低频钹式换能器的性能分析与设计[A];第十二届全国非线性振动暨第九届全国非线性动力学和运动稳定性学术会议论文集[C];2009年
4 鲍诗杰;徐志科;金龙;;叠层型压电致动器的驱动电源研究[A];第十三届中国小电机技术研讨会论文集[C];2008年
5 郝俊杰;李龙土;徐廷献;;基片种类及梯度烧成对PZT薄膜表面形貌的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
6 丑修建;翟继卫;姚熹;;钛酸钡基铁电材料的介电非线性研究[A];《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会论文集(二)[C];2007年
7 陈异;监德均;陈强;肖定全;朱建国;;(1-x)BiScO_3-xPbTiO_3铁电陶瓷的制备与性能研究[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
8 康丹;;热释电探测技术在综放面生产安全中的研究应用[A];第3届全国煤炭工业生产一线青年技术创新文集[C];2008年
9 张华;;一种检测压电材料表面声速的设计与实现[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张光祖;钛酸锶钡场致效应及热释电特性研究[D];华中科技大学;2010年
2 杜景红;凝胶注模成型法制备1-3型PMN-PZT/环氧树脂压电复合材料研究[D];昆明理工大学;2009年
3 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
4 刘明;界面调制的功能氧化物薄膜制备与物理性能[D];大连理工大学;2011年
5 曲磊;多场耦合电磁弹性体的基本理论与计算方法研究[D];合肥工业大学;2011年
6 刘毅;多铁性氧化物RFe_2O_4的磁电效应及相关物性研究[D];中国科学技术大学;2011年
7 侯莹;多铁性材料外场调控介电性质研究[D];中国科学技术大学;2011年
8 翟海法;几种氧化物介质材料的制备及其光催化与电学性能的研究[D];南京大学;2011年
9 李敏毅;铌酸锂高频超声换能器的研制与输出功率测量[D];华南理工大学;2011年
10 钱征华;压电复合材料及层状结构中弹性耦合波问题研究[D];西安交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;压电双晶片型微位移放大机构研究[D];河南理工大学;2010年
2 殷旺;外场作用下多畴PZT铁电薄膜相变及印记失效分析[D];湘潭大学;2010年
3 侯建伟;电子型铁电体的介电调谐性的研究[D];湘潭大学;2010年
4 戴顺洪;NBT-KBT-100x压电薄膜的制备及表征[D];湘潭大学;2010年
5 何涛焘;纵波压电传感器瞬态特性的模拟与实验研究[D];湘潭大学;2010年
6 许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
7 袁肖肖;薄壁铜管壁厚控制的超声检测系统[D];华东理工大学;2011年
8 陈湘亮;介质变容管可调匹配网络及微带天线研制[D];电子科技大学;2011年
9 罗建强;铁电薄膜制备方法的研究[D];西安工业大学;2011年
10 杨鹏远;铌酸钾钠基无铅压电陶瓷制备与性能研究[D];华北电力大学(北京);2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孟影;金绍维;;La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3外延膜厚度引起的电阻率变化[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年03期
2 冯志君,凌烈峰,宗清文;钙钛石型LaMnO_3催化剂的制备[J];安庆师范学院学报(自然科学版);1999年02期
3 江少群;马欣新;唐光泽;孙明仁;王刚;;O_2/(O_2+Ar)比对磁控溅射La-Sr-Mn-O薄膜沉积速率的影响[J];中国表面工程;2008年02期
4 江辉明,叶志清,曾明生;脉冲激光沉积(PLD)机理分析及其应用[J];江西师范大学学报(自然科学版);2005年01期
5 吴宪平,胡美凤;扩散硅压力传感器性能优化研究[J];传感技术学报;1992年03期
6 刘一声;新型热敏材料及器件的研制动态[J];传感器技术;1988年02期
7 田民波,王英华,汤海鹏;SiC薄膜热敏电阻器及温度传感器[J];传感器技术;1989年04期
8 刘源,秦永宁,韩森;纳米晶LaMnO_3及La_(1-x)Sr_xMnO_3的合成及其催化氧化性能[J];催化学报;1998年02期
9 黄传真,艾兴,侯志刚,陈元春;溶胶-凝胶法的研究和应用现状[J];材料导报;1997年03期
10 孙继红,范文浩,吴东,孙予罕;溶胶-凝胶(Sol-gel)化学及其应用[J];材料导报;2000年04期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 薛理辉;稀土氧化物和稀土矿物的谱学研究[D];武汉理工大学;2003年
2 付兴华;掺杂钛酸锶钡薄膜的制备与电性能的研究[D];武汉理工大学;2005年
3 雷丽文;钙钛矿型锰基氧化物的制备、结构及性能研究[D];武汉理工大学;2006年
4 韦群燕;高导电率精密印刷银浆制备技术研究[D];昆明理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 徐振华;溶胶—凝胶法制备光功能材料研究[D];长春理工大学;2002年
2 尹经敏;几种铁电材料的制备和研究[D];兰州大学;2006年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 刘宏华;丝网印刷法制备La_(1-x)Sr_xMnO_3基薄膜及性能研究[D];山东大学;2010年
2 纪元;镧系钙钛矿氧化物涂层的制备工艺与电性能研究[D];山东大学;2012年
3 王占才;Mn、Nd掺杂BaTiO_3的制备和性能研究[D];河北师范大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 肖定全;铁电薄膜,一个十分活跃的研究领域[J];材料导报;1993年05期
2 侯识华,宋世庚,郑应智,马远新,郑毓峰;Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜[J];材料科学与工艺;2002年01期
3 侯识华,宋世庚,马远新,郑毓峰;铅过量PLZT铁电薄膜的制备及其电学性质研究[J];材料科学与工程;2001年03期
4 赖欣,高道江,毕剑;改进水热法制备Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜及其表征[J];稀有金属材料与工程;2005年10期
5 陶颖,陈振华,祝宝军;水热电化学法制备LiCo_(0.2)Ni_(0.8)O_2薄膜电极[J];电池;2004年06期
6 阎培渝,苏涛,李龙土,张孝文;用溶胶-凝法制备锆钛铅铁电薄膜[J];高技术通讯;1995年06期
7 王华,任鸣放;铁电存储器及研究进展[J];桂林电子工业学院学报;2000年03期
8 王培英,王欣宇,刘梅冬,饶韫华,曾亦可;Ba_(1-x)Sr_xTiO_3薄膜的制备及特性研究[J];功能材料;1998年05期
9 翟继卫,吴小清,徐卓,张良莹,姚熹;溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜的结构特征研究[J];功能材料;1999年05期
10 刘梅冬,陈实,曾亦可,饶韫华,李楚容,陈磊,潘晓光,邓传益;铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究[J];功能材料;2000年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 段鹤;溶胶—凝胶水热法结合电泳技术(EPD)制备FeS_2薄膜的研究[D];新疆大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 肖定全;铁电薄膜材料及集成铁电器件的相关问题[J];哈尔滨理工大学学报;2002年06期
2 黄文波;李文芳;吴晶;;微弧氧化生成钛酸盐系铁电薄膜研究[J];材料科学与工艺;2011年02期
3 陈志武;卢振亚;;铁电薄膜材料及其相关问题研究进展[J];材料导报;2005年05期
4 孟令健;王鹏;李雷;;铁电薄膜材料综述[J];科技信息;2011年15期
5 金葆卉;铁电薄膜及其应用[J];国外建材科技;1996年02期
6 李建康;;采用修正的溶胶-凝胶技术制备PZT铁电薄膜[J];苏州科技学院学报(自然科学版);2005年04期
7 王继扬;铁电薄膜物理学与集成铁电学专题研讨会在南京大学举行[J];物理;1994年09期
8 包定华;用金属有机化合物制备铁电薄膜:工艺及进展[J];压电与声光;1994年05期
9 单连伟,丁碧妍,付兴华,侯文萍,单志强;(Ba,Sr)TiO_3铁电薄膜制备技术及其研究进展[J];桂林电子工业学院学报;2003年06期
10 姚熹;铁电陶瓷薄膜与薄膜器件[J];材料导报;1992年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 段镇忠;周廉;;铋系超导带材制备技术及其强电应用[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
2 黄政仁;刘学建;陈忠明;江东亮;;大尺寸轻量化光学部件的研制[A];中国空间科学学会第七次学术年会会议手册及文集[C];2009年
3 黄新堂;邓玉荣;丁晓夏;高建明;甘仲惟;程筠;祁守仁;官文超;;纳米硫化钼制备技术及产业化[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
4 姚树玉;韩野;王淑峰;崔洪芝;陈蕴博;;粉煤灰微晶玻璃制品制备技术[A];第一届脱硫技术及脱硫石膏、脱硫灰(渣)处理与利用大会论文集[C];2007年
5 曾文;张合静;黄龙;刘天模;;纳米三氧化钨制备技术及研究现状[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
6 杨祖培;高峰;周欣山;田长生;;含铅弛豫铁电陶瓷的制备技术[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
7 姜亚昌;王达健;;纳米CeO_2的制备技术及其紫外线吸收应用[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
8 李敬锋;;材料微细制备技术及其在MEMS元器件中的应用[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
9 陈玉峰;樊启晟;唐婕;王华;;高性能碳化硅陶瓷反射镜制备技术[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
10 刘庆昌;;纳米陶瓷粉末产业化制备技术[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;光纤预制棒的制备技术[N];人民邮电;2003年
2 记者 张丽;高纯度壬二酸制备技术研发成功[N];新疆科技报(汉);2007年
3 顾云平 周卫红;纳米二氧化硅制备技术有突破[N];中国化工报;2003年
4 ;上海研发出白炭黑制备技术[N];今日信息报;2003年
5 伍维;纳米二氧化硅制备技术取得重大突破[N];中国有色金属报;2005年
6 中兰;超细镍粉制备技术治理荒漠化新材料通过验收[N];中国化工报;2005年
7 ;磷脂微胶囊制备技术在大连问世[N];今日信息报;2003年
8 白毅;沈阳药大脂质体研究成效突出[N];中国医药报;2005年
9 ;产能跃居世界第一[N];文汇报;2006年
10 实习记者 孟晶;动态硫化制备技术通过鉴定[N];中国化工报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卢兆信;铁电薄膜相变性质的高阶格林函数研究[D];电子科技大学;2011年
2 张芹;铁电薄膜极化性质的理论研究[D];吉林大学;2011年
3 杨锋;铁电薄膜与隧道结存储器件性能模拟及失效机理研究[D];湘潭大学;2010年
4 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
5 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
6 郭惠芬;钙钛矿铁电薄膜的制备及其表面微区电学性质研究[D];河南大学;2010年
7 朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
8 贾建平;混合堆背景下铀钼合金燃料材料的设计与制备技术研究[D];中国工程物理研究院;2012年
9 裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
10 刘骁兵;铁酸铋与P(VDF-TrFE)铁电薄膜的制备及性能研究[D];复旦大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
2 许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
3 吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
4 杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
5 柳擎;PZT铁电薄膜的掺杂改性研究[D];华中科技大学;2005年
6 姚东来;铁电薄膜的物理性质研究[D];苏州大学;2002年
7 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
8 万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
9 翟亚红;铁电存储器的设计及工艺研究[D];电子科技大学;2005年
10 田玥;弛豫铁电薄膜PMN-0.26PT的制备及其性能的研究[D];上海师范大学;2011年
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