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《光电工程》 1995年01期
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变形反射镜的发展

凌宁  官春林  
【摘要】:介绍了我们的变形反射镜(以下简称变形镜)的研制发展过程,叙述了变形镜的主要性能的定义和要求及其测试方法,列举了我们已在自适应光学系统中成功应用的几种变形镜和有关研究工作的进展并指出今后的发展展望。
【作者单位】中国科学院光电技术研究所
【基金】:国家高技术研究计划资助
【分类号】:TN201

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 曾志革,凌宁;分立式变形反射镜薄镜面的应力分析方法研究[J];光学精密工程;1997年05期
2 王皓,凌宁,曾志革;一种高分辨力、大行程微驱动压电马达[J];光电工程;2003年04期
3 薛丽霞,官春林,凌宁;随机振动环境对微小型波前校正器性能的影响[J];光电工程;2002年04期
4 余洪斌,陈海清,竺子民,李俊,张大成,李婷;一种新型微变形镜键合技术[J];光电工程;2004年08期
5 凌宁,官春林,王岚,曾志革,饶学军;61单元分立式压电变形反射镜的研制[J];量子电子学报;1998年02期
6 王皓;凌宁;;基于压电动力的双级式驱动器[J];压电与声光;2005年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈贵敏;振动环境下光束指向稳定及其光机电一体化关键技术[D];西安电子科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 胡东霞;高功率固体激光系统波前校正技术优化研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
2 陈源画;高功率固体激光驱动器光学元件位相误差研究[D];四川大学;2005年
3 阎传文;自适应微镜阵列的研究[D];浙江大学;2008年
4 李开成;大冲程高表面质量MEMS微变形镜实现技术的研究[D];西北工业大学;2007年
5 方迪;基于微变形反射镜自适应光学系统原理与实验研究[D];华中科技大学;2005年
6 张巍;微光学自适应系统中基于PZT薄膜的微反射镜单元工艺研究[D];浙江大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 闫迎利;压电效应及其应用[J];安阳师范学院学报;2001年02期
2 余洪斌,陈海清,竺子民,李俊,王忠;用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜[J];半导体技术;2004年05期
3 于洋,曹根瑞;主动光学反射镜面形的校正能力及其优化设计[J];北京理工大学学报;2003年02期
4 樊丽梅;文九巴;赵胜利;祝要民;;化学蚀刻单晶硅及其表面形貌研究[J];表面技术;2007年01期
5 虞益挺;苑伟政;乔大勇;李晓莹;;分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计[J];传感技术学报;2006年05期
6 杨冰,杨银堂,李跃进;PZT压电薄膜在微传感器中的应用[J];传感器技术;2003年12期
7 邱成军,孟丽娜,刘红梅,曹茂盛;溅射PZT薄膜微驱动器的工艺研究[J];传感器技术;2004年09期
8 贺志荣;;TiNi 形状记忆合金的工程应用研究现状和展望[J];材料导报;2005年04期
9 刘红梅,邱成军,曹茂盛;PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展[J];材料工程;2004年06期
10 程晋荣,徐东,孟中岩;锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应[J];材料研究学报;2000年04期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 王俊;航天光学成像遥感器动态成像质量评价与优化[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 杜少军;高能激光器及其发射系统的热变形研究[D];国防科学技术大学;2001年
3 周宗锡;刚体姿态控制及其在机器人控制中的应用研究[D];西北工业大学;2002年
4 侯静;自适应光学波前探测新概念研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
5 范国滨;光束稳定与振动控制的光机电一体化系统研究[D];西安电子科技大学;2004年
6 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 付芸;航空相机扫描反射镜系统研究与设计[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 乔大勇;基于MEMS技术的自适应光学微变形镜的设计与分析[D];西北工业大学;2003年
3 李福良;基于PA85的新型压电陶瓷驱动电源[D];合肥工业大学;2004年
4 王宏;压电驱动器控制系统的研制[D];电子科技大学;2004年
5 何洋;MEMS微变形镜的系统级建模研究[D];西北工业大学;2005年
6 饶伏波;基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究[D];西北工业大学;2005年
7 庞学文;任意波形发生器的研制[D];吉林大学;2005年
8 虞益挺;MEMS微变形镜设计及其薄膜残余应力控制研究[D];西北工业大学;2006年
9 龙学军;基于像质评价函数最优化的自适应波前控制技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
10 余浩;基于光栅型波前曲率传感器的固体激光器热透镜效应测量[D];国防科学技术大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 吴永前,吴时彬,伍凡,曾志革,高平起,陈强;空间相机主镜加工状态下的有限元分析[J];光电工程;2001年05期
2 施洋,章海军;新型大扫描范围原子力显微镜的研究[J];光电工程;2004年06期
3 吴永前,吴时彬,伍凡;大型轻质反射镜加工支撑状态的有限元分析研究[J];光学技术;2001年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吴永前;吴时彬;伍凡;;大型轻质反射镜加工支撑状态的有限元分析研究[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 陈贵敏;振动环境下光束指向稳定及其光机电一体化关键技术[D];西安电子科技大学;2005年
2 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
3 史丽萍;多次压电效应探析及在传感执行器上的应用基础研究[D];大连理工大学;2006年
4 胡旭晓;具有大进给力的纳米级热驱动部件研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 李松;航天员对地观察望远镜设计与研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 刘海涛;基于压电陶瓷的步进式进给机构的研制[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 赵军普;高功率固体激光光束质量诊断方法研究[D];四川大学;2006年
4 陈俊霞;轻质反射镜制造技术的研究[D];长春理工大学;2006年
5 向东;基于频闪成像的MEMS-DMs动静态特性测试[D];华中科技大学;2006年
6 代万俊;ICF激光驱动器自适应光学技术应用问题研究[D];中国工程物理研究院;2007年
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吕赛君;白剑;侯西云;杨国光;;基于MOEMS的微光学自适应微镜的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
2 王兆华;金展;郑加安;王鹏;魏志义;张杰;;20TW激光波前畸变的测量和修正[A];2004年全国强场激光物理会议论文集(二)[C];2004年
3 张家如;;自适应光学波前校正优化方法[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
4 张天树;雷广玉;杜祥琬;;非线性光学相位共轭补偿激光大气传输束畸变[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
5 万敏;苏毅;向汝建;;激光导引星自适应光学系统对大气湍流低阶像差校正效果分析[A];中国工程物理研究院科技年报(2001)[C];2001年
6 周起勃;;红外景象仿真器技术发展概况[A];第二届红外成像系统仿真测试与评价技术研讨会论文集[C];2008年
7 卢宏;程祖海;左都罗;朱海红;余文峰;;高单脉冲能量高重复率TEACO_2激光器[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
8 向汝建;;高能MOPA激光光束波前畸变测量与校正[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
9 代万俊;;ICF激光驱动器波前校正技术研究[A];中国工程物理研究院科技年报(2010年版)[C];2011年
10 程兆谷;张志平;;超大工件激光精密加工质量控制[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王德恩;精密位相主动控制技术研究[D];中国工程物理研究院;2011年
2 代万俊;ICF激光驱动器自适应光学技术应用问题研究[D];中国工程物理研究院;2007年
3 吕赛君;基于微光机电系统的微光学自适应微镜的研究[D];浙江大学;2007年
4 张治国;单驱动变曲率反射镜研究[D];大连海事大学;2011年
5 裴正平;自适应光学技术用于改善固体激光器光束质量的研究[D];中国工程物理研究院;2006年
6 胡东霞;高功率固体激光系统波前校正技术优化研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
7 刘红婕;高功率激光束中高频位相畸变特性的研究[D];中国工程物理研究院;2005年
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