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《光电工程》 2005年05期
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数字刀口检测技术

张均  董军  张艳  张蓉竹  蔡邦维  
【摘要】:为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术,把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪。采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息。对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12λ(λ=532nm)。通过与干涉仪测得P-V值0.057λ相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据。

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【引证文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈磊;仇智;;干涉显微镜测量小球面曲率半径[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 仇智;干涉显微镜测量球面小曲率半径方法研究[D];南京理工大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 袁吕军;刀口定量检验技术的研究[J];光学学报;1999年06期
2 张艳,张蓉竹,董军,张均,蔡邦维;微光学元件面形的数字刀口检测技术[J];强激光与粒子束;2004年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王虎;用Talbot效应检验激光准直性[J];光学与光电技术;2004年03期
2 孔祥蕾,郝沛明,张权;凸抛物面反射镜的检验[J];光学技术;2002年01期
3 张艳,张蓉竹,董军,张均,蔡邦维;微光学元件面形的数字刀口检测技术[J];强激光与粒子束;2004年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李刚;印刷线路板图像检测方法和系统研究[D];北京化工大学;2002年
2 张艳;数字刀口检测技术的研究[D];四川大学;2004年
3 张均;大口径球面数字刀口检测技术的研究[D];四川大学;2005年
4 戴斌飞;面形精度评价方法研究[D];苏州大学;2005年
5 汪凤全;可用于大口径精密表面缺陷检测的数字化评价系统研究[D];浙江大学;2006年
6 张小凡;基于DSP的数字球径仪系统研制[D];南京理工大学;2006年
7 刘晓明;成像系统性能及图像质量评估研究[D];南京理工大学;2007年
8 江建祥;EK200全自动单反相机软件实现技术研究[D];南京理工大学;2007年
9 应智锋;基于CCD图像处理的二维尺寸检测系统[D];南京理工大学;2007年
10 胡昊明;长焦连续变倍单镜头反光照相镜头技术研究[D];南京理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 程刚;蒋世磊;;大口径光学件误差均化拼接技术[J];光电工程;2006年06期
2 单宝忠,王淑岩,牛憨笨,刘颂豪;Zernike多项式拟合方法及应用[J];光学精密工程;2002年03期
3 尹志武,程维明,陈明仪;条纹图的图像处理方法[J];光学精密工程;1999年01期
4 陈瑞改,陈怀新;干涉条纹中心线提取与细化的新方法[J];激光杂志;2005年05期
5 张艳群,孟凡荣;MATLAB在图像边缘检测中的应用[J];计算机应用研究;2004年06期
6 韩慧,于守谦,刘亚斌,刁修民;基于PCI总线图像采集卡开发的图像处理系统[J];计算机测量与控制;2003年06期
7 吴选忠;;Zhang快速并行细化算法的扩展[J];福建工程学院学报;2006年01期
8 宋刚,刘瑶华;一种能强化细节的自适应直方图均衡法[J];山东工业大学学报;1999年01期
9 赵文才,王鹏,何宗平,郝沛明;大口径凸球面透镜的补偿检验[J];同济大学学报(自然科学版);2003年12期
10 李辉,蒋秀明,高殿斌,王国瑞;Matlab语言在数字图像中值滤波中的应用研究[J];天津工业大学学报;2003年01期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 王权陡;计算机控制离轴非球面制造技术研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
2 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年
3 尹自强;超精密直线度测量及表面微观形貌分析研究[D];国防科学技术大学;2003年
4 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 仇智;干涉显微镜测量球面小曲率半径方法研究[D];南京理工大学;2006年
【二级引证文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈磊;仇智;;干涉显微镜测量小球面曲率半径[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 张蓉竹,杨春林,许乔,蔡邦维;使用子孔径拼接法检测大口径光学元件[J];光学技术;2001年06期
2 程维明,林有略,陈明仪;多孔径扫描波面恢复技术的精度评定及影响因素[J];光学学报;1993年08期
3 张亦奕,贺节,商广义,姚骏恩;原子力显微镜[J];光学学报;1995年01期
4 袁吕军;刀口定量检验技术的研究[J];光学学报;1999年06期
5 张蓉竹,许乔,顾元元,蔡邦维;大口径光学元件检测中的主要误差及其影响[J];强激光与粒子束;2001年02期
6 张蓉竹,石琦凯,江腾蛟,蔡邦维;强激光系统光学元件波前相位梯度分析[J];强激光与粒子束;2003年02期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 ;Technical Program Friday Sessions[A];Final Program and Book of Abstracts of 2008 Chinese Control and Decision Conference[C];2008年
2 ;Book of Abstracts[A];Final Program and Book of Abstracts of 2008 Chinese Control and Decision Conference[C];2008年
3 ;Technical Program Thursday Sessions[A];Final Program and Book of Abstracts of 2008 Chinese Control and Decision Conference[C];2008年
4 ;Technical Program Wednesday Sessions[A];Final Program and Book of Abstracts of 2008 Chinese Control and Decision Conference[C];2008年
5 ;Fuzzy theory application in quality management[A];2009中国控制与决策会议论文集(2)[C];2009年
6 ;Multi-objective PID control for non-Gaussian stochastic distribution system based on two-step intelligent models[A];2009年中国智能自动化会议论文集(第四分册)[中国科学(专刊)][C];2009年
7 王健;杨福兴;鄢定尧;;高精度方形透镜数控加工工艺[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
8 ;Fault Tolerant Method Based on Adaptive Fuzzy Neural Network[A];上海海事大学与波兰格丁尼亚海事大学校际合作20周年科技论文集[C];2004年
9 ;The Dynamic Stability Criterion of the Wheel-based Humanoid Robot Based on ZMP Modeling[A];2009中国控制与决策会议论文集(2)[C];2009年
10 ;Neural Network Modeling and Generalized predictive control For Giant Magnetostrictive Actuators[A];2009中国控制与决策会议论文集(2)[C];2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 周李兵;复合板材厚度在线检测系统设计[D];合肥工业大学;2009年
2 闻人青青;基于CMOS传感器的全视场MTF测量系统的研究[D];浙江大学;2002年
3 王连杰;基于线性规划的一维优化下料系统研究与开发[D];大连理工大学;2003年
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