收藏本站
《光电工程》 2000年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

消除激光直写系统中声光调制器迟滞现象的方法

吴剑  刘玉玲  沈亦兵  李培勇  
【摘要】:激光直写是一种适用于衍射光学器件及掩模加工的方法。利用声光调制器对曝光功率进行精确控制对所制作器件的性能是至关重要的。首先描述了声光调制器的迟滞现象及其对曝光后掩模表面图形的不良影响。基于这一分析 ,提出了一种方法来克服声光调制器迟滞现象所带来的问题。简述了此项技术的设计原理和实现。实际制作的掩模样品图案显示了所述方法的有效性
【作者单位】浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州310027 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州310027 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州310027 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州310027
【关键词】激光直写系统 声光调制器 光刻 迟滞
【基金】:国家自然科学基金资助项目!(6 978980 3)
【分类号】:TN24
【正文快照】:
引 言激光直写是二元光学器件及其掩模加工的一种重要手段[1]。其中,用于光刻的激光光功率的控制对于二元光学器件的加工质量十分重要,它直接影响光刻胶上的直写微细图形质量,从而最终影响二元光学器件的衍射效率。我们在所研制的极坐标激光直写系统中,采用了声光调制器来实

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 梁宜勇;全数字化激光直写转台系统[J];光电工程;2004年05期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 沈亦兵,周光亚,刘玉玲;激光直接写入系统中的光功率稳定控制[J];仪器仪表学报;1999年02期
2 戴旭涵,米凤文,沈亦兵,周光亚,杨国光;应用于激光直写设备的转台自动测控系统[J];机电工程;1998年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 徐兵,魏国军,陈林森;激光直写技术的研究现状及其进展[J];光电子技术与信息;2004年06期
2 陈林森,解剑锋,沈雁,汪振华,陆志伟;基于SLM的三维图像激光光刻系统的研制[J];激光与红外;2003年05期
3 陈林森,解剑锋,沈雁,汪振华,陆志伟;用于数码三维衍射图像的激光照排系统[J];仪器仪表学报;2005年04期
4 刘青科;空间场透射方程及其应用[J];工程图学学报;2000年01期
5 梁宜勇;全数字化激光直写转台系统[J];光电工程;2004年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 周小红;新型激光直写系统的优化设计与工艺研究[D];苏州大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 熊木地,张慧敏,肖文礼,邢忠宝;二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法[J];光电工程;2001年02期
2 戴旭涵,米凤文,沈亦兵,周光亚,杨国光;应用于激光直写设备的转台自动测控系统[J];机电工程;1998年06期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 闫玮;曲面激光直写光刻技术研究[D];浙江大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 何桂鸣,周树生,张玉和,候惠夙;激光照排机用的声光调制器[J];压电与声光;1980年04期
2 李文冲;余振新;林位株;;采用一种新型声光调制器的锁模氩离子激光器[J];中山大学学报(自然科学版);1980年03期
3 Y.Ohta;M.Sakaguchi;方正;;宽带激光记录系统的声光调制器的改进[J];应用激光;1980年03期
4 Howard P.Layer;孙宗建;;声光调制器强度伺服系统[J];应用激光;1980年04期
5 李文冲;林位株;余振新;;采用一种新型声光调制器的锁模Ar~+激光器[J];激光与红外;1980年12期
6 李文冲,余振新,林位株;采用一种新型声光调制器锁模的氩离子激光器[J];中国激光;1981年03期
7 王德芳;声光调制器[J];压电与声光;1981年02期
8 董孝义,盛秋琴;判定声光调制器声场状态的实验方法[J];中国激光;1982年03期
9 方正;程关錩;朱三又;刘伟;魏洁云;吕建华;;LiNbO_3-ZF_6玻璃声光调制器[J];应用激光;1982年03期
10 董孝义,盛秋琴,杨性愉;声光调制[J];物理实验;1983年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 顾荣庆;;数码印花激光成像技术[A];首届长三角科技论坛——数码纺织科技论坛论文集[C];2004年
2 冯锡淇;金建辉;;稀土改性的钨酸铅晶体声光调制器[A];中国兵工学会2004年光学与光电子学学术研讨会论文摘要集[C];2004年
3 毕卫红;李超;唐予军;;基于声光可调滤光器的红外在线检测系统的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
4 高爱华;弥谦;刘卫国;秦文罡;;薄膜背散射积分测试系统中光电探测器的设计[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5 卢向东;;正交线偏振光在FSO中的应用[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
6 孟飞;方占军;王强;王民明;;乙炔(~(12)C_2H_2)吸收稳频1.5μm半导体激光波长标准的研究[A];全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集[C];2005年
7 王谨;詹明生;;基于相干布居数囚禁的冷原子钟[A];2005年全国时间频率学术交流会文集[C];2005年
8 李唐;姜海峰;魏荣;吕德胜;边风刚;王育竹;;上海光机所铷原子喷泉钟电路研制进展[A];2005年全国时间频率学术交流会文集[C];2005年
9 高秀敏;徐文东;干福熹;;蓝光光存储材料研究平台的构建[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
10 卢向东;张丽娟;欧伟英;;声光调制器偏振特性的实验研究[A];2006年国防光学及光电子学学术研讨会暨中国兵工学会光学专业委员会成立25周年年会论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 本报记者 朱志丹 通讯员 王晖;开发光电子材料 建设环保型企业[N];中国贸易报;2001年
2 林华珍;高科技领域显身手[N];中国电子报;2002年
3 林华珍;晶体市场 大有钱途[N];中国企业报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 吴栋;移相干涉仪自适应抗振技术研究[D];南京理工大学;2004年
2 张秀峰;超短脉冲激光调制在时间高分辨光谱仪中应用的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
3 蒋蔚;热原子蒸汽中的相干与非线性现象[D];中国科学技术大学;2006年
4 蔡建文;双光子三维光存储关键技术及其实验系统研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周广;新型全光纤声光调制器件的理论和实验研究[D];北京工业大学;2000年
2 韩兴伟;主被动锁模Nd:YAG皮秒激光器研究[D];吉林大学;2004年
3 赵新亮;扫描式激光大屏幕显示技术研究[D];四川大学;2005年
4 祝贞凤;基于光纤水听器阵列的高速时分复用系统研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 张杰;激光测距仪可靠性模拟系统[D];长春理工大学;2006年
6 刘飞;激光多普勒测速仪的研究[D];长春理工大学;2006年
7 费杰;激光方向稳定系统中的若干关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 李彦锋;激光多普勒高速形变位移测量系统的研究[D];天津大学;2006年
9 黄福祥;激光多普勒散射体高速运动测量技术研究[D];天津大学;2006年
10 朱琨;双面金属包覆聚合物波导电光调制的研究[D];上海交通大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026