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《辽宁石油化工大学学报》 2006年04期
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MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜

熊礼威  汪建华  满卫东  
【摘要】:采用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲烷混合气体,在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪(Raman)和傅立叶红外光谱仪(FTIR)对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸、纯度和光学透过性能进行了表征。通过SEM发现,得到的金刚石薄膜的颗粒尺寸为0.2~0.3μm,形核密度超过109cm-2,从薄膜形貌可以发现,较高温度有利于提高薄膜的生长速率和颗粒尺寸的均匀性。通过拉曼光谱和红外透射光谱分析发现,较高温度下沉积的薄膜具有较高的金刚石相含量,薄膜的光学透过性能也相对较好。

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【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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1 熊礼威;汪建华;满卫东;曹菊琴;;化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展[J];激光与光电子学进展;2006年07期
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1 王玲;W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究[D];中南大学;2011年
【同被引文献】
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【二级引证文献】
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1 王新玲;周丽;黄树涛;许立福;;CVD金刚石膜高速机械研磨温度场的有限元模拟[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年05期
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1 田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
【二级参考文献】
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄健;基于自支撑金刚石薄膜的晶体管和紫外探测器制备与性能研究[D];上海大学;2010年
2 邓涛;石英玻璃及石英光纤的抗辐射性能研究[D];武汉理工大学;2010年
3 周永恒;石英玻璃及原料中羟基的研究[D];中国建筑材料科学研究院;2002年
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7 沈彬;超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究[D];上海交通大学;2009年
8 魏秋平;钢基CVD金刚石薄膜的制备、微结构及其机械性能的研究[D];中南大学;2011年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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5 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
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8 杨国栋;陶瓷基CVD金刚石薄膜的制备、摩擦试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
9 杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
10 陈俊英;CH4/H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究[D];河北大学;2000年
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