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锥形碳氮结构的发光性能

王必本  陈玉安  陈轩  
【摘要】:利用偏压增强化学气相沉积系统,以CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si衬底上制备锥形碳结构,并用扫描电子显微镜、X射线能谱仪和显微Raman光谱仪对其进行表征,结果表明所制备的样品为锥形碳氮结构。用显微Raman光谱仪对锥形碳氮结构在室温下的发光性能进行了研究,发光谱显示出中心在621,643,726 nm的发光带。根据碳氮薄膜的发光机理对锥形碳氮结构的发光性能进行了分析。

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