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《电子世界》 2018年02期
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亚波长光栅反射镜的制备及应用

王志伟  张家斌  王霞  谢检来  
【摘要】:论文主要是围绕垂直腔面发射激光器(VCSEL)中亚波长光栅反射镜的制备技术开展研究,通过阅读大量的国内外文献,了解垂直腔面发射激光器的基本原理和结构,及其优良的性能和广泛的应用前景。掌握亚波长光栅独特的衍射特性及其在垂直腔面发射激光器(VCSEL)中的应用,通过分析和设计亚波长光栅结构,优化工艺流程和参数,实现亚波长光栅的制备,使其满足VCSELs的要求。
【作者单位】长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室;
【分类号】:TN248;TN25

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