收藏本站
《电子学报》 2010年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析

王阳  陈军宁  柯导明  
【摘要】:本文研究一种梳齿电极结构的集成电容式传感器,利用保角变换对其边界电极的静电电容值情况进行推导,给出了边界电极电容值的解析表达式,并利用Ansys软件对其进行仿真验证.结果显示解析公式得到的计算结果和软件仿真结果相吻合,说明得到的公式具有高的精度.利用所给的解析表达式可以为设计和应用该结构电容式传感器提供更好的理论基础.

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 彭韶华;黄庆安;秦明;张中平;;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器[J];半导体学报;2006年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李东;金鑫;张玉峰;;具有易损坏储备部件可修系统谱的特性[J];数学的实践与认识;2006年08期
2 凤宝林;冯雪;徐光甫;;具有四个状态可修复系统本征值分布[J];数学的实践与认识;2006年08期
3 金鑫;李东;张玉峰;;两不同部件并联可修系统的本征值分布[J];数学的实践与认识;2006年10期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 金波;位错与裂纹/含非理想界面夹杂的干涉机理研究[D];湖南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 彭韶华;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器研究[D];东南大学;2006年
2 金鑫;两不同部件并联可修系统的本征值分布[D];延边大学;2007年
3 凤宝林;具有四个状态可修复系统解的半离散化分析[D];延边大学;2007年
4 李东;具有易损坏储备部件可修系统谱的特性[D];延边大学;2007年
5 齐洪敏;含多集中质量弹性板基波频率解析及试验模态分析[D];北京交通大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平;CMOS工艺兼容的温湿度传感器[J];半导体学报;2005年07期
2 王雷,王保良,冀海峰,黄志尧,李海青;电容传感器新型微弱电容测量电路[J];传感技术学报;2002年04期
3 高兴军,赵恒华;大型通用有限元分析软件ANSYS简介[J];辽宁石油化工大学学报;2004年03期
4 赵雪英,郭雨梅;一种小电容检测方法——充放电法[J];沈阳工业大学学报;2003年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张淑宁;准动态校准技术实验研究[D];南京理工大学;2003年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 顾磊,黄庆安,秦明,张中平,严先蔚;一种新型CMOS兼容湿度传感器[J];半导体学报;2004年02期
2 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平;CMOS工艺兼容的温湿度传感器[J];半导体学报;2005年07期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘芮君;李新娥;李园;;基于电容式应变计的膛压测试系统[J];电子测试;2011年07期
2 李虎;杨道业;程明霄;;螺旋极板电容式传感器的特性研究和参数优化[J];仪表技术与传感器;2011年08期
3 王勇贞;樊俊霞;;电容式传感器灵敏度计算分析[J];科技信息;2011年18期
4 叶娟;李新娥;李政清;;微小型一体化电容式测压器的设计与实现[J];传感器与微系统;2011年07期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘中秋;贺晓明;;指纹传感器综述[A];第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集[C];2004年
2 曾欢欢;赵湛;王奇;方震;张博军;;聚酰亚胺电容式湿度传感器的研制及改进[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
3 陆德仁;李宝清;邹强;尤绍麟;;低量程电容式力平衡加速度传感器[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
4 程毅;叶林;赵呈锐;葛俊锋;;一种耦合型光纤液位传感器的设计及实现[A];2010中国仪器仪表学术、产业大会(论文集2)[C];2010年
5 王玉涛;陆增喜;杨钢;王师;;高炉煤粉喷吹支管状态监控系统[A];全面建设小康社会:中国科技工作者的历史责任——中国科协2003年学术年会论文集(上)[C];2003年
6 樊尚春;梁虹;;电容式固态物含水率传感器的模型[A];第二届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2004年
7 李小伟;赵海发;;电容传感器的原理及在汽车行业中的应用[A];第四届河南省汽车工程科技学术研讨会论文集[C];2007年
8 钟双英;刘崧;;变极距式电容传感器的特性研究及应用[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
9 戴恒震;孙宝元;李万全;;一种变压器绕组绝缘纸板微水分测量传感器[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
10 资双飞;罗锡文;苗峻齐;王在满;;基于电容测量的施肥机监测系统研究[A];中国农业工程学会2011年学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 王阳;基于CMOS工艺的集成微电容式传感器研究[D];安徽大学;2012年
2 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
3 张慧;非平膜电容式微型超声波传感器研究[D];天津大学;2010年
4 窦银科;基于电容感应技术的定点冰层厚度检测方法机理与应用研究[D];太原理工大学;2010年
5 刘少刚;基于单一平面电容传感器的木材含水率检测系统研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邵学涛;基于电容传感原理的电子测压器的研究[D];中北大学;2011年
2 刘浪;一体化电容式测压器的研究[D];中北大学;2010年
3 刘珍;基于PS021的电容式冰层厚度检测系统的设计[D];太原理工大学;2011年
4 叶娟;微型壳体电容式电子测压器的研究[D];中北大学;2012年
5 王晓立;电容式位移传感器研究[D];湘潭大学;2010年
6 庞济;微机械加工电容式压力传感器及信号处理技术研究[D];大连理工大学;2000年
7 周邢银;煤粉浓度测量用电容式传感器优化设计研究[D];华北电力大学(河北);2005年
8 陈颖;电容式传感器在砂石计量系统中的应用研究[D];长沙理工大学;2005年
9 张波;分段电容式液位测量的研究[D];大连海事大学;2010年
10 王兆华;基于有源电桥的电容式传感器及其测量系统的研究[D];北京化工大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026