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在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备

胡问国  
【摘要】:在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国(云南大学物理系)A.P.Dloking.S.I.Zaizhev,E.I.Rau,N.G.UsakoV(俄罗斯科学院)关键词:新设备,分层体现图像,场发射尖锥,真空微电子器件。众所周知,用扫描电镜只能对...

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