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新型真空器件在武器装备中的应用

吴海东  
【摘要】:介绍真空电子器件和固态器件组合的新型电子器件—微波功率模块 (M PM ),以及将微电子工艺应 用 于传 统真 空 电子 器件 而 出现 的真 空 微电 子器 件 ,这 两种 器 件将 对下 一 代武 器系 统 有重 要 的影 响。

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