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一种失效分析的新技术——使用TEM观察特定的微小区域的横截面

肖虹  
【摘要】:正 日本材料科学技术振兴财团的分析评价事业部新近开发了一种失效分析的新技术。运用该项新技术,可以对在此之前难于确定的器件的微小区域的横截面进行分析评价,由此将对器件的可靠性水平和失效分析能力的提高有很大的帮助。 这是一种新的复合技术。由放射电子显微镜和聚焦离子束(FIB)制成透射电子显微镜(TEM)的试样,然后使用TEM就可以观察到器件的极其微小区域的故障点的横截面。从而可望成为正朝着微细化和高集成化的方向迅速发展的器件在失效分析方面的有力工具。

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