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《电子测量与仪器学报》 2012年03期
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光栅测量系统的误差研究

陈晓怀  杜国山  程真英  
【摘要】:研究光栅系统的误差构成及其变化规律,对提高光栅测量系统的精度,进行测量系统结构的优化设计均具有重要意义。在全面分析光栅测量系统误差来源的基础上,定量描述了光栅副误差、导轨误差、工作台误差,建立了光栅测量系统总误差模型;研制了一套激光干涉仪与光栅测量系统实时比对实验装置,实现了光栅测量系统综合误差的分离。通过模型仿真与实验比对,验证了总误差模型的有效性。应用该模型对光栅测量系统进行误差修正,能显著提高光栅系统的精度,使测量不确定度减小了一半。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 蒋敏兰,费业泰;动态误差分解与溯源理论与方法研究[J];仪器仪表学报;2005年S1期
2 许桢英,费业泰,陈晓怀;动态精度理论研究与发展[J];仪器仪表学报;2001年S2期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田桂军,袁亚雄,张小兵;库存弹药内弹道性能检测方法研究[J];兵工学报;2004年02期
2 徐园,张广军,魏振忠;线结构光传感器标定点获取方法研究[J];北京航空航天大学学报;2004年01期
3 闫守峰,吕凤海,柳重堪;基于最小二乘估计的电影经纬仪交会测量算法[J];北京航空航天大学学报;1998年05期
4 肖定国,何平,周世圆,冯红亮;超声脉冲法测量固体材料切变模量[J];北京理工大学学报;2002年05期
5 陈赟;曝光量对计量光栅均匀性的影响[J];长春理工大学学报;2005年03期
6 董连和,车英;计量光栅均匀性误差的研究[J];长春光学精密机械学院学报;1997年01期
7 王宁,朱永,封君,陈伟民,黄尚廉;光纤法珀应变传感器波长检测量化误差理论分析[J];传感技术学报;2001年04期
8 刘芳芳,胡生清,蒋敏兰;灌胶机计量智能系统设计[J];传感器技术;2002年11期
9 刘清;用DSP实现光栅高准确度细分技术[J];传感器技术;2003年07期
10 沈云山,王奇,崔嵬;基于ZSZ角数转换模块的角位置测试装置[J];传感器世界;2003年07期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 肖作江;曹维国;石丽霞;李丽娟;安志勇;;基于光学测微及CCD细分原理的比较测微仪的研究[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
2 蒋敏兰;费业泰;;动态误差分解与溯源理论与方法研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 龚蓬;动态测量误差修正灰色建模理论与应用技术研究[D];合肥工业大学;2000年
2 石照耀;复杂螺旋曲面特征线测量的理论与技术研究[D];合肥工业大学;2001年
3 吴新民;光干涉测试中的抗振技术研究[D];南京理工大学;2002年
4 潘峰;行程传感液压缸基础技术的研究[D];浙江大学;2002年
5 王国辉;空间相机胶片传输控制系统研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
6 岳建如;空间可动结构设计与控制分析[D];浙江大学;2002年
7 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
8 时轮;一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 孟宪举;基于稳健设计的含间隙弹性连杆机构分析与综合[D];天津大学;2003年
10 李庆波;近红外光谱分析中若干关键技术的研究[D];天津大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄秋红;宽照度范围的CCD在线检测技术的实验研究[D];西安理工大学;2000年
2 杨训;WP-8航空发动机试车CAT系统的开发[D];西北工业大学;2001年
3 陈毛安;基于虚拟仪器的智能高度测试系统[D];南京理工大学;2002年
4 程丽君;主动抗振干涉技术中瞬态相位检测的研究[D];南京理工大学;2002年
5 刘昊;煤场堆煤体积自动计量测绘系统[D];南京理工大学;2002年
6 安伟刚;岩性相似材料研究[D];中南大学;2002年
7 郭元;芜湖华辰公司聚酯网生产过程质量控制的研究[D];合肥工业大学;2002年
8 徐朗峰;运动工件在线监测的研究[D];合肥工业大学;2002年
9 葛哲学;刚性转子自动平衡系统研究[D];国防科学技术大学;2002年
10 陈剑;无源无线声表面波传感器的数字信号处理研究[D];重庆大学;2002年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王继臣;胡鹏浩;卫兵;;新型纳米三坐标测量机Z轴的研制[J];光学精密工程;2005年S1期
2 汤天瑾,曹向群,林斌;计量光栅制造综述[J];光学仪器;2004年04期
3 刘春山,陈晓怀,程真英;动态测量光栅测长仪的位置误差[J];工业计量;2005年05期
4 费业泰,于连栋;论全系统动态测试精度理论研究[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2000年01期
5 奚琳;余晓芬;范伟;;新型Nano-CMM二维定位平台研究[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2006年12期
6 许桢英,费业泰;用多分辨分析法研究动态测试误差溯源[J];上海交通大学学报;2003年01期
7 许桢英,费业泰,陈晓怀;动态精度理论研究与发展[J];仪器仪表学报;2001年S2期
8 洪迈生,魏元雷,李济顺;一维和多维误差分离技术的统一理论[J];中国机械工程;2000年03期
9 费业泰;精度理论若干问题研究进展与未来[J];中国机械工程;2000年03期
10 郭俊杰,张琳,皮彪;坐标测量机的空间误差检测及21项几何误差分离的方法[J];中国机械工程;2002年13期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 蔡田;张鸣;朱煜;胡金春;;超精密气浮工件台误差建模[J];清华大学学报(自然科学版);2011年06期
2 刘岩;吴艳玲;杨丽;;万能测长机在基准量块尺寸校准中的应用[J];哈尔滨轴承;2011年02期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
2 杨洪涛;坐标测量机误差建模与修正技术研究[D];合肥工业大学;2007年
3 贾晓辉;面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验[D];天津大学;2010年
4 胡毅;关节式坐标测量机热变形误差建模及修正研究[D];合肥工业大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 胡茂留;多功能动态精度研究实验系统的结构设计与误差分析[D];合肥工业大学;2010年
2 冯忠;MC850三坐标测量机动态误差修正方法的研究[D];安徽大学;2010年
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