收藏本站
《电子测量与仪器学报》 2010年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

大行程纳米二维工作台的动态优化设计

余晓芬  程伶俐  胡佳文  余卿  
【摘要】:为了减小直线电机的电磁推力波动,保证绕线动子与永磁定子有足够的偏心量,对大行程纳米二维位移工作台进行了动态优化设计研究。基于振动理论建立了工作台与上层板系统的动力学模型,并以此模型分析了工作台动力响应与上层板厚的关系,给出了优化设计结果。对工作台进行了全行程定位实验,实验结果表明,工作台可以在0~100mm范围内,实现10nm定位分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 刘品宽,孙立宁,曲东升,荣伟彬;新型二维纳米级微动工作台的动力学分析[J];光学精密工程;2002年02期
2 张志彬,曾周末,赵伯雷,靳世久;复合材料型超声直线电机的研究[J];仪器仪表学报;1999年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘海卿;陈小波;王学庆;;基于状态空间法的SMA-复合支座隔震结构分析[J];地震工程与工程振动;2007年05期
2 张燕琦;徐秉恒;;固体火箭发动机轴向冲击响应有限元分析[J];固体火箭技术;2006年06期
3 王延风,何惠阳,孙宝玉,宋文荣,刘延斌;全自动金丝球焊机的CAD/CAE设计研究[J];光学精密工程;2002年05期
4 温中泉,温志渝,陈光焱,蒋子平;微型振动式发电机振子系统的理论计算及仿真[J];光学精密工程;2003年01期
5 孙宝玉,梁淑卿,宋文荣,王延风,何惠阳;直线驱动磁悬浮进给机构的研究[J];光学精密工程;2003年04期
6 段智勇,王庆康,曾令刚,费继承;纳米精度压电马达的动力学模拟及试验[J];光学精密工程;2004年03期
7 刘国嵩,赵宏伟,曾平,程光明,杨志刚;新型压电步进型精密直线驱动器[J];光学精密工程;2005年03期
8 邵兵;孙立宁;曲东升;王建国;秦昌;;自由空间光通信ATP系统中精瞄偏转镜的设计[J];光学精密工程;2006年01期
9 田延岭;张大卫;闫兵;;二自由度微定位平台的研制[J];光学精密工程;2006年01期
10 孙立宁;马立;荣伟彬;高燕;;一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析[J];光学精密工程;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 刘晶波;刘祥庆;汪勇;张继渝;陈鸣;;低层轻型木结构建筑体系整体性能研究[A];第16届全国结构工程学术会议论文集(第Ⅰ册)[C];2007年
2 程绍革;于文;葛学礼;;土坯房缩尺模型振动台试验动力相似关系研究[A];第三届全国防震减灾工程学术研讨会论文集[C];2007年
3 Wang Weili~1 Fan Kuang-Chao~(1,2) Wang Hongtao~1 ~1School of Instrumentation,Hefei University of Technology,Anhui,230009,China ~2 Department of Mechanical Engineering,National Taiwan University,Taipei,China;New Design of Precision Positioning XY-Stage[A];Proceedings of 6th International Symposium on Test and Measurement(Volume 5)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 王延风;磁悬浮精密定位工作台机电一体化CAD/CAE集成研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 刘建芳;压电步进精密驱动器理论及实验研究[D];吉林大学;2005年
3 朱礼敏;大跨空间结构采用粘滞阻尼器的减震分析和优化设计[D];中国建筑科学研究院;2007年
4 陈志军;高速铁路桥梁动力学问题分析及控制策略研究[D];华中科技大学;2006年
5 刘庆林;传统反应谱CQC法研究与改进[D];浙江大学;2007年
6 秦鹏;基于全柔性串接式振动系统的高精度动不平衡测量研究[D];上海交通大学;2007年
7 樊珂;大跨度结构多维多点地震响应试验研究与理论分析[D];北京工业大学;2008年
8 郭泽英;基于精细算法的短肢剪力墙结构弹塑性动力时程分析[D];西安建筑科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘建彬;防屈曲支撑及防屈曲支撑钢框架设计理论研究[D];清华大学;2005年
2 岳健广;H型钢空间钢桁架节点抗震性能试验研究[D];西安建筑科技大学;2006年
3 廖玉凤;体育馆屋盖风荷载及风振系数研究[D];西南交通大学;2006年
4 矫杰;3-PPSR微动并联机器人的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 刘海涛;基于压电陶瓷的步进式进给机构的研制[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 王冬梅;多次预应力张弦拱桁架结构静动力分析及试验研究[D];北京工业大学;2006年
7 张妮妮;巨型钢框架悬挂结构体系的变阻尼半主动控制研究[D];广西大学;2006年
8 杨立斌;纳米级微定位平台的设计及实验研究[D];天津大学;2005年
9 胡长德;回转式微动压电电动机及其驱动电源的研究[D];天津大学;2006年
10 王元龙;开口薄壁杆结构抗震分析的有限元法[D];广西大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢传钵;分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J];光电工程;1996年04期
2 刘品宽,孙立宁,曲东升,荣伟彬;新型二维纳米级微动工作台的动力学分析[J];光学精密工程;2002年02期
3 田延岭;张大卫;闫兵;;二自由度微定位平台的研制[J];光学精密工程;2006年01期
4 马立;荣伟彬;孙立宁;;三维纳米级微动工作台的设计与分析[J];光学精密工程;2006年06期
5 范伟;余晓芬;奚琳;;压电陶瓷驱动系统及控制方法研究[J];光学精密工程;2007年03期
6 奚琳;余晓芬;范伟;;新型Nano-CMM二维定位平台研究[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2006年12期
7 修世超,谭庆昌,孟慧琴;同轴环形磁铁磁作用力计算的等效磁荷法[J];黄金学报;1995年03期
8 陈时锦,杨元华,孙西芝,程凯;基于柔性铰链的微位移工作台性能分析与优化设计[J];机械设计;2004年07期
9 黄明辉,杨安全,杨锋力;一种磁轴承的两永磁环间磁作用力的计算[J];机械研究与应用;2005年01期
10 刘祚时,倪潇娟;三坐标测量机(CMM)的现状和发展趋势[J];机械制造;2004年08期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 熊木地;大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 郑子文;超精密机床伺服控制技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
3 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
4 卢礼华;基于滚珠丝杠的大行程纳米定位系统建模和控制技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 魏玉凤;纳米六自由度微动工作台机械设计[D];合肥工业大学;2004年
2 奚琳;新型纳米三坐标测量机二维定位平台研究[D];合肥工业大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张腊梅,黄其圣,余晓芬;闭环控制的微动工作台设计[J];工具技术;2004年04期
2 孙立宁,荣伟彬,曲东升,高振国,楼朝飞,蔡鹤皋;基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究[J];光学精密工程;2001年06期
3 于靖军,毕树生,宗光华,于宝;3自由度柔性微机器人的静刚度分析[J];机械工程学报;2002年04期
4 张勇,高峰;新型3自由度可约移动并联机构的构型及设计[J];机械工程学报;2005年08期
5 王福忠,汪旭东,焦留成,袁世鹰,李辉;同步电动机电磁力角与最大推力控制策略的研究[J];煤炭学报;2001年03期
6 王新环;付子义;张宏伟;王福忠;;垂直运动用永磁直线同步电动机分段设计研究[J];微电机;2006年01期
7 黄勋,李建军,张勇;利用VB实现对皮革顶伸性能的参数测量和曲线显示[J];微计算机信息;2005年18期
8 吴鹰飞,周兆英;柔性铰链转动刚度计算公式的推导[J];仪器仪表学报;2004年01期
9 赵淳生,熊振华;国内压电超声马达研究的现状和发展[J];振动.测试与诊断;1997年02期
10 王华,张宪民,欧阳高飞;平面三自由度微动工作台的输入耦合分析[J];中国机械工程;2005年05期
【相似文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张正福;音叉振动式微机械陀螺结构动态性能解析与健壮性设计[D];上海交通大学;2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026