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《电子测量与仪器学报》 2010年03期
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新型纳米三坐标测量机误差检定方法的研究

夏瑞雪  陈晓怀  卢荣胜  俞庆平  
【摘要】:以三光束平面镜微型激光干涉仪作为高精度的标准量,研究新型纳米三坐标测量机的误差检定方法,设计相应的激光头姿态调节架和目标靶镜,组建一套适用于其的误差检定系统,分四次即可实现对测量精度影响较大的11项单项误差进行相对高精度、便捷、同步地检定。以LabVIEW作为软件开发平台,基于三次样条插值算法,编写对单项误差的采样数据进行插值计算的应用程序,以求得单项误差在量程范围内任意位置的值。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 王怀光,石志勇,李国章,傅建平;磁通门传感器在车辆导航系统中的应用研究[J];传感器技术;2005年07期
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
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中国博士学位论文全文数据库 前9条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 赵兰琴;FIR 神经网络及其在洪水预报上的应用[D];华中科技大学;2004年
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9 鲁中良;数字处理方法在埋弧焊和熔化极气体保护焊中的应用[D];华中科技大学;2004年
10 张俊;高温超导输电电缆过电流失超保护研究[D];华中科技大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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9 高国琴;尹小琴;马履中;唐建中;;新型虚拟轴三维坐标测量机构及其运动控制[J];仪器仪表学报;2006年01期
10 郭俊杰,张琳,皮彪;坐标测量机的空间误差检测及21项几何误差分离的方法[J];中国机械工程;2002年13期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 彭中波;混联机床运动学标定及其开放式数控系统研究[D];西安理工大学;2004年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
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7 刘红忠,赵万华,李涤尘,卢秉恒;多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究[J];光子学报;2002年05期
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9 卫兵;胡鹏浩;王继臣;李晓惠;;新型纳米三坐标测量机主体结构设计[J];农业机械学报;2007年01期
10 李济顺,洪迈生;形状误差分离统一理论——解的确定性准则[J];上海交通大学学报;1998年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王琦;纳米三坐标测量机的精度设计与误差修正[D];合肥工业大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏若飞;严利平;姚喜国;杨涛;陈本永;;激光合成波长干涉仪的准直方法研究[J];浙江理工大学学报;2011年04期
2 孙亮;;分离式干涉镜的激光干涉仪测量系统分析[J];科技促进发展(应用版);2010年06期
3 许素安;李东升;Chassagne Luc;Topcu Suat;;基于相控外差干涉技术的纳米定位方法的研究[J];仪器仪表学报;2011年07期
4 卢继敏;林虎;陈洪芳;殷建杰;;数字式测高仪的动态特性测试分析[J];北京工业大学学报;2011年06期
5 王静;邱小倩;时颖;;基于FPGA的正交信号的数字辨向细分技术[J];光学仪器;2010年05期
6 ;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 夏瑞雪;陈晓怀;;纳米三坐标测量机误差检定方法研究[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
2 方明;;激光干涉仪在水平仪检定器检定中的运用[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
3 曹利波;;利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
4 胡小唐;禹国强;刘安伟;杨勇;;三维一体化超微定位系统的研制[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年
5 高宏堂;叶孝佑;高思田;;实现激光干涉信号均匀分布取样方法的研究[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
6 方明;;数控回转轴的检测[A];2008年江苏省计量测试学术论文集[C];2008年
7 马世帮;杨红;杨照金;郭羽;康登魁;;基于Zernike多项式的大口径离轴抛物面平行光管定焦技术研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8 杨玉洁;姜国雁;刘涛;;0.5~100mm二等量块检定装置的研制[A];2010航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
9 李杰;吴时彬;伍凡;匡龙;曹学东;;大口径光学镜研磨阶段面形检测技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
10 王生云;郑雪;杨红;袁良;姜昌录;张玫;;二次非球面光学元件面形测量装置[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 苏 林;神奇的纳米激光器测尺[N];大众科技报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 周忠海;基于激光干涉原理的海洋灾害预警关键技术研究[D];中国海洋大学;2009年
2 高思田;计量型原子力显微镜的研究[D];天津大学;2007年
3 王伟丽;纳米三坐标测量机机械结构及接触式测头技术研究[D];合肥工业大学;2008年
4 程方;纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
5 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
2 来展;激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究[D];中国计量科学研究院;2011年
3 邹建忠;激光干涉仪跟踪式无导轨测量的研究[D];西安理工大学;2001年
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5 王继臣;纳米三坐标测量机Z轴的研制及Z轴驱动系统的研究[D];合肥工业大学;2006年
6 金小兵;硅片调焦调平测量系统性能测试方法研究[D];华中科技大学;2007年
7 高宏堂;2.5维大范围纳米激光干涉测长信号处理子系统的研究[D];中国计量科学研究院;2005年
8 李启标;纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定[D];合肥工业大学;2009年
9 孙拉拉;能量天平位移测量系统研制[D];合肥工业大学;2009年
10 魏桂爽;光学自由曲面原位测量系统的研究[D];天津大学;2010年
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