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基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量

金翠云  靳世久  王建林  
【摘要】:为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEMS谐振器的运动序列图像做二维运动估计,从而得到其动态特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。具有非接触性、测量精度高的特点。实验结果表明,该系统的测量重复性达7.1nm,能够很好地描述微谐振器的动态特性。

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