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《电子工艺技术》 2009年01期
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紫外激光切割晶圆的工艺研究

杨伟  彭信翰  张骏  
【摘要】:通过实验研究了紫外激光切割晶圆的工艺,测得不同激光功率和切割速度下的切割深度和切缝宽度,分析了各参数对切割深度及切割质量的影响,对存在的问题提出了改进的意见及方法,为实际应用中参数的选择和工艺的改进提供了参考。并依用户要求对晶圆样品进行实际切割,经用户鉴定达到了使用要求。
【作者单位】烟台大学;深圳市木森科技有限公司;
【分类号】:TG485

【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘霖,叶玉堂,赵素英,刘娟秀,范超,吴云峰,王昱琳;激光化学诱导液相腐蚀新方法[J];光电工程;2005年10期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘华绪;非磨削激光胶原重组及无创检测的实验研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 刘霖;激光诱导液相腐蚀关键技术研究[D];电子科技大学;2006年
2 毕国丽;脆性材料激光热应力切割的仿真与路径控制研究[D];浙江大学;2006年
3 王彦平;基于视觉检测技术的一种标定方法研究[D];内蒙古工业大学;2007年
4 杜静;扩散炉自动恒温控制系统[D];太原理工大学;2007年
5 魏会敏;MEMS可调光衰减器光学系统的研究[D];华中科技大学;2006年
6 赵兴海;高峰值功率激光的光纤传能特性研究[D];中国工程物理研究院;2007年
7 赵宏亮;金属激光彩色打标技术研究[D];北京工业大学;2008年
8 王于刚;粒子在高斯光束中所受势阱力分析[D];山东师范大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李建康,姚熹,汪静,张良莹;红外热释电探测器的微图形化研究[J];功能材料与器件学报;2003年04期
2 唐军,程建功,褚君浩;非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器[J];红外技术;2001年06期
3 唐军,程建功,褚君浩,郁启华;BST铁电薄膜非制冷红外探测器热成像应用[J];红外技术;2002年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 ;数控机床网站天地[J];计算机辅助设计与制造;2000年05期
2 ;济南捷迈数控公司开发出新型激光切割机和数控冲床[J];锻压机械;2001年04期
3 谭天;西门子公司在IMTS2000上的新产品[J];世界制造技术与装备市场;2002年01期
4 陈树明;新型双工作台双边驱动数控精密激光切割机[J];机械工人.热加工;2002年10期
5 张飞霞;CO_2激光切割的参数优化[J];新技术新工艺;2003年01期
6 ;数控金属板材加工设备产业基地获国家火炬计划批准[J];工具技术;2004年04期
7 杨绪广;;从CIMT2007看中国切割技术的发展[J];机械工人(热加工);2007年06期
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 驻昆山首席记者 苏菁;昆山拿出5000万奖励科技创新“领头羊”[N];苏州日报;2009年
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