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《电子工艺技术》 2005年04期
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蓝宝石衬底片的抛光研究

王娟  檀柏梅  赵之雯  李薇薇  周建伟  
【摘要】:本研究对SiO2磨料抛光蓝宝石衬底片进行了研究,结果表明,采用大粒径、高浓度的SiO2磨料抛光可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。抛光的适宜的温度及pH值条件为:T=30℃;13.0pH≥9.0。并且在抛光时应加入适量添加剂,方可获得较为理想的表面状态和较高的去除速率。实验同样证明,这种低成本、高质量的抛光除可以应用在蓝宝石的抛光以外,还可以应用在其它一些硬质材料的抛光工艺中。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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3 刘玉岭;;硅片CMP抛光工艺技术研究[J];电子工艺技术;2010年05期
4 王云彪;陈亚楠;刘玉岭;杨红星;;超薄硅片贴膜抛光技术研究[J];电子工艺技术;2011年01期
5 朱从容;任尹飞;;蓝宝石基片的超光滑表面抛光技术[J];机械工程师;2009年11期
6 郭晓艳;魏昕;谢昕;;蓝宝石抛光技术的研究进展[J];机电工程技术;2006年09期
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 郭晓艳;短波长激光抛光蓝宝石工艺过程研究[D];广东工业大学;2007年
2 谢昕;短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究[D];广东工业大学;2007年
3 王笑;基于FUZZY和TRIZ的蓝宝石研磨工艺参数优化设计研究[D];浙江工业大学;2008年
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 赵之雯;牛新环;檀柏梅;袁育杰;刘玉岭;;蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究[J];微纳电子技术;2006年01期
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
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中国硕士学位论文全文数据库 前4条
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【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 高渊;刘英坤;邓建国;梁东升;董军平;;应用于LOCOS隔离工艺的平坦化技术研究[J];半导体技术;2012年06期
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5 宋悠全;魏昕;谢小柱;刘俊宏;;激光加工中光化学作用的检测分析方法[J];测试技术学报;2011年04期
6 王云彪;陈亚楠;刘玉岭;杨红星;;超薄硅片贴膜抛光技术研究[J];电子工艺技术;2011年01期
7 张克华;文东辉;袁巨龙;;高亮度LED衬底材料研究[J];功能材料;2009年05期
8 王云彪;张为才;武永超;陈亚楠;;重掺<100>硅单晶抛光片条纹状起伏缺陷研究[J];电子工艺技术;2012年05期
9 黄加福;魏昕;谢小柱;何广涛;;影响激光抛光效果的因素分析[J];激光与光电子学进展;2008年12期
10 墨洪磊;朱永伟;唐晓潇;付杰;;固结磨料研磨K9玻璃的工艺优化[J];金刚石与磨料磨具工程;2012年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张峰烈;金属材料纳秒紫外脉冲激光微抛光理论与技术的研究[D];天津大学;2011年
2 宋剑锋;曲面光学零件气囊抛光工艺参数优化及其相关技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 屠喜;气浮垫精密研抛设备改造及其工艺研究[D];西安工业大学;2011年
2 吴建林;单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究[D];浙江工业大学;2010年
3 周平;单晶蓝宝石的延性研磨加工研究[D];浙江工业大学;2010年
4 李卫波;飞秒激光抛光碳化硅陶瓷材料的工艺过程研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 林谦;适合于金属材料的激光微抛光系统设计与研究[D];天津大学;2012年
6 范俞杰;超精密双面抛光加工过程平稳性的研究[D];浙江工业大学;2012年
7 谢昕;短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究[D];广东工业大学;2007年
8 孟庆平;蓝宝石高效超精密磨削技术及损伤检测研究[D];大连理工大学;2009年
9 张一;CO_2激光辐射消除玻璃边缘微裂纹的研究[D];武汉理工大学;2010年
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3 崔旸;张兆南;;搜索引擎的工作机理及发展前景[J];科技资讯;2007年06期
4 黄浩;钟辉;彭时利;;助溶剂法制备硼酸铝晶须的方法与机理[J];矿产综合利用;2009年01期
5 谭志良;静电放电对电子装置的危害机理分析与模型研究[J];军械工程学院学报;1994年04期
6 张晓光;水清洗机理及相关参数计算[J];哈尔滨铁道科技;1996年02期
7 张汉昌,肖明军,吴守国,芮蕾;激光辅助金属电沉积与无电沉积机理比较[J];激光杂志;2001年05期
8 惠春,徐爱兰;(Sn,Sb)O_(2-x)基纳米结构厚膜材料气敏特性及机理[J];物理化学学报;2001年09期
9 刘永艳,殷肖川,邓军;缓冲区溢出机理及攻击分析[J];空军工程大学学报(自然科学版);2003年05期
10 王宏睿;;激光清洗原理与应用研究[J];清洗世界;2006年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 尉立岗;张玄奇;张廷汉;;高能气体压裂中井温的变化机理[A];岩石破碎理论与实践——全国第五届岩石破碎学术会论文选集[C];1992年
2 刘赵淼;徐世英;冯长根;曾庆轩;许又文;;C_6H_(12)N_4+Mg+KClO_4+SrSO_4系统的振荡燃烧实验研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
3 刘光华;苏慕珍;陈鹤云;徐亚萍;王志新;崔久传;;硫铝酸盐水泥混凝土的耐腐蚀机理[A];第五届全国混凝土耐久性学术交流会论文集[C];2000年
4 黄春松;黄翔;吴志湘;;负离子织物产生负离子的机理和影响因素[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
5 唐卿雁;李永平;林奇;;梨果实采后酶促褐变机理的研究进展[A];云南省作物学会2004—2006年优秀论文选集[C];2006年
6 刘福来;杨敏;;无机阻燃剂的分类及研究现状[A];2006中国非金属矿工业大会暨第九届全国非金属矿加工应用技术交流会论文专辑[C];2006年
7 陈世刚;赵文元;孙常志;;聚苯胺膜层在金属腐蚀防护中的研究进展[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
8 李洪宽;乔园园;胡方中;;α,β-不饱和酯选择性亲核取代反应机理的研究[A];中国化学会第27届学术年会第15分会场摘要集[C];2010年
9 杨元贵;;沥青路面压实机理[A];海南省公路学会学术交流论文集[C];2007年
10 郑刘春;党志;刘艳;易筱筠;;新型秸秆吸附剂在酸性矿山废水中的吸附研究[A];第五届全国环境化学大会摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 见习记者 张萌 通讯员 段浩;国内最大的蓝宝石衬底项目落户大桥新区[N];嘉兴日报;2011年
2 记者 徐锐;三安光电斥资25亿扩产蓝宝石衬底[N];上海证券报;2011年
3 郑辉;蓝宝石衬底基片项目将在大庆投产[N];科技日报;2007年
4 本报记者 熊晓辉;LED行业大限将至[N];中国经营报;2011年
5 记者 涂创闯;50亿元大单落户江北集中区[N];巢湖日报;2011年
6 本报记者;贵阳与美国一公司合作建设LED蓝宝石衬底材料项目[N];贵州日报;2011年
7 本报记者 孙惠楠;我市年产3000万片LED蓝宝石衬底材料项目试产成功[N];贵阳日报;2011年
8 记者 王建高 通讯员 王磊;国内首家大规模LED蓝宝石衬底晶片项目投产[N];科技日报;2010年
9 本报记者;LED蓝宝石衬底晶片昨在青岛高新区投产[N];青岛日报;2010年
10 路榕 本报记者 罗安宇;贵阳市与美国GT太阳能公司合作建设年产3000万片LED蓝宝石衬底材料项目[N];贵阳日报;2011年
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1 李雪灵;风险投资支撑环境作用机理研究[D];吉林大学;2005年
2 熊国宣;水泥基复合吸波材料[D];南京工业大学;2005年
3 阎西康;盐腐蚀钢筋混凝土构件力学性能试验研究[D];天津大学;2005年
4 刘祥民;烧结法生产砂状氧化铝的理论与工艺研究[D];中南大学;2004年
5 李晓强;工程教育再造的机理与路径研究[D];浙江大学;2008年
6 刘焱;茶多酚对草鱼肉保鲜作用及机理研究[D];湖南农业大学;2009年
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8 王锦红;贸易摩擦对战后日本崛起的影响研究:效应与机理[D];辽宁大学;2009年
9 郭建军;夏甸金矿矿柱及围岩稳定性分析与应用[D];山东科技大学;2005年
10 蔡基伟;石粉对机制砂混凝土性能的影响及机理研究[D];武汉理工大学;2006年
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1 谢昕;短波长激光抛光蓝宝石晶体的机理研究[D];广东工业大学;2007年
2 程建徽;杨梅果实糖积累特性与机制的研究[D];安徽农业大学;2005年
3 丁晓岚;壳聚糖对肉仔鸡生长性能的影响及其促生长机理的研究[D];内蒙古农业大学;2005年
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6 董新凤;纳米结构ZrO_2的制备及组装机理的研究[D];河北师范大学;2005年
7 文一;青稞β-葡聚糖的降血脂功能研究[D];西南农业大学;2005年
8 白少勇;黄酒中蛋白质的沉淀机理与处理方法的研究[D];浙江大学;2005年
9 高俊平;南美斑潜蝇寄主选择性及其机理的研究[D];内蒙古农业大学;2006年
10 黄晓明;企业团队知识共享机理及评价研究[D];中南大学;2006年
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