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《电子工艺技术》 2005年02期
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LTCC基板制造及控制技术

何健锋  
【摘要】:低温共烧多层陶瓷(LTCC)基板,具有高密度布线,内埋无源元件,IC封装基板和优良的高频特性,目前在宇航、军事、汽车、微波与射频通信领域得到广泛运用,是MCM技术的关键部件。本文介绍了LTCC基板制造的关键技术和性能控制。
【作者单位】中国电子科技集团公司第43研究所
【分类号】:TN6

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 龙乐;;低温共烧陶瓷基板及其封装应用[J];电子与封装;2006年11期
2 姬忠涛;张正富;;共烧陶瓷多层基板技术及其发展应用[J];中国陶瓷工业;2006年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 程佳;应用于生物医学检测的MEMS器件的制造[D];东南大学;2006年
2 曾耿华;基于LTCC技术的小型雷达接收机前端设计与仿真[D];中国工程物理研究院;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成兴明;环氧模塑料性能及其发展趋势[J];半导体技术;2004年01期
2 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
3 成立,王振宇,祝俊,赵倩,侍寿永,朱漪云;圆片级芯片尺寸封装技术及其应用综述[J];半导体技术;2005年02期
4 吴振江;;晶体管倒装芯片微型化技术的探讨[J];半导体技术;2006年02期
5 熊幸果,陆德仁,卢平芳,熊斌,王渭源;微力微位移天平测试方法[J];传感技术学报;1997年02期
6 周冬跃,黄钊洪,蒋少卿,邝志锋,谭燕枝;半导体磁头在袖珍验钞器中的应用[J];传感器技术;2002年03期
7 郑鑫,黄钊洪;锑化铟薄膜磁阻式振动传感器[J];传感器世界;2003年11期
8 周冬跃,黄钊洪,倪新建;一种较大驱动电流的锑化铟磁阻式齿轮转速传感器设计[J];传感器世界;2003年11期
9 黄强,顾明元,金燕萍;电子封装材料的研究现状[J];材料导报;2000年09期
10 杨建生;成功的BGA返修[J];电子与封装;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 郑晓慧;堵永国;张为军;芦玉峰;唐珍兰;;钌酸铋/银系厚膜电阻浆料[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
2 周德俭;吴兆华;;电气互联技术及其技术体系[A];中国电子学会电子机械工程分会2007年机械电子学学术会议论文集[C];2007年
3 苗欣;陈伟平;;传感器芯片密封工艺研究[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
4 吴建得;罗宏伟;;铜键合线的发展与面临的挑战[A];2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2007年
5 吴闽;黄钊洪;;锑化铟磁阻型红外光电传感器及其特性研究[A];第二届长三角地区传感技术学术交流会论文集[C];2006年
6 吴闽;黄钊洪;;锑化铟磁阻型红外光电传感器及其特性研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 冯哲圣;高比容铝电极箔制造技术及其机理研究[D];电子科技大学;2003年
2 李玲霞;亚微米BaTiO_3 X7R MLC细晶陶瓷介质材料的介电性能研究[D];天津大学;2003年
3 周俊;微电子封装中无铅焊料的损伤模型和失效机理研究[D];浙江工业大学;2007年
4 李慧玲;激光微细熔覆快速制造厚膜无源元件关键技术的研究[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 袁韧;钽丝的退火织构和再结晶机理的研究[D];中南大学;2002年
2 郑英彬;叉指式微加速度计的耦合场分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2002年
3 王长虹;阵列式硅压力加速度传感器研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
4 王卫东;微机械加工压力传感器的研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
5 谢燕敏;便携式数字压力校验仪的研制[D];沈阳工业大学;2003年
6 陈继权;CdZnTe晶体欧姆接触薄膜电极的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2004年
7 倪新建;自旋阀巨磁阻(GMR)芯片角度传感特性的研究[D];华南师范大学;2004年
8 孙炜;插装型电子元器件强化振动试验疲劳仿真研究[D];国防科学技术大学;2003年
9 陈华;单晶铜丝在半导体器件封装中的打线键合性能研究[D];兰州理工大学;2005年
10 章云峰;电子组件热分布的测试与分析[D];江苏大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱建华,梁飞,汪小红,吕文中;微波介质陶瓷材料介电性能间的制约关系[J];电子元件与材料;2005年03期
2 谢小强;林为干;徐锐敏;;一种新型的毫米波功率合成电路[J];红外与毫米波学报;2006年01期
3 陈昌明;徐军;喻梦霞;王天宝;;毫米波6W固态集成功率合成放大器研究[J];红外与毫米波学报;2007年01期
4 刘云刚;徐军;罗慎独;薛良金;;Ka频段2W功率合成器的研究[J];微波学报;2006年05期
5 关中锋,杨晓波;一种Ka波段功率合成器的研究[J];现代电子技术;2005年01期
6 赵军;开关电源技术的发展[J];船电技术;2005年05期
7 钱可元;郑代顺;罗毅;;GaN基功率型LED芯片散热性能测试与分析[J];半导体光电;2006年03期
8 陈明祥;罗小兵;马泽涛;刘胜;;大功率白光LED封装设计与研究进展[J];半导体光电;2006年06期
9 吕洪光;多层微波MCM抑制电磁干扰技术[J];安全与电磁兼容;2004年02期
10 李泊,潘凤娥;低温共烧陶瓷——一种理想的微波材料[J];半导体技术;2003年11期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 刘浩斌;;LTCC现状与问题[A];中国电子学会第十三届电子元件学术年会论文集[C];2004年
2 崔学民;周济;缪春林;沈建红;;LTCC材料的应用及研究现状[A];中国电子学会第十三届电子元件学术年会论文集[C];2004年
3 蒋明;杨邦朝;王步冉;胡永达;李建辉;;LTCC多层基板内埋置电阻技术研究[A];中国电子学会第十三届电子元件学术年会论文集[C];2004年
4 叶天培;徐刚;马子腾;冯慧;;LTCC技术展望及瓶颈[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
5 王周海;王小陆;李雁;;基于LTCC基板的多联收发模块[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
6 王悦辉;杨正文;王婷;沈建红;周济;;低温共烧陶瓷(LTCC)技术新进展[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年
7 苏宏;杨邦朝;任辉;胡永达;;微波LTCC内埋置电容设计与参数提取[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年
8 唐林江;陈国华;;低温烧结玻璃陶瓷复合材料的性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 陈乾宏;开关电源中磁集成技术的应用研究[D];南京航空航天大学;2002年
2 王学东;无线通信系统中的微波滤波器性能及小型化研究[D];上海大学;2004年
3 丁燕;多层陶瓷集成电路中无源元件的电磁建模与设计方法[D];南京理工大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何钧;Ku波段高功率放大器设计[D];南京理工大学;2006年
2 曾山;集成平面螺旋电感的设计及其应用[D];东南大学;2005年
3 庄伟铭;全桥移相式ZVS软开关脉冲电源的研究[D];大连海事大学;2007年
4 肖智;基于LTCC技术的无源器件设计[D];西安电子科技大学;2006年
5 王红欣;小型化900MHz LTCC微波功率放大器模块研制[D];河北工业大学;2004年
6 魏宇哲;低温共烧陶瓷中无源滤波器的分析与设计[D];南京理工大学;2004年
7 韩国兵;基于LTCC的微波天线和集总元件研究[D];南京理工大学;2004年
8 夏雷;8毫米MCM接收前端研究[D];电子科技大学;2004年
9 潘光胜;毫米波接收前端LTCC技术研究[D];电子科技大学;2005年
10 王步冉;内埋置型LTCC三维MCM技术研究[D];电子科技大学;2005年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 何健锋;LTCC基板制造及控制技术[J];电子工艺技术;2005年02期
2 王传声;王正义;;LTCC应用于大功率射频电路的可能性研究[J];电子元器件应用;2002年04期
3 张燕;张志耀;赵喜清;;生瓷带打孔机打孔路径的优化设计[J];电子工业专用设备;2011年03期
4 杨宗宝;刘颖力;燕文琴;李元勋;;低温共烧陶瓷LTCC埋置电感的研究[J];电子与封装;2007年07期
5 张鹏;尉旭波;杨邦朝;;一种新型SIR结构LTCC带通滤波器设计与制作[J];电子元件与材料;2010年01期
6 魏启甫;孟庆鼐;郑建彬;;LTCC及其在三维微波集成电路中的应用[J];微波学报;2005年05期
7 李俊生;;基于LTCC基板微波互连技术的探究[J];南京工业职业技术学院学报;2011年02期
8 李桂云;低温共烧陶瓷系统及其应用[J];世界产品与技术;2002年06期
9 汤清华;熊波涛;吴国安;罗伟;;一种改进结构的LTCC滤波器[J];华中科技大学学报(自然科学版);2007年02期
10 吴喆;王子良;戴雷;曹锟;;基于LTCC技术的带通滤波器分析与设计[J];电子与封装;2008年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王听岳;郭明华;;铝基碳化硅增强材料(Al/SiC)和低温共烧陶瓷(LTCC)的焊接[A];2003中国电子制造技术论坛暨展会暨第七届SMT、SMD技术研讨会论文集[C];2003年
2 卫杰;徐建华;廖绍伟;万丰;;基于LTCC技术的MNG带阻滤波器[A];2009年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2009年
3 孙兆鹏;严伟;房迅雷;王锋;;基于LTCC技术的CPWG特性分析[A];2006年全国电子机械和微波结构工艺学术会议论文集[C];2006年
4 任辉;杨邦朝;苏宏;胡永达;;LTCC多层微波带通滤波器的设计与仿真[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年
5 杨世朝;金龙;蒋万兵;胡季岗;;基于LTCC技术的表贴式微波锁相源的设计[A];第十六届全国青年通信学术会议论文集(上)[C];2011年
6 杨娟;堵永国;张为军;周文渊;;LTCC基板材料研究进展[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
7 陈鹏;周邦华;李中云;;一种小型多层LTCC折叠线交指带通滤波器设计[A];2009年全国微波毫米波会议论文集(上册)[C];2009年
8 王周海;王小陆;李雁;;基于LTCC基板的多联收发模块[A];第十四届全国混合集成电路学术会议论文集[C];2005年
9 邹军;;X波段LTCC埋置匹配电阻设计与制作[A];2008年电子机械与微波结构工艺学术会议论文集[C];2008年
10 杨海华;严伟;方汉平;孙兆鹏;;基于LTCC技术的宽阻带低通滤波器设计[A];2008年电子机械与微波结构工艺学术会议论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 清华大学新型陶瓷材料与精细工艺国家重点实验室 周济 王睿;LTCC助推元件集成化 功能模块研制是重点[N];中国电子报;2008年
2 中国电子科技集团公司第九研究所 何水校;LTCF:移动通信领域大有作为[N];中国电子报;2003年
3 清华大学材料系长江学者特聘教授 周济;新材料新技术推动无源电子元件发展[N];中国电子报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 魏启甫;基于LTCC的多层基片集成波导滤波器的研究[D];上海交通大学;2008年
2 沈玮;基片集成波导与其它平面结构在滤波器设计中的应用研究[D];上海交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邢孟江;基于LTCC技术的建模与应用研究[D];西安电子科技大学;2008年
2 毕晓君;基于LTCC技术的无源滤波器件设计[D];华中科技大学;2007年
3 陈锡丹;LTCC叠层片式双工器的研究[D];电子科技大学;2009年
4 张岩;LTCC无源元件建模技术研究[D];西安电子科技大学;2009年
5 房迅雷;微波立体组装技术研究[D];南京理工大学;2005年
6 王步冉;内埋置型LTCC三维MCM技术研究[D];电子科技大学;2005年
7 蒋彦;LTCC RF滤波器设计及模型研究[D];西安电子科技大学;2007年
8 肖智;基于LTCC技术的无源器件设计[D];西安电子科技大学;2006年
9 熊波涛;LTCC滤波器设计[D];华中科技大学;2006年
10 李坤;LTCC玻璃添加剂和流延工艺的研究[D];华中科技大学;2011年
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