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《电子元件与材料》 2005年03期
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RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

邵雯雯  惠春  徐爱兰  
【摘要】:桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压。

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1 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
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2 朱健,林金庭,林立强;DCDC—20GHz射频MEMS开关(英文)[J];半导体学报;2001年06期
3 钮利荣;纳米科学导致下一次工业革命——第一届全国纳米技术与应用学术会议[J];固体电子学研究与进展;2001年01期
4 郑惟彬,黄庆安,李拂晓;微波电路的MEMS开关进展[J];微波学报;2001年03期
5 刘晓芸;2004年MEMS市场将达到70亿美元[J];半导体情报;2001年03期
6 吴群,傅佳辉;MEMS射频与微波应用技术新进展[J];电子器件;2001年04期
7 鞠挥;迅速进入光开关市场的MEMS[J];光机电信息;2001年06期
8 魏华征,郭方敏,赖宗声,朱守正,朱自强,李小卫,程知群,孙晓玮;射频微机械开关的计算机辅助设计[J];半导体学报;2002年09期
9 龙永福,朱自强,赖宗声,郭方敏,石艳玲;射频/微波MEMS Shunt开关的开启时间研究[J];电子学报;2002年08期
10 张万里,彭斌,张文旭,蒋洪川,杨仕清;串联MEMS开关的一种等效电路模型[J];微波学报;2002年04期
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1 朱健;林立强;林金庭;吴汉俊;陈新宇;;宽带微波MEMS开关[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
2 谢兴军;;MEMS微波开关的设计与仿真[A];中国工程物理研究院科技年报——科技年报2003论文集[C];2003年
3 严丰庆;钱澄;;射频开关及其在通信系统中的应用[A];江苏省通信学会2004年学术年会论文集[C];2004年
4 朱健;郁元卫;陆乐;贾世星;张龙;周百令;;驱动信号与微波信号物理隔离的RF MEMS开关的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二)[C];2005年
5 陆逸敏;黄庆安;廖小平;陈洁;;RF MEMS开关在开关瞬态时的电磁干扰[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
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1 陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
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3 张晓;毫米波MEMS天线阵列基础技术研究[D];南京理工大学;2006年
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