收藏本站
《电子元件与材料》 2004年12期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

sol-gel法制备锆钛酸钡薄膜的研究

胡丹  翟继卫  张良莹  姚熹  
【摘要】:采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.3Ti0.7)O3(BZT)薄膜。对其先体溶液进行了差热与热失重曲线(DSC-TG)分析,并以此来确定了薄膜的热处理工艺。X射线衍射分析表明,550℃时开始有钙钛矿相生成,到600℃时,已经完全形成了钙钛矿结构。采用er、tgd的频率和偏压特性曲线研究了不同工艺条件下薄膜的介电性能。经过700℃热处理,薄膜在10 kHz频率,300 K温度测试条件下,相对介电常数为385,介质损耗为0.022;200103 V/cm电场条件下薄膜介电可调率为25.6%。

手机知网App
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吴春春;杨辉;陆文伟;;水的添加量对SiO_2-聚噻吩透明导电膜结构与性能的影响[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 陈海宾;用于FBAR的PZT薄膜制备研究[D];浙江大学;2006年
2 杨春壮;高频印制电路板用树脂基体[D];浙江大学;2007年
3 谢岩;Sol-Gel法制备AZO薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
4 李元昕;新型PST铁电薄膜的制备及其性能研究[D];华中科技大学;2004年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026