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《电子元件与材料》 2004年01期
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n-ZnO/p-Si异质结UV增强型光电探测器的研究

王丽玉  谢家纯  林碧霞  王克彦  傅竹西  
【摘要】:采用平面工艺,在p+-Si背底上电子束蒸发Al制作欧姆电极,在p-Si外延层上溅射掺Al的 ZnO薄膜,再蒸发Al作有源区欧姆电极,研制成n-ZnO/p-Si异质结UV(ultraviolet)增强型光电探测器。测试结果表明:器件明显增强了200~400 nm紫外光的响应,同时保持了传统的Si探测器对波长大于400 nm波段的光谱响应,在330,420,468、525 nm附近有四个明显的光谱峰值响应。器件光致发光谱(PL)在371 nm处有发光峰值。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 郭俊福;谢家纯;段理;何广宏;林碧霞;傅竹西;;Au/n-ZnO/p-Si结构的紫外增强型光电三极管的研制(英文)[J];半导体学报;2006年01期
2 杨丽萍;刘锋; 韩焕鹏;;氧化锌材料的研究与进展[J];微纳电子技术;2007年02期
3 郑凯波;邢晓艳;徐华华;方方;沈浩颋;张晶;朱健;叶春暖;孙大林;陈国荣;;基于p~+-Si与n-ZnO纳米线的p-n异质结的制备及其性质研究[J];真空科学与技术学报;2006年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘维峰;ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 张波;ZnO薄膜的制备及其掺杂研究[D];东华大学;2006年
2 杨丽萍;水热构筑ZnO低维结构材料[D];电子科技大学;2006年
3 王玉龙;面向仿生微纳导航系统的光电薄膜的模型研究[D];大连理工大学;2006年
4 刘晓花;RFMS法制备ZnO薄膜及其性能研究[D];郑州大学;2007年
5 周曦;六棱管状ZnO薄膜的电学特性研究[D];电子科技大学;2007年
6 明楠;纳微米级ZnO的制备和发光研究[D];天津理工大学;2007年
7 邓雷磊;ZnO薄膜的制备及其特性研究[D];厦门大学;2007年
【共引文献】
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1 周冠山;;用C-V法测试Cd在InSb中扩散层的杂质浓度及其分布[J];半导体光电;1991年04期
2 张媛媛,丁双朋,陈炳若;硅双结型色敏器件蓝紫响应度的研究与改善[J];半导体光电;2003年04期
3 赵策洲;全硅集成光学──理论与工艺[J];半导体光电;1994年01期
4 刘俊刚,李平;756×581元CCD摄像器件[J];半导体光电;1994年02期
5 刘俊刚,赵文伯,李平;600×500元帧转移CCD摄像器件[J];半导体光电;1994年04期
6 黄波;深能级瞬态谱技术[J];半导体技术;1985年02期
7 郭维廉,张培宁,郑云光,李树荣,张世林;光电双基区晶体管中的光控电流开关效应[J];半导体技术;2000年01期
8 施锦行;GaN上的欧姆接触[J];半导体情报;1999年05期
9 杨拥军,王长河,白淑华;工作在液氮温度下的低频低噪声双极晶体管的研究[J];半导体情报;1995年03期
10 阮英超;结型场效应晶体管的霍耳效应的理论分析[J];半导体学报;1980年02期
中国重要会议论文全文数据库 前7条
1 郭庆龙;冯龙龄;;热释电探测器测量重复率脉冲能量的曲线分析[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
2 郑慧民;闰铁梁;瞿寿德;林品兴;;基于图象分析与识别的单晶生长过程质量检测[A];1995中国控制与决策学术年会论文集[C];1995年
3 杨虹;支凌云;李言荣;;半导体硅温度传感器的研制[A];2005通信理论与技术新进展——第十届全国青年通信学术会议论文集[C];2005年
4 余向东;沈常宇;王育红;;大气衰减对自由空间光通信的影响及解决方法[A];全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集[C];2005年
5 吴闽;黄钊洪;;锑化铟磁阻型红外光电传感器及其特性研究[A];第二届长三角地区传感技术学术交流会论文集[C];2006年
6 吴闽;黄钊洪;;锑化铟磁阻型红外光电传感器及其特性研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
7 王亚丽;段锦;景文博;顾玲嘉;翟超;;空间光通信中激光光斑检测与特性分析[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
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1 刘成康;红外焦平面阵列CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2001年
2 周蓉;双极高频、微波功率器件的研究[D];电子科技大学;2001年
3 宋航;碳纳米管及相关材料场发射显示研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 王之建;非晶态、晶态ZnO量子结构组装及光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
5 王永红;基于全场并行共焦的检测技术与系统研究[D];合肥工业大学;2004年
6 郭子政;Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应[D];内蒙古大学;2004年
7 杨媛;神经元MOS及其应用电路的研究[D];西安理工大学;2004年
8 王爱坤;ZnSe/GaAs/Ge高效太阳电池的研究[D];河北工业大学;2004年
9 胥涛;利用反射光谱和热辐射探测月球表面物质的理论和方法[D];中国科学院研究生院(地球化学研究所);2004年
10 张兆华;MOS环振式数字加速度传感器研究[D];清华大学;2004年
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1 施志贵;降低高阻硅探测器漏电流的方法研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2000年
2 朱志炜;等离子体工艺引起的MOSFET栅氧化层损伤研究[D];西安电子科技大学;2000年
3 李爽;遂道结吸收损耗及其对新型大功率激光器特性影响的研究[D];北京工业大学;2000年
4 史辰;基于SiGe/Si HBT的两级高频放大器的设计和研制[D];北京工业大学;2001年
5 任卫;立方相氮化硼薄膜制备及掺杂特性研究[D];北京工业大学;2001年
6 张兴旺;氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备[D];西安理工大学;2002年
7 张国安;单晶硅和石英光纤表面上电沉积功能性镀层的研究[D];广东工业大学;2002年
8 李茂登;立方氮化硼薄膜的射频溅射制备和半导体特性研究[D];北京工业大学;2002年
9 牛赟;高频功率SiGe异质结双极晶体管(HBTs)的研究与设计[D];北京工业大学;2002年
10 刘松妍;新型GaAs/AlGaAs量子阱中远红外探测器的研究与改进[D];北京工业大学;2002年
【同被引文献】
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1 戴护民;桂阳海;;气、光敏材料ZnO的掺杂改性研究[J];材料导报;2006年06期
2 陈祝;张树人;杜善义;杨成韬;孙明霞;郑泽渔;李波;董加和;;ZnO掺杂Li~+陶瓷靶及溅射膜制备工艺研究[J];功能材料;2006年04期
3 范志新;AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用[J];光电子技术;2000年04期
4 刘志锋;靳正国;李巍;武卫兵;邱继军;;聚苯乙烯球模板辅助电沉积制备多孔片晶ZnO薄膜[J];硅酸盐学报;2005年12期
5 肖宗湖;张萌;;ZnO薄膜结构缺陷与发光性能研究(一)[J];人工晶体学报;2006年06期
6 张旭东,邢英杰,奚中和,薛增泉,张蔷,俞大鹏;类单晶氧化锌纳米棒的制备与表征[J];真空科学与技术;2004年01期
7 王金忠,闫玮,王新强,殷景志,姜秀英,杨树人,杜国同,高鼎三,R.P.H.Chang;XRD对ZnO薄膜生长条件和退火工艺的优化[J];半导体光电;2001年03期
8 宋国利;孙凯霞;;纳米ZnO薄膜可见发射机制研究[J];光子学报;2006年03期
9 张亦奕,贺节,商广义,姚骏恩;原子力显微镜[J];光学学报;1995年01期
10 辛萍;孙成伟;秦福文;文胜平;张庆瑜;;反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析[J];物理学报;2007年02期
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1 王丽;胡小波;董捷;李娟;姜守振;李现祥;徐现刚;王继扬;蒋民华;;Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 张昊翔;硅基GaN薄膜材料及紫外探测器原型器件研究[D];浙江大学;2001年
2 梁红伟;高质量氧化锌薄膜和低维结构的制备及研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
3 刘志文;反应磁控溅射ZnO薄膜在Si基片上的生长行为[D];大连理工大学;2006年
4 常远程;AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管的模型研究[D];西安电子科技大学;2006年
5 陈兰兰;In-N共掺杂制备p-ZnO薄膜及ZnO其它相关掺杂研究[D];浙江大学;2007年
6 罗谦;AlGaN/GaN HEMT器件物理模型和关键工艺技术研究[D];电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张有润;制备ITO薄膜的工艺研究[D];电子科技大学;2005年
2 王宇;硅基GaN薄膜制备及紫外探测器的初步研究[D];浙江大学;2001年
3 陈汉鸿;ZnO薄膜和ZnO紫外探测器[D];浙江大学;2002年
4 边超;ZnO荧光薄膜的制备及特性研究[D];郑州大学;2003年
5 高晓明;固相法合成铕离子激活的铝酸锶发光材料研究[D];成都理工大学;2004年
6 吴红超;基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究[D];大连理工大学;2006年
7 周飞跃;GaN基MSM结构紫外探测器研究[D];电子科技大学;2006年
8 傅月秋;p-Si衬底上生长ZnO薄膜的结构和性能[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 支明佳;热蒸发法制备ZnMgO纳米材料及其性能表征[D];浙江大学;2006年
10 陈小红;GaN材料及MSM结构紫外光电探测器的研究与制备[D];厦门大学;2002年
【二级引证文献】
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1 岳二红;AAO模板法制备钯合金纳米线及吸氢动力学的研究[D];湖南大学;2007年
2 孙剑;自持金刚石厚膜上磁控溅射法沉积ZnO薄膜的研究[D];大连理工大学;2008年
3 邓雷磊;ZnO薄膜的制备及其特性研究[D];厦门大学;2007年
【相似文献】
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1 王丽玉,谢家纯,林碧霞,王克彦,傅竹西;n-ZnO/p-Si异质结UV增强型光电探测器的研究[J];电子元件与材料;2004年01期
2 王建明;李观启;关中凡;黄美浅;;CoSi_2/Si异质结的形成及其电子结构的研究[J];华南理工大学学报(自然科学版);1990年04期
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4 M.J.Kelly;相进;;氯化物VPE生长的In_(0.53)Ga_(0.47)As—InP异质结中的二维电子气[J];微纳电子技术;1984年05期
5 朱文章,刘士毅;P-AlGaAs/n-GaAs异质结载流子输运机理[J];厦门大学学报(自然科学版);1992年01期
6 王向武, 张兴德,任大翠;分别限制异质结可见光半导体激光器[J];激光技术;1994年04期
7 黄靖云,叶志镇;SiGe/Si光电探测器研究进展[J];材料科学与工程;1997年03期
8 郑金成,王仁智,郑永梅,蔡淑惠;三组三元合金异质结的价带带阶[J];固体电子学研究与进展;1998年01期
9 李美成,赵连城;硅基异质结光电探测器用材料的应用研究进展[J];半导体杂志;1999年04期
10 王会武,陈正豪,何萌,崔大复;非对称异质结型量子阱光伏探测器[J];科学通报;2000年24期
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1 杨洁;;金刚石薄膜/氧化锌薄膜异质结研制和性质研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
2 曹国华;关敏;曹俊松;李林森;曾一平;;空穴注入结构对有机电致发光器件性能影响[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
3 付超;孙玲玲;文进才;;用于CDMA2000的射频功率放大器仿真实现[A];浙江省电子学会2006年学术年会论文集[C];2006年
4 梅菲;彭挺;刘昌;;分子束外延生长AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
5 徐章程;张雅婷;J M Hvam;;亚单层InGaAs/GaAs量子点异质结和激光器[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
6 赵正平;;固态微波器件的新进展[A];1997年全国微波会议论文集(上册)[C];1997年
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10 柳伟达;周旗钢;何自强;;RPCVD生长SiGe薄膜及其性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
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2 ;化合物半导体材料开始步入产业化[N];光明日报;2002年
3 浙江大学电气工程学院长江特聘教授 盛况;提升功率半导体性能 宽禁带器件产业化起航[N];中国电子报;2010年
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1 杨沛锋;Si/SiGe异质结器件研究[D];电子科技大学;2002年
2 徐安怀;InP基及含磷异质结双极晶体管材料结构设计与气态源分子束外延生长研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
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4 霍海滨;一维半导体纳米材料及其电子和光电子器件研究[D];北京大学;2007年
5 关春颖;微结构光学器件功能与特性研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
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8 刘保顺;TiO_2光生载流子迁移过程的功效应及在光催化中的应用[D];武汉理工大学;2006年
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10 王文娟;低温晶片键合技术及长波长可调谐WDM解复用光接收集成器件的研究[D];北京邮电大学;2007年
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1 刘海江;热电应力下Si/SiGe/Si异质结双极晶体管(HBTs)可靠性实验研究[D];北京工业大学;2004年
2 吕政;SiCGe/SiC异质结光电二极管的数值模拟与特性分析[D];西安理工大学;2005年
3 姚微;AlGaN/GaN异质结二维电子气输运性质[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
4 曲钢;GaN/Al_2O_3(0001)大晶格失配异质结构的PAMOCVD外延生长[D];大连理工大学;2004年
5 朱泳;适用于大电流的SiGe HBT频率特性的解析模型[D];大连理工大学;2002年
6 马丽;快速软恢复SiGe异质结功率二极管的分析与设计[D];西安理工大学;2004年
7 汪东;SiGe微波异质结双极晶体管中基区杂质外扩及阻挡层的研究[D];北京工业大学;2000年
8 张丁可;ZnO基p/n异质结器件的物性研究[D];东北师范大学;2005年
9 陈洪波;4H-SiC npn双极晶体管特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
10 彭鹏;GaAs基HBT材料的外延生长及其特性研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
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