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《电子元件与材料》 2002年04期
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微电子机械系统技术及其应用

张海涛  张斌  
【摘要】:微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 刘莎,季世军,闫锦,孙昌国,张会臣;OTS/MPS复合自组装分子膜的摩擦特性分析[J];大连海事大学学报;2003年04期
2 付佳辉,吴群,顾学迈;微机械传输线的毫米波应用[J];电子器件;2003年02期
3 程广贵;刘海霞;丁建宁;石超燕;;弹性体/偶联剂复合纳米薄膜的制备[J];功能材料与器件学报;2008年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 刘玲;玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制[D];浙江大学;2004年
2 秦宁;SU-8微针执行器的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
3 刘敬伟;基于体硅加工技术的安培型微电极生物传感器研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
4 焦峰;透皮微针阵列的工艺研究[D];浙江大学;2005年
5 张建辉;硅基微压力传感器关键工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年
6 张红茹;自动立木整枝机离合弹簧的性能测试系统研究[D];北京林业大学;2006年
7 李艳辉;牺牲层腐蚀模型与模拟研究[D];东南大学;2006年
8 李志伟;(100)、(110)硅片湿法各向异性腐蚀特性研究[D];武汉理工大学;2008年
9 王良江;聚合物微结构超声波压印工艺研究[D];大连理工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
2 虞承端;;微机械加工技术与微传感器[J];电子元器件应用;2001年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 孙洪强;邱飞燕;;微机械加工技术[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 杨杰伟;基于MEMS工艺的轴向磁化永磁微电机结构优化及性能分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
3 施芹;提高硅微陀螺仪性能若干关键技术研究[D];东南大学;2006年
4 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
5 张正福;音叉振动式微机械陀螺结构动态性能解析与健壮性设计[D];上海交通大学;2007年
6 周敬然;加速度传感器ICP关键制作工艺及检测电路的研究[D];吉林大学;2008年
7 郭秋芬;微型梳状线振动陀螺仪特性及干扰因素影响的研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
8 任明星;微米尺度构件金属型铸造成形规律研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
9 杨闯;微熔模精铸过程微尺度成形及充型流动规律研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郑萍;直接浅沟道隔离平坦化技术的研究及应用[D];电子科技大学;2011年
2 张邵华;单晶硅吸收型光纤温度传感器的探索[D];浙江大学;2003年
3 张英华;AFM微探针纳米刻划深度仿真及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
4 王国田;微尺度构件微铸造成形工艺及组织性能研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 屈玉丰;双级解耦微机械陀螺的结构设计及特性研究[D];合肥工业大学;2008年
6 何赞;微推进器结构与制作工艺研究[D];南京理工大学;2008年
7 慕岩;微铸造成形过程液态金属微流动规律研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 张发国;一种反射式微型光开关的相关技术研究[D];重庆大学;2008年
9 章钊;硅/微晶玻璃阳极键合机理的研究[D];武汉理工大学;2010年
10 赵文静;基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李震,柯旭贵,汪云祥;虚拟仪器的发展历史、研究现状与展望[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2003年04期
2 罗元,李向东,付红桥,黄尚廉;MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究[J];半导体光电;2003年02期
3 储佳,马向阳,杨德仁,阙端麟;硅片清洗研究进展[J];半导体技术;2001年03期
4 石艳玲,杨震,赖宗声;硅基微机械微波传输线的制备与特性分析[J];半导体技术;2001年04期
5 来五星,轩建平,史铁林,杨叔子;微制造光刻工艺中光刻胶性能的比较[J];半导体技术;2004年11期
6 贾翠萍,董玮,徐宝琨,潘建旋,周敬然,陈维友;KOH溶液中(110)硅片腐蚀特性的研究[J];半导体技术;2005年06期
7 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
8 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
9 邓俊泳,冯勇建;TMAH单晶硅腐蚀特性研究[J];微纳电子技术;2003年12期
10 王成伟,闫桂珍,朱泳;ICP硅深槽刻蚀中的线宽控制问题研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 傅新;谢海波;杨华勇;;Micro-DPIV技术在微型无阀泵瞬变流场检测中的应用[A];第二届全国微全分析系统学术会议论文摘要集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 窦雁巍;MEMS中多孔硅基本特性及绝热性能研究[D];天津大学;2005年
2 庄俭;微注塑成型充模流动理论与工艺试验研究[D];大连理工大学;2007年
3 孙洪文;微纳压印关键技术研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 许高攀;用于光纤通信的MEMS光开关[D];厦门大学;2002年
2 郝永芹;光纤定位硅V型槽的设计与制作[D];长春理工大学;2002年
3 郝子宇;MEMS湿法腐蚀工艺的研究[D];河北工业大学;2005年
4 黄朋生;硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究[D];清华大学;2005年
5 徐敏;聚合物微流控芯片热压工艺及理论研究[D];大连理工大学;2006年
6 王涓;MEMS中单晶硅的湿法异向腐蚀特性的研究[D];东南大学;2005年
7 乔鹏;应用于聚合物微器件封装的超声波键合系统[D];大连理工大学;2008年
8 陶琳;微流控芯片超声波键合能量引导微结构设计与工艺[D];大连理工大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 杨怀志;孙厚军;于伟华;吕昕;;基于三维有限元法的MEMS毫米波滤波器设计[J];兵工学报;2008年01期
2 倪烨;戴强;张怀武;钟智勇;于奇;;MEMS中硅湿法深槽刻蚀工艺的研究[J];材料导报;2011年08期
3 周志丹;徐磊华;刘金龙;陈烜;;国内外自组装膜的研究进展[J];材料导报;2011年19期
4 潘鹤;滕淑华;丁翠翠;;硅表面自组装膜的构建及其摩擦学性能研究进展[J];材料导报;2012年15期
5 余晓填;;基于Matlab的静电执行器控制仿真与研究[J];中山大学研究生学刊(自然科学.医学版);2012年02期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 徐磊华;硅烷类自组装复合层的制备及摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2011年
2 刘晓红;液压泵阀空蚀特性的研究[D];西南交通大学;2008年
3 黄新龙;若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究[D];中国科学技术大学;2009年
4 崔琦峰;压电无阀薄膜微泵多场耦合建模与仿真研究[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘丽莉;电磁场驱动下的液体流动实验与模拟研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
2 郭正宇;黑硅材料的制备及特性研究[D];电子科技大学;2010年
3 赵金余;光刻机浸没单元的流场检测与结构优化[D];浙江大学;2011年
4 徐亮;面向微流控芯片的压电无阀微泵的研究[D];浙江大学;2011年
5 王大军;基于微机电系统的硅压力传感器性能改进研究[D];淮北师范大学;2011年
6 陈骄;硅的各向异性湿法腐蚀工艺及其在微纳结构中的应用研究[D];国防科学技术大学;2010年
7 张卓;基于TSV的MEMS圆片级真空封装关键技术的研究[D];华中科技大学;2011年
8 李光;OLED外量子效率的研究[D];电子科技大学;2006年
9 徐超;MEMS固体微推进器的设计与制备[D];国防科学技术大学;2006年
10 张宇峰;毫米波MEMS开关和MEMS移相器的研究[D];南京理工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 梅涛,戈瑜,倪礼宾,陈效肯,陈永,倪林,马军,申飞;多功能阵列式触觉传感器的研究[J];高技术通讯;2000年03期
2 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张斌珍;李科杰;张文栋;薛晨阳;陈建军;;GaAs基微机械加工技术[J];半导体技术;2006年07期
2 李拴庆,付士萍;微电子机械系统[J];半导体技术;2001年08期
3 顾靖;俞宏坤;;微机械(MEMS)技术[J];集成电路应用;2003年04期
4 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
5 陈勤;范树新;张维波;;MEMS传感器的标准化现状与发展对策[J];传感器与微系统;2007年08期
6 杨秀芸;基于MEMS技术的通信器件及其应用[J];电子机械工程;2005年04期
7 罗雁横;张瑞君;;MEMS波长可调谐激光器及其进展[J];微纳电子技术;2006年05期
8 王祁,王劲松,迟晓珠;微电子机械系统和片式系统[J];传感器技术;1999年03期
9 谈士力;郭成;;微型爬壁机器人研究的关键技术[J];机床与液压;2005年11期
10 洪永强,蒋红霞;微电子机械系统及硅微机械加工工艺[J];电子工艺技术;2003年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈宝;施进浩;;微电子机械系统中的超微电机[A];第七届中国小电机技术研讨会论文集[C];2002年
2 孙洪强;邱飞燕;;微机械加工技术[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
3 孙克豪;胡宇群;王立森;赵亚溥;;微电子机械系统的计算机辅助设计[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
4 田文超;贾建援;;MEMS粘着研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
5 刘燕翔;任天令;刘理天;;采用PZT薄膜的射频滤波器研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
6 朱健;林立强;林金庭;吴汉俊;陈新宇;;宽带微波MEMS开关[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
7 杜振辉;蒋诚志;谢艳;钟莹;张国雄;陶知非;;激光多普勒效应在MEMS运动测量中的应用研究[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
8 田文超;贾建援;;MEMS薄膜应力研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
9 田文超;贾建援;;MEMS粘附问题研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
10 张永华;丁桂甫;蔡炳初;沈民谊;;射频MEMS移相器研究进展[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
2 本报记者 李佳霖;做出尖端的技术 赶超世界一流水平[N];经济日报;2009年
3 本报记者 苏雁;用智慧改变生活[N];光明日报;2009年
4 山西焦煤集团公司西山古交生活服务公司 张艳萍;浅谈机电一体化的发展及趋势[N];山西科技报;2009年
5 中国电子科技集团第四十九研究所 耿振亚;集成智能传感器的发展呈现四大热点[N];中国电子报;2004年
6 ;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
7 记者 过国忠;美新半导体(无锡)公司微纳传感器技术获多项突破[N];科技日报;2010年
8 王振满;前沿技术孕育产业力量[N];南京日报;2008年
9 本报记者 赵永新;中国工程院院士刘韵洁——物联网:少烧虚火,多炼真功[N];人民日报;2010年
10 本报记者 马文方;MEMS:物联网核心技术所在(上)[N];中国计算机报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
3 赵本刚;基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
4 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
5 耿照新;基于MEMS技术的微阀和微泵的设计与研制[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2007年
6 韩建强;基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
7 于景荣;质子交换膜与MEMS微型燃料电池的研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2003年
8 韩光平;微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究[D];西安理工大学;2006年
9 房振乾;微电子机械系统(MEMS)中介孔硅材料的热学、力学及电学特性研究[D];天津大学;2007年
10 黄新龙;若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究[D];中国科学技术大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林林;基于卡西米尔势能温度场的微电子机械系统性能研究[D];东北师范大学;2011年
2 吴峥;MEMS微结构动力学性能研究[D];南京理工大学;2010年
3 孟庆旭;微型化学燃料电池的研究[D];黑龙江大学;2007年
4 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
5 张艳凤;MEMS压阻式加速度传感器的研究[D];长春理工大学;2004年
6 吴雷;MEMS面型微加热器的结构设计和制作[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
7 宣云;RF MEMS开关器件研究[D];清华大学;2005年
8 宋达;一种基于MEMS的单晶硅纳米线制造技术研究[D];浙江大学;2005年
9 赵军;基于MEMS技术的角度可调谐光滤波器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
10 黄朋生;硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究[D];清华大学;2005年
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