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《电子元件与材料》 2000年01期
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透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展

赵谢群  
【摘要】:综述了 TCO(透明导电氧化物 )薄膜研究开发的历史与现状 ,展望了产业化前景。传统的 ITO薄膜性能优异 ,是重要的平面显示器件用材料。新型 Zn O薄膜成本低廉 ,极具发展潜力 ,有望在太阳能电池领域取代 ITO(掺锡氧化铟 )。多元复合氧化物薄膜是 TCO的发展方向之一 ;柔性衬底的应用扩大了 TCO薄膜的用途 ;溶胶 -凝胶制备工艺的开发促进了大面积 TCO薄膜的实用化
【作者单位】北京有色金属研究总院!北京100088
【分类号】:TN304.055

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
2 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
3 望咏林;颜悦;沈玫;贺会权;张官理;;透明导电氧化物薄膜研究进展[J];材料导报;2006年S1期
4 徐慢;夏冬林;赵修建;;透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展[J];材料导报;2006年S2期
5 王华;透明导电氧化物薄膜及其制备方法[J];材料工程;2005年09期
6 冯娴娴;赵小如;刘凯;刘波;赵亮;;新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO_2的研究进展[J];材料工程;2009年09期
7 章峰勇;;柔性透明导电膜的研究进展[J];信息记录材料;2010年03期
8 尹德武,马铁成,刘敬肖;溶胶凝胶法制备掺杂锑(Sb)的透明导电膜[J];大连轻工业学院学报;2002年04期
9 张丽伟,卢景霄,段启亮,王海燕,李瑞,靳锐敏,王红娟,张宇翔;磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究[J];电子元件与材料;2005年08期
10 桂太龙;汪钢;张秀芳;梁栋;;磁控溅射法制备ITO薄膜的结构及光电性能[J];电子器件;2009年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 肖华;王华;任鸣放;陈国华;;磁控溅射ZAO透明导电薄膜靶材及薄膜制备技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 王杨勇;聚苯胺纳米纤维的合成与应用[D];西安交通大学;2007年
2 邹科;ZnO纳米材料的铝、稀土元素掺杂及其光学和电学性能研究[D];山东大学;2011年
3 徐甲强;氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究[D];上海大学;2005年
4 宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
5 王军;有机电致发光器件制备工艺与高效磷光器件性能的研究[D];电子科技大学;2008年
6 张波;高价金属元素掺杂透明导电ITO薄膜的研究[D];上海交通大学;2009年
7 郅晓;喷雾热解法制备氧化物基涂层低辐射玻璃的研究[D];西安理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 方敏;p型CuAlO_2薄膜的制备与性能表征[D];浙江大学;2011年
2 徐海军;二步法制备绒面结构ZAO薄膜及其在非晶硅薄膜太阳电池前电极应用研究[D];景德镇陶瓷学院;2011年
3 朱玉成;新型铱配合物的合成和电致发光性能研究[D];南京大学;2011年
4 安子凤;氮化钛薄膜的制备与光电性能研究[D];郑州大学;2011年
5 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
6 杜芳黎;稀土配合物的合成、表征及掺杂氧化锌的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 王鑫;用原位纳米测试系统研究SnO_2类薄膜材料的硬度[D];燕山大学;2010年
8 任世荣;电子束蒸发技术生长高迁移率IWO(In_2O_3:WO_3)薄膜的研究[D];河北工业大学;2011年
9 胡加佳;IGZO薄膜的制备及性能研究[D];华中科技大学;2011年
10 宋佳;原子层沉积制备Al掺杂ZnO薄膜的结构与性能研究[D];上海交通大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
2 王文文,刁训刚,王峥,王天民;直流磁控溅射ZnO:Al薄膜的光电和红外发射特性[J];北京航空航天大学学报;2005年02期
3 徐慢;夏冬林;赵修建;;透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展[J];材料导报;2006年S2期
4 杨田林,韩圣浩,张鹏,王爱芳;衬底温度和溅射偏压对ZnO:Al透明导电膜结构和光电特性的影响[J];电子元件与材料;2004年07期
5 张丽伟,卢景霄,段启亮,王海燕,李瑞,靳锐敏,王红娟,张宇翔;磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究[J];电子元件与材料;2005年08期
6 殷胜东;马勇;籍勇亮;;磁控溅射制备参数对ZnO:Al电学性能的影响[J];淮北煤炭师范学院学报(自然科学版);2006年01期
7 范志新;AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用[J];光电子技术;2000年04期
8 吕建国,汪雷,叶志镇,赵炳辉;ZnO薄膜应用的最新研究进展[J];功能材料与器件学报;2002年03期
9 郝晓涛,马瑾,马洪磊,田茂华,曹宝成,叶丽娜,程传福,滕树云;低温磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al透明导电膜的结构及特性[J];中国科学(A辑);2001年09期
10 王玲玲;于昕宇;张蕾;刘琳;;透明导电氧化物薄膜的制备方法研究[J];渤海大学学报(自然科学版);2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 范锦鹏;赵大庆;董民超;;ZAO靶材烧结机理与特征的研究[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
2 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
3 鲁林峰;太阳电池用ZnO:Al和β-FeSi_2薄膜材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
5 段理;ZnO薄膜的光电性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
6 杨伟锋;铝掺杂氧化锌透明薄膜之制备及其在氮化镓基发光二极管之应用[D];厦门大学;2008年
7 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
2 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
3 严玉环;微波化学共沉淀法制备ZAO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2008年
4 路婷;ZAO~p/ZAO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究[D];西安工业大学;2011年
5 张惠;磁控溅射法制备柔性ZnO:Al薄膜及其光电性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
7 余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
8 苏伟涛;射频溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及性能研究[D];中南大学;2004年
9 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
10 段启亮;ZAO(掺铝氧化锌)导电膜的制备及特性研究[D];郑州大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴丹;朱超;强骥鹏;王杨勇;;聚苯胺的掺杂及其应用[J];工程塑料应用;2006年09期
2 孟凡明;孙兆奇;;ZnO压敏材料研究进展[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年04期
3 徐衡,束庆宇;胱氨酸水杨醛希夫碱及其配合物的合成和表征[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2003年01期
4 范希智,陈君,刘旭,顾培夫,唐晋发;有机电致发光薄膜的电流输运机理的分析[J];鞍山师范学院学报;2000年03期
5 王永庆,刘光斌,何俊发,刘晓彬;吸收—屏蔽复合材料对军用电子仪器设备进行屏蔽的研究[J];兵器材料科学与工程;2002年06期
6 王杨勇,张柏宇,王景平;本征型导电高分子电磁干扰屏蔽材料研究进展[J];兵器材料科学与工程;2004年03期
7 李建涛;许晓丽;;ITO防电磁辐射玻璃制备方法及性能研究[J];兵器材料科学与工程;2009年04期
8 马瑾,赵俊卿,叶丽娜,田茂华,马洪磊;柔性衬底ITO导电膜的低温制备及特性研究[J];半导体光电;2000年01期
9 张静全,蔡伟,郑家贵,黎兵,孙小松,蔡亚平,冯良桓;CdTe太阳能电池研究进展[J];半导体光电;2000年02期
10 李向东,杨家德;有机电致发光显示器件的研制及产品开发现状[J];半导体光电;2000年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 马立云;余丽春;周建民;赵青南;赵修建;;在线CVD法制备Sb掺杂SnO_2低辐射薄膜的研究[A];全国第六届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会论文集[C];2006年
2 段启亮;王海燕;卢景霄;陈永生;;利用SiO_2颗粒形成薄膜太阳电池的陷光结构[A];科技、工程与经济社会协调发展——河南省第四届青年学术年会论文集(上册)[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钱祥忠;高像质非晶硅薄膜晶体管液晶显示器的研究[D];电子科技大学;2003年
2 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
3 熊善新;采用模板法制备有序排列的聚苯胺复合微管和微丝的研究[D];四川大学;2004年
4 梁红伟;高质量氧化锌薄膜和低维结构的制备及研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
5 秦秀娟;纳米氧化锌常压/超高压下的烧结及其结构与性能[D];燕山大学;2005年
6 龚恒翔;多晶氧化锌薄膜的制备和结构、电学、光学特性研究[D];兰州大学;2002年
7 车平;ZnO基稀磁半导体的制备与性质研究[D];中国科学院研究生院(长春应用化学研究所);2005年
8 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
9 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
10 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郑彦;金属纳米材料的合成及其作为导电电极的应用[D];华东师范大学;2011年
2 史金涛;溶胶凝胶法Sb掺杂SnO_2薄膜的制备、性能及新型节能镀膜玻璃的研究[D];浙江大学;2002年
3 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
4 张聚宝;喷雾热分解法制备SnO_2:Sb薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2003年
5 张乃枝;溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究[D];武汉理工大学;2004年
6 余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
7 张贤高;ITO纳米粉的低温制备[D];华中师范大学;2004年
8 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
9 谢莲革;CVD法Sb掺杂SnO_2薄膜的制备、性能及应用研究[D];浙江大学;2005年
10 杨红;高K栅介质可靠性研究[D];北京大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郎野;胡礼中;张贺秋;宁志敏;杜建锋;高卓;;CIO薄膜材料制备进展[J];兵器材料科学与工程;2012年02期
2 于忠玺;高善民;张江;陈健;曲荣君;;溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究[J];微纳电子技术;2007年05期
3 周鸣鸽;战可涛;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜的正交实验研究[J];北京化工大学学报(自然科学版);2009年03期
4 李宁,卢迪芬,陈森凤;溶胶-凝胶法制备薄膜的研究进展[J];玻璃与搪瓷;2004年06期
5 鲁大学;;透明导电氧化物镀膜玻璃在光伏电池中的应用[J];玻璃;2008年10期
6 王敏,蒙继龙,陈明光;ITO薄膜的光学性能研究[J];中国表面工程;2003年05期
7 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
8 郭爱波;刘玉萍;陈枫;李斌;但敏;刘明海;胡希伟;;等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究[J];表面技术;2006年06期
9 王华;;特色功能材料——透明导电氧化物薄膜[J];材料导报;2005年11期
10 徐慢;夏冬林;赵修建;;透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展[J];材料导报;2006年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 刘丹;吴云龙;刘超英;余刚;;磁控溅射法制备AZO薄膜/玻璃结构及物性研究[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
2 张俊双;叶勤;;AZO透明导电薄膜的研究进展[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
3 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
4 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
5 林清耿;郜小勇;冯红亮;陈永生;杨仕娥;谷锦华;卢景霄;;掺铝氧化锌薄膜表面织构的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
6 林清耿;郜小勇;冯红亮;陈永生;杨仕娥;谷锦华;卢景霄;;铝氧化锌薄膜相关特性的研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
7 孟凡英;胡宇;余跃波;;氧化锌透明导电薄膜生长及其光电特性研究[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
8 吴晓飞;郗雨林;;ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究[A];2012船舶材料与工程应用学术会议论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李幼真;纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究[D];中南大学;2011年
2 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
3 王丽丹;纳米ZnO基有机/无机复合光伏器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
4 钟建;基于柔性塑料基底OLED阵列化技术及有机光伏器件研究[D];电子科技大学;2011年
5 邹科;ZnO纳米材料的铝、稀土元素掺杂及其光学和电学性能研究[D];山东大学;2011年
6 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
7 张天林;纳米压入技术中基底和针尖效应的研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
9 程知萱;不同形貌纳米In_2O_3的可控制备及气敏性能研究[D];上海大学;2008年
10 葛春桥;金属氧化物纳米材料的湿法制备及其气敏性能研究[D];华中科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 况琦;制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
3 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
4 王万坤;八水氢氧化锶的干燥研究[D];昆明理工大学;2009年
5 路婷;ZAO~p/ZAO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究[D];西安工业大学;2011年
6 王钰萍;ZnO基透明导电薄膜的低温制备及性能优化[D];浙江大学;2011年
7 方敏;p型CuAlO_2薄膜的制备与性能表征[D];浙江大学;2011年
8 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
9 商春辉;蝴蝶鳞片高吸光率机理分析及仿生结构设计[D];吉林大学;2011年
10 叶鑫;利用磁控溅射和溶胶—凝胶法制备ZnO-TFT及相关因素的研究[D];北京交通大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陆晓莉,杨玉兰,薛长利,李燕;ITO阻值的精确计算及影响因素[J];液晶与显示;2002年03期
2 吴六爱;图书馆自动化系统的总体拥有成本分析[J];兰州交通大学学报;2003年02期
3 刘陈,徐重阳,钟志有,尹盛,王长安;ITO表面处理对OLED性能的影响[J];半导体光电;2002年03期
4 陈世利,孙墨杰,栗大超,靳世久;触摸屏的工作原理及典型应用[J];单片机与嵌入式系统应用;2002年02期
5 孙杨;张永栋;朱燕林;;单层ITO多点电容触摸屏的设计[J];液晶与显示;2010年04期
6 章岳光,李海峰,刘旭,顾培夫,唐晋发;带有预倾角的液晶垂直定向的研究[J];激光与红外;1997年03期
7 程天蓉,黄春辉,甘良兵;氮杂芪唑盐单层LB膜修饰的ITO玻璃电极上的光电响应研究[J];科学通报;1997年10期
8 孙文焕;阎建法;林东华;李艳玲;;模块化UPS对客户TCO的影响[J];电源世界;2011年01期
9 鲁效,王德苗,任高潮,何乐年;SiO_2+ITO导电玻璃连续式生产线的计算机监控网络系统[J];真空;2001年04期
10 齐甸农;;ITO和SnO_2透明导电膜的用途与制备[J];上海有色金属;1992年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王文娜;张大伟;陶春先;;绒面AZO干法制备及性能研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 赵琳;秦秀娟;邵光杰;;温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜的影响[A];中国化学会第28届学术年会第8分会场摘要集[C];2012年
3 支安博;秦福文;白亦真;;AZO薄膜作缓冲层对InN低温沉积的影响[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 牛丽;李金祥;尚鲜连;陈珂;;高等职业院校ITO人才培养方案分析及学习情境设计[A];2011高等职业教育电子信息类专业学术暨教学研讨会论文集[C];2011年
5 ;ITO靶体与背靶焊接技术研究[A];广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编[C];2005年
6 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
7 杨军;彭虎;夏广斌;;微波烧结高密度ITO靶材[A];“第十四届全国微波能应用学术会议”暨“2009年微波创造美的生活高峰论坛”论文集[C];2009年
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9 ;Textured AZO films by magnetron sputtering and ion beams post-treatment[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
10 吴星明;杨树威;徐春叶;;磷酸噻吩用于高分子电致变色器件中ITO的表面修饰[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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2 记者 周巧红 通讯员 王念安;安彩高科TCO玻璃工程奠基仪式昨日举行[N];安阳日报;2010年
3 记者 任国战 通讯员 张涛 实习生 韩园园;安彩高科TCO玻璃项目开工建设[N];河南日报;2010年
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5 中国洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 郭卫 谢军;薄膜太阳能电池关键材料TCO玻璃的应用探讨[N];中国建材报;2011年
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8 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
9 本报记者 郭涛;惠普新一代数据中心降低TCO近一半[N];中国计算机报;2009年
10 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨田林;Zn_3N_2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究[D];天津大学;2010年
2 刘同军;溶胶—凝胶法制备的透明导电氧化物(TCO)薄膜[D];天津大学;2009年
3 李钢贤(Ri Kang Hyon);AZO透明导电薄膜载流子输运机制及特性研究[D];华中科技大学;2011年
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6 李皓;心衰机理及hKv4.3基因表达调控研究[D];吉林大学;2006年
7 陈曙光;铟锡氧化物(ITO)粉体及高性能ITO靶材的制备与研究[D];华中科技大学;2005年
8 吴大刚;基于信息流控制的信息技术外包产业发展模式与战略研究[D];吉林大学;2007年
9 褚家宝;铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池研究[D];华东师范大学;2009年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡雪梅;透明导电氧化物半导体的制备及电学性质研究进展[D];东北师范大学;2009年
2 杨艳艳;用于非晶硅薄膜太阳能电池的AZO薄膜研究[D];华中科技大学;2011年
3 姜丽莉;快速退火对AZO透明导电薄膜特性的影响[D];山东大学;2010年
4 蔡凤萍;不同衬底条件下制备的薄膜电池用AZO及缓冲层对其性能的影响[D];华东师范大学;2010年
5 徐礼;增透型AZO薄膜的制备及应用[D];上海师范大学;2011年
6 张凡;AZO透明导电薄膜制备、结构及性能研究[D];海南大学;2012年
7 张翔;AZO透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究[D];广西大学;2012年
8 张俊双;磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜及其性能研究[D];暨南大学;2011年
9 王飞;AZO透明导电薄膜的制备和等离子体表面处理[D];苏州大学;2012年
10 谢岩;Sol-Gel法制备AZO薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2010年
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