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《电子元件与材料》 1988年01期
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厚膜湿度传感器材料、结构、机理简介

张晓民  
【摘要】:敏感性最高的是具有钨锰矿和尖金石结构的半导体氧化物。对“电容式”和“电阻式”两种厚膜湿度传感器的研究,以“电阻式”的较为活跃。厚膜湿度传感器的传导机理是质子型的。
【作者单位】昆明贵金属研究所

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