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《低温与超导》 1994年01期
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动态MOCVD连续制备YBCO/Ag超导带的微观结构

谢义元  袁凤池  程彬吉  陈继平  钟勇  崔炳燊  
【摘要】:该文对用动态MOCVD工艺所制膜厚分别为1.0μm和3.5μmJc值分别为5.5×103A/cm2和2.1×103A/cm2(78K,0T)的两个YBCO/Ag超导带样品,以EDX、XRD和SEM对其沉积层表面的成分与结构作了分析和研究,对后者还以SEM和EDX对其断面成分进行了分析。以XRD和SEM分析观察了经过与前者相同的热处理的Ag基带的表面状况。由上述分析结果综合讨论了基体的表面状况、反应器构造对样品沉积层微观结构、载流能力的影响以及相关的工艺改进问题。
【作者单位】长沙矿冶研究院
【基金】:国家超导技术联合研究开发中心资助
【分类号】:O511

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