微型节流制冷器
【摘要】:微型节流制冷器(Microminiature J-T Refrigerator,简称MMR)是采用新颖的光刻技术制作成的。七十年代中后期首先由美国斯坦福大学利特尔教授发明和开发研究,八十年代初己有商用产品。由于工艺新颖、尺寸小、振动低,无磁性,有希望比较好的满足光学元件,微电子元件和超导元件冷却的需要,已引起人们广泛的注意和兴趣。本文对其理论、工艺、应用及前景作一综述,其中包括作者本人的一些研究工作。
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