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二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究

马连湘  王向宁  段占立  王泽鹏  何燕  
【摘要】:二氧化硅纳米绝缘薄膜的传热是靠声子在薄膜的振动实现的.声子在纳米薄膜结构中传输的非平衡性影响了薄膜的热导率.3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法.本文采用3ω方法分别测量低频率段和高频段的二氧化硅薄膜温升及二氧化硅薄膜的热导率,对二氧化硅薄膜的非平衡热导率进行了分析.

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