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《大学物理实验》 2008年02期
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基于Monte Carlo方法模拟薄膜生长

刘方旸  
【摘要】:本文运用Monte Carlo方法,通过计算机模拟研究了真空镀膜过程中沉积速率、自由粒子迁移率、粒子沿分形迁移等对薄膜生长过程的影响。
【作者单位】中国科学技术大学;
【分类号】:O484.1

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前4条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【相似文献】
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