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《大连理工大学学报》 2002年03期
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均质非平衡态分子动力学模拟铜薄膜的热导率

叶杰成  申爽  唐祯安  
【摘要】:为研究微电子器件中薄膜的“超常”传热行为 ,基于等温线性响应理论 (LRT)和嵌入原子法 (EAM)势函数 ,采用均质非平衡态分子动力学方法 ,对铜薄膜的热导率进行了计算机数值模拟 ,给出了铜薄膜热导率与薄膜厚度及温度之间的关系 .模拟结果符合 Flik关于微尺度薄膜导热的判据并与其他文献的实验数据基本一致 ,表明该方法和结果可以用于微电子器件中的微尺度传热及热应力问题的分析 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吕曜,宋青林,夏善红;固体微/纳米尺度传热理论研究进展[J];物理学进展;2004年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 云和明;细通道单相流动和传热特性的研究[D];山东大学;2007年
2 刘娟芳;流体输运特性和物态转变的分子动力学研究[D];重庆大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 叶杰成;波耳兹曼传输方程和分子动力学对铜薄膜热导率模拟研究及其比较[D];大连理工大学;2001年
2 谭宁;界面微尺度热现象的分子动力学模拟[D];重庆大学;2003年
3 徐征;AIN-Cu和Ar-Kr低温界面热阻的计算机仿真研究[D];武汉理工大学;2004年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 过增元;国际传热研究前沿──微细尺度传热[J];力学进展;2000年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王秋军,徐红玉,宋亚勤,张元冲;微尺度热传导理论及金属薄膜的短脉冲激光加热[J];微纳电子技术;2003年11期
2 唐祯安,丁海涛,黄正兴,许自强,李新;二氧化硅薄膜比热容分子动力学模拟[J];大连理工大学学报;2005年03期
3 刘焕玲,邵晓东,贾建援,王卫东;计算机芯片的散热研究[J];电子机械工程;2005年03期
4 李庆友;王文;周根明;;电子元器件散热方法研究[J];电子器件;2005年04期
5 程新广,李志信,过增元;基于仿生优化的高效导热通道的构造[J];中国科学E辑;2003年03期
6 凌智勇,丁建宁,杨继昌,范真,李长生;微流动的研究现状及影响因素[J];江苏大学学报(自然科学版);2002年06期
7 张洪武;张盛;毕金英;;周期性结构热动力时间-空间多尺度分析[J];力学学报;2006年02期
8 胡自成,马虎根;微尺度通道内流动沸腾研究综述[J];能源研究与信息;2003年03期
9 刘中春;侯吉瑞;岳湘安;;微尺度流动界面现象及其流动边界条件分析[J];水动力学研究与进展A辑;2006年03期
10 孙亮;马东军;孙德军;尹协远;;方腔内热对流的高精度数值模拟[J];水动力学研究与进展A辑;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐绍琨;陈宝明;汲水;;小尺度流道换热器换热特性的实验研究[A];山东省暖通空调制冷2007年学术年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 云和明;细通道单相流动和传热特性的研究[D];山东大学;2007年
2 齐守良;微通道中液氮流动和换热特性研究[D];上海交通大学;2007年
3 陈飚松;热传导与结构耦合系统的灵敏度分析及优化设计[D];大连理工大学;2002年
4 胡宇群;微型飞行器中的若干动力学问题研究[D];南京航空航天大学;2002年
5 董涛;微管道换热器内微流体的流动与换热[D];南京理工大学;2003年
6 涂虬;热声器件的寻优及其与热声热机系统的匹配[D];华中科技大学;2004年
7 甘云华;硅基微通道内流动与传热的可视化测量及其规律的研究[D];中国科学技术大学;2006年
8 曹炳阳;速度滑移及其对微纳尺度流动影响的分子动力学研究[D];清华大学;2005年
9 程新广;(火积)及其在传热优化中的应用[D];清华大学;2004年
10 马玉娥;可重复使用运载器热防护系统热/力耦合数值计算研究[D];西北工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邵世婷;微型制冷系统模拟与微通道冷凝器实验研究[D];上海交通大学;2008年
2 霍素斌;微铝管超疏水表面制备及水流动特性的研究[D];大连理工大学;2007年
3 齐景智;微通道热沉内流体流动与传热特性研究[D];北京工业大学;2007年
4 侯亚丽;微通道内流体流动和换热特性的实验研究[D];河北工业大学;2007年
5 袁斌;矩形平翅片热管散热器的传热分析和数值模拟[D];江苏大学;2006年
6 蒋大林;固液界面润湿的分子动力学研究及实验[D];江苏大学;2007年
7 叶杰成;波耳兹曼传输方程和分子动力学对铜薄膜热导率模拟研究及其比较[D];大连理工大学;2001年
8 刘焕玲;微通道换热研究[D];西安电子科技大学;2004年
9 张晓凤;微流控芯片上原位聚合固相萃取样品预处理[D];重庆大学;2004年
10 吴勇华;纳米薄膜热物性的理论与实验研究[D];东南大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘志刚;赵耀华;;微粗糙管内部流动与对流换热的实验研究[J];北京工业大学学报;2006年02期
2 谢永奇,余建祖,赵增会,秦彦;矩形微槽内FC-72的单相流动和换热实验研究[J];北京航空航天大学学报;2004年08期
3 姜明健,罗晓惠,刘伟力;水在微尺度槽道中单相流动和换热研究[J];北京联合大学学报;1998年01期
4 刘婷婷;高杨;韩宾;胡莉;;V型微通道热沉的流体流动与传热问题研究[J];传感技术学报;2006年05期
5 朱恂,辛明道;微小槽道散热器流动与换热实验研究[J];重庆大学学报(自然科学版);2003年06期
6 李俊明,王补宣,彭晓峰;气体在微圆管内层流换热的壁面效应的研究[J];工程热物理学报;1998年05期
7 陶然,权晓波,徐建中;微尺度流动研究中的几个问题[J];工程热物理学报;2001年05期
8 王娴,王秋旺,陶文铨,郑平;直接模拟蒙特卡罗方法在微通道流动模拟中的应用[J];工程热物理学报;2002年S1期
9 张鸿凌,宋耀祖,张香春;测量微细尺度流体温度场的傅立叶变换激光云纹技术[J];工程热物理学报;2003年03期
10 贺群武,王秋旺,罗来勤,陶文铨;压力边界条件下微通道内气体流动换热特性研究[J];工程热物理学报;2004年05期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 杜东兴;可压缩性及粗糙度对微细管内流动及换热特性的影响[D];清华大学;2000年
2 王遵敬;蒸发与凝结现象的分子动力学研究及实验[D];清华大学;2002年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 余隽,唐祯安,魏广芬;微电子机械系统中微尺度热物性研究进展[J];机械强度;2001年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 聂六英;低维量子结构中的声学声子输运与热导性质研究[D];湖南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 崔晶晶;基于声子理论低温界面热阻计算机仿真研究[D];武汉理工大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 叶杰成,申爽,唐祯安;均质非平衡态分子动力学模拟铜薄膜的热导率[J];大连理工大学学报;2002年03期
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