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《大连理工大学学报》 2000年05期
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微机电系统科学与技术发展趋势

王立鼎  刘冲  
【摘要】:阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况 ,并提出发展我国微机电系统的几点建议 .

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 徐鹏,祖静,林祖森;微加速度计的力学分析[J];传感器技术;2002年06期
5 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
6 金翠云;王建林;靳世久;栗大超;胡晓东;;基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量[J];光学技术;2007年02期
7 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
8 蒋庄德;王海容;;微机械力学性能测试仪[J];河南机电高等专科学校学报;2006年01期
9 黄凯;微泵概念设计的FBS模型[J];机械工程师;2002年06期
10 郝秀春,褚金奎,王立鼎;微夾钳的拓扑优化设计[J];机械科学与技术;2004年11期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张田田;微通道内气体流动换热的理论与实验研究[D];北京交通大学;2011年
2 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
3 周健;铜箔力学性能的尺寸效应及微拉深成形研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 黄赞;基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究[D];华南理工大学;2011年
5 郭春海;电磁力扰动作用下微管道中液体流动与混合的特性研究[D];南京理工大学;2012年
6 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 王沫然;微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D];清华大学;2004年
8 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
9 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;基于MIMU的捷联惯性导航系统数据采集与处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
3 王文静;电热微夹钳的性能测试[D];大连理工大学;2010年
4 刘凉;3-RRRU并联机器人运动学控制的研究[D];天津理工大学;2010年
5 梅凡;三自由度并联机器人精度分析与综合[D];天津理工大学;2010年
6 李耀斌;三自由度并联机器人运动学分析[D];天津理工大学;2010年
7 赵洪全;3-DOF并联机器人传动性能研究[D];天津理工大学;2010年
8 南小武;介观压容效应在传感器应用方面的研究[D];中北大学;2011年
9 冀海文;应变对DBRT结构等效电容影响的研究[D];中北大学;2011年
10 祝婕;薄膜材料热性能研究与测试[D];电子科技大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 丁衡高;微机电系统的科学研究与技术开发[J];清华大学学报(自然科学版);1997年09期
2 鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
3 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
2 丁衡高,袁祖武;微机电系统技术的实际应用——微型仪器[J];国防科技大学学报;2000年02期
3 杨会生;;嵌入式静电驱动控制电源设计[J];光机电信息;2011年04期
4 王培霞,贾育秦;从物理学发展看MEMS的跨学科研究[J];物理与工程;2005年05期
5 蒋毅坚,荆涛,陈涛;采用显微拉曼光谱技术检测激光微加工质量[J];光散射学报;2003年01期
6 金翠云,李一博,王立坤,靳世久;EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用[J];国外电子元器件;2003年12期
7 梅德庆,陈子辰;微制造平台的精密隔振系统研究[J];光学精密工程;2001年06期
8 刘洁;刘红军;叶芳;;微振动控制中超磁致伸缩作动器的设计与分析[J];广西大学学报(自然科学版);2011年05期
9 林忠贤,巫远波;我国应加快启动对微型导弹的研究[J];航空兵器;2004年01期
10 刘晓丽;;微机电系统(MEMS)的加工工艺[J];黑龙江科技信息;2011年20期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 吴廷斌;江伯鸿;漆璿;刘毓舒;王莉;徐东;;带基板NiTi薄膜的应力状态及微观组织[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 金柏冬;曹国辉;王振龙;赵万生;;空气中微细电火花沉积与去除的可逆加工技术[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
3 毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集(上)[C];2000年
4 金柏冬;曹国辉;王振龙;赵万生;;空气中微细电火花沉积与去除的可逆加工技术[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
5 金翠云;李一博;靳世久;王立坤;;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
2 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
3 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
5 何斌;医用微型机器人动力学建模及其行为智能控制研究[D];浙江大学;2001年
6 杨兴;磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究[D];大连理工大学;2002年
7 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
8 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
9 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
10 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
2 郝亚锋;基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试[D];西安电子科技大学;2011年
3 陈浩;基于SOI的电容式微加速度计的建模及系统级仿真分析[D];电子科技大学;2011年
4 贺赵霞;基于PNP模型微通道电渗流数值模拟研究[D];南昌大学;2011年
5 王晓伟;挤出滚压法制备聚合物微结构成型技术的开发与研究[D];北京化工大学;2011年
6 赵雪峰;数字微镜装置的光机电控制系统研究[D];西安电子科技大学;2000年
7 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
8 李伟剑;基于MEMS技术的微型飞机的多学科设计优化[D];西北工业大学;2001年
9 蔡克刚;用于推力方向控制的微射流技术[D];西北工业大学;2001年
10 吕召全;多自由度压电式微位移机电系统的研究[D];合肥工业大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蒋炳炎;吴旺青;胡建良;沈龙江;;微注射成型中聚合物熔融塑化技术[J];工程塑料应用;2007年11期
2 蒋炳炎;蓝才红;楚纯朋;谢磊;;微量注塑机的现状与发展趋势[J];工程塑料应用;2008年09期
3 李伟;国外反恐科技现状及趋势研究[J];中国安防产品信息;2005年03期
4 姚学标,郑万鎏,刘宗英,王烨;铁磁金属薄膜磁阻传感器的研制[J];安徽大学学报(自然科学版);1995年02期
5 赵雪松,李文江;镍铬合金钢脉冲电流电化学抛光工艺研究[J];安徽工程科技学院学报;2002年01期
6 傅德生,苏伟,彭勃;电容式微机械加速度计部分力学特性的分析[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2003年04期
7 邓光华,何剑,屈伟;PtSi 256×256 IRCCD微型化封装技术研究[J];半导体光电;2000年S1期
8 熊平,周旭东,邓光华,李作金,王颖,李华高,袁礼华,蒋志伟;512×512元PtSi肖特基势垒IR CCD图像传感器[J];半导体光电;2003年03期
9 刘月明,田维坚,刘君华;硅微悬臂梁谐振器的电激电拾方法研究[J];半导体光电;2003年06期
10 熊平;CCD与CMOS图像传感器特点比较[J];半导体光电;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 刘梦伟;佟建华;王兢;董维杰;崔天宏;王立鼎;;改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
2 荣伟彬;孙立宁;陈立国;蔡鹤皋;;面向微小零件装配的微操作机器人的研究[A];2003中国控制与决策学术年会论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 窦亚玲;基于直觉模糊集的多约束网络路由决策方法研究[D];华中科技大学;2010年
2 梁桥康;特殊应用的多维力/力矩传感器研究与应用[D];中国科学技术大学;2010年
3 张冬至;静电及电场诱导自组装碳纳米管/聚合物薄膜制备、表征、测试与器件开发研究[D];华南理工大学;2011年
4 张峰;磁流变抛光技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
5 朱恂;速度滑移及温度跳跃区微尺度通道内的流动与换热[D];重庆大学;2002年
6 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
8 周晓泉;复杂边界条件下的三维紊流数值模拟研究[D];四川大学;2003年
9 高峰;流动矢量主动控制的微射流技术研究[D];西北工业大学;2003年
10 丁英涛;表面效应对微管道中气体流动特性的影响[D];清华大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;基于MIMU的捷联惯性导航系统数据采集与处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
3 王晓立;电容式位移传感器研究[D];湘潭大学;2010年
4 刘凉;3-RRRU并联机器人运动学控制的研究[D];天津理工大学;2010年
5 梅凡;三自由度并联机器人精度分析与综合[D];天津理工大学;2010年
6 李耀斌;三自由度并联机器人运动学分析[D];天津理工大学;2010年
7 刘茂森;毫米波雷达探测性能受降雨影响分析软件的设计[D];西安电子科技大学;2011年
8 李卓;基于编辑图的XML相似性研究[D];吉林大学;2011年
9 杨凯和;基于毫米波雷达的汽车主动防撞预警系统信号分析与处理[D];吉林大学;2011年
10 胡磊磊;超精密加工中的刀具补偿驱动平台及熨压机构的研究[D];吉林大学;2011年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王沫然,陈泽敬,李志信;微气体流量计的模拟与优化[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 杨树明,朱强,赵则祥,蒋庄德;纳米压入法测量中初始接触点判断问题研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 敖宏瑞;姜洪源;杨胡坤;;微通道交流电渗粒子收集位置的确定[J];微纳电子技术;2009年02期
4 田桂中;陈涛;王淑妍;刘志强;;生物工程中自动化显微注射技术研究进展[J];微纳电子技术;2011年08期
5 王竹萍;仲顺安;丁英涛;马永旺;;可压缩气体合成喷射流数值模拟[J];北京理工大学学报;2011年03期
6 罗元;蒋秋照;张毅;;一种用于MEMS动态测量的最优盒计数分形维数算法[J];重庆邮电大学学报(自然科学版);2012年02期
7 商福民;董伟;;局域非平衡条件下微尺度超常传热特性及研究进展[J];长春工程学院学报(自然科学版);2007年03期
8 张淼;陈庆文;;结构拓扑及参数优化研究的发展[J];长春工程学院学报(自然科学版);2010年04期
9 关乐;褚金奎;王晓东;张段芹;王立鼎;;系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用[J];传感技术学报;2006年05期
10 陈伟平;韩天;赵振刚;刘晓为;孙立宁;曹伽牧;;一种微机械加速度计的自检测特性研究[J];传感技术学报;2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 秦晓丽;赵新;车秀阁;方勇纯;;超微量定量显微注射建模与自适应控制[A];中国自动化学会控制理论专业委员会B卷[C];2011年
2 徐加山;郭涛;孙宏明;郭航;;一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
3 权俊杰;张建斌;;包装纸盒艺术在机构创新设计中的应用[A];2007年学术年会论文集[C];2007年
4 林伟青;;聚合物微流体芯片微压印脱模温度研究[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
5 刘亮;饶进军;;便携式无人飞行器位姿信息融合[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
6 王灵婕;林吉申;;功能材料在MEMS中的应用及进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7 权俊杰;张建斌;;折纸艺术在机构创新设计中的应用[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
8 蒋庄德;;从宏观到微观-微纳制造技术研究进展[A];陕西省机械工程学会第九次代表大会会议论文集[C];2009年
9 朱建栋;曾林锁;谢德馨;张艳丽;;特殊磁场定位测量系统的研究和应用[A];电工理论与新技术学术年会论文集[C];2005年
10 张以谟;井文才;唐峰;柳葆;;MEMS光开关应用于机群系统光互连网络[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 吴健荣;蒸汽发生器检修机器人样机研制及其关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
2 张克涛;变胞并联机构的结构设计方法与运动特性研究[D];北京交通大学;2010年
3 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
4 乔赫廷;连续体结构拓扑优化模型讨论及其应用[D];大连理工大学;2011年
5 孟兆新;木材干燥的多场耦合建模仿真与优化研究[D];东北林业大学;2011年
6 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
7 吴俊芳;小尺寸视觉二维精密检测理论与方法[D];华南理工大学;2011年
8 薛凯峰;微机电系统多维无线能量传输技术的研究与应用[D];华南理工大学;2011年
9 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
10 李耀伍;机电集成静电谐波微马达动力学特性研究[D];燕山大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 李鹏;基于MSP430的汽车轮胎压力监测系统[D];山东科技大学;2010年
3 赵进科;正交三自由度并联机构动力学分析[D];郑州大学;2010年
4 张斌;基于MIMU的捷联惯性导航系统数据采集与处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 马汉增;微惯性组合惯导系统技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
6 金阿鑫;微小型车载惯性/GPS组合导航系统技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
7 闫鑫;基于抗差估计的GPS/MIMU组合导航滤波算法研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 肖昌怡;基于MEMS的导航系统设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
9 贺鸿迪;微型燃料电池环氧封装结构蠕变特性影响研究[D];大连理工大学;2010年
10 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 赵志诚;传感器的科技攻关与技术发展[J];仪表技术与传感器;1997年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张西慧,梁春广;微机电系统技术进展[J];河北工业大学学报;2003年05期
2 ;香港特区政府拨款开发非硅微制造技术[J];机电工程;2003年03期
3 关亚风,陈殿生,李灵娥,周良模;微型集成化色谱仪[J];分析测试技术与仪器;1995年01期
4 王晓光;陈明;焦满囤;李东阳;;微小型卫星中的微制造技术研究[J];机床与液压;2006年09期
5 谢国章;微机电一体化[J];机械设计与制造工程;1994年03期
6 孙松亭 ,高洪文 ,孙广贵 ,宋士鸿;微机电子天平的研制[J];沈阳工业大学学报;1985年04期
7 高群钦,张家玺;柴油机微机电控系统发展概况[J];汽车电器;1996年01期
8 张纯学 ,王培;更小、更轻、更廉价的微机电系统[J];飞航导弹;2001年11期
9 方自力;;微机远动无功负荷自动补偿装置[J];华东电力;1993年04期
10 廖树生,龙浩飞,王建文;分布式微机电力调度自动化系统的应用[J];冶金动力;1994年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐向兰;;激光加工在微制造技术中的应用[A];全国先进制造技术高层论坛暨第八届制造业自动化与信息化技术研讨会论文集[C];2009年
2 逢坂哲弥;;电子领域中的电镀及化学镀微制造技术 我们量近在电化学纳米技术方面的一些成果[A];2005年上海市电镀与表面精饰学术年会论文集[C];2005年
3 郑泉水;;Ultrafast CNT-based NEMS--Experiments,Simulations,and Transphonon Effects[A];2005年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集[C];2005年
4 郑泉水;徐志平;江博;王立峰;;碳纳米管超快纳机电系统——实验、模拟和跨声子现象[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(上)[C];2005年
5 陈芳瑜;陈焱;;微机电脑治疗小儿厌食[A];全国中西医结合儿科第十次学术会议论文集[C];2002年
6 李敬锋;;材料微细制备技术及其在MEMS元器件中的应用[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
7 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
8 潘开林;;基于表面张力作用的MEMS自组装技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
9 高杨;;微机电安全密码锁的设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
10 刘惠兰;林恒;李莉;张春熹;;光学加速度计的技术及发展[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 宋丁仪 DigiTimes;台积电投入微机电代工[N];电子资讯时报;2007年
2 记者 乐言 北京;意法调拨8英寸厂专产MEMS[N];电子资讯时报;2007年
3 志宏 何英 俊卿 惠文 王浩 建军;我国首条高科技微机电工程在惠丰公司奠基[N];长治日报;2006年
4 宋丁仪;手机将成微机电兵家必争之地[N];电子资讯时报;2007年
5 宋丁仪 DigiTimes;意法抢攻大中华市场 以8英寸厂生产MEMS[N];电子资讯时报;2007年
6 信息产业部电子五所 朱文立;国产微机电磁兼容性能不容乐观[N];中国电子报;2000年
7 范世福;分析仪器发展应顺应现代科技趋势[N];中国机电日报;2001年
8 宋丁仪 DigiTimes;X-Fab产能利用率飙升[N];电子资讯时报;2007年
9 李洵颖 DigiTimes;Wii旋风催动MEMS应用[N];电子资讯时报;2007年
10 李洵颖;Wii、iPhone刮旋风 微机电应用窜红[N];电子资讯时报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 曹宇;激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究[D];华中科技大学;2009年
2 石锦霞;软刻蚀技术在高分子科学中的应用[D];中国科学技术大学;2008年
3 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
4 王慧泉;基于场效应管检测的新型纳机电谐振器基础研究[D];浙江大学;2008年
5 杨铎;聚合物熔体表面效应与平板微器件的注塑成型研究[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李强;微机电台阶测量仪系统设计与研究[D];国防科学技术大学;2004年
2 马尚昌;微机电力系统故障诊断与控制系统[D];电子科技大学;2000年
3 邓扬明;基于准LIGA技术制作微齿轮的研究[D];北京工业大学;2005年
4 徐志健;基于BCI的生物机器人智能导航系统的研究[D];浙江大学;2007年
5 钱默抒;用于舰载无人机回收的惯导测高系统研究[D];南京航空航天大学;2007年
6 何熙;红外微测辐射热计结构优化设计与制备[D];厦门大学;2008年
7 胡国兵;微惯性舰体升沉高度测量算法仿真及数据采集系统的研究[D];南京航空航天大学;2005年
8 孙磊厚;空间曲线啮合轮传动机构的制造工艺研究[D];华南理工大学;2011年
9 杨跃;红外热辐射计结构优化设计与器件制备[D];北京邮电大学;2012年
10 殷伯华;准分子激光微加工控制系统研究[D];北京工业大学;2003年
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