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《电加工与模具》 2008年05期
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精密微小孔加工技术进展

马星辉  高国富  赵波  董小磊  
【摘要】:介绍了国内外精密微小孔加工技术的现状、应用和发展方向,并列举了多种加工方法,包括传统机械加工、特种加工和复合加工。重点介绍了特种加工技术在精密微小孔加工中的应用,由于其加工精度高、生产成本低、应用范围广,特别适合于加工硬脆等难加工材料,因而是精密微小孔加工的发展方向。同时,还针对不同微小孔加工方法中的不足,介绍了相应的解决办法。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 徐梦廓;丁黎光;李书平;陈佰江;;激光在高密度PCB制造中的应用研究[J];电加工与模具;2009年03期
2 唐英;陈泽;吴权;;淬硬钢高速微小孔钻削工艺试验研究[J];工具技术;2011年02期
3 丁黎光;徐梦廓;;高密度PCB对CO_2激光吸收率的应用研究[J];广西工学院学报;2010年01期
4 齐加胜;张小蓉;韩星;董伟锋;周宝圣;;立体织物精密微小孔板的设计加工技术研究[J];玻璃纤维;2012年01期
5 唐英;陈泽;吴权;;铝合金高速微小孔钻削工艺[J];航空制造技术;2011年05期
6 张昭瑞;朱磊;黄燕华;谢军;梅鲁生;;柱腔上微孔电火花加工技术[J];科学技术与工程;2012年01期
7 张欣耀;朱荻;曾永彬;刘勇;;精密微小孔的电解—磨削复合扩孔加工技术研究[J];中国机械工程;2010年08期
8 王恪典;段文强;梅雪松;王文君;赵书兴;;毫秒激光加工小孔与重铸层的后处理工艺[J];西安交通大学学报;2011年07期
9 张毅;顾小林;王惠生;范维成;王耀华;;数控车床加工φ0.1mm微孔工艺技术研究[J];制造技术与机床;2011年07期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 贾男;微小孔电火花加工排屑方法及振动器研究[D];大连理工大学;2010年
2 张欣耀;精密微小孔电解磨削复合扩孔加工技术研究[D];南京航空航天大学;2009年
3 肖令权;异形光学元件加工技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
4 孙毅;活动模板微小群孔电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2009年
5 贾继欣;基于盐溶液的微小孔电液束加工技术研究[D];南京航空航天大学;2011年
6 韩善果;开放式精密激光切割数控系统研究[D];华南理工大学;2011年
7 孟冬;基于微细球头状电极的微小孔电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 马超;雷玉勇;邱刚;;水射流技术在集成电路制造工艺中的应用[J];半导体技术;2007年10期
2 贾宝贤,王振龙,赵万生;基于特种加工的微小孔加工技术[J];电加工与模具;2005年02期
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4 王玉英;;飞秒光纤激光器及其在微细加工中的应用[J];光机电信息;2007年11期
5 李锡峰;横内弘宇;;印刷电路板微孔加工的问题及发展[J];工具技术;1993年05期
6 朱晓翠;韩雪冰;赵云飞;杨玫;;变进给量振动钻削提高微小孔加工质量的分析[J];工具技术;2006年04期
7 张成光;缪娟;刘传绍;符德学;赵波;;脉冲电化学加工现状与进展[J];工具技术;2007年02期
8 雷卫宁,朱荻;微细孔电加工技术[J];航空精密制造技术;2001年03期
9 李志永;季画;;电解加工在微细制造技术中的应用研究[J];机械设计与制造;2006年06期
10 艾冬梅,贾志新;小孔加工技术发展现状[J];机械工程师;2000年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张辽远,刘尧;电化学加工微电极的工艺研究[J];兵工学报;2005年01期
2 刘壮;邱中军;衡冲;;基于阴极周期往复运动的微细电解加工系统[J];传感器与微系统;2009年03期
3 贾宝贤,王振龙,赵万生;基于特种加工的微小孔加工技术[J];电加工与模具;2005年02期
4 吴品;裴景玉;邓容;;电火花深小孔加工的实验研究[J];电加工与模具;2007年01期
5 翁明浩;王振龙;;微细阵列方形轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究[J];电加工与模具;2007年05期
6 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
7 马晓宇;李勇;吕善进;胡满红;;加工间隙内电解产物对微细电解加工的影响分析[J];电加工与模具;2008年06期
8 李建功;许加利;裴景玉;;基于Fluent电火花深小孔加工间隙流场的研究[J];电加工与模具;2009年02期
9 刘向蕾;朱荻;曾永彬;刘勇;黄绍服;;电解磨削复合加工精密扩孔研究[J];电加工与模具;2009年02期
10 周彪;王续跃;李建丽;梁延德;赵福令;;小孔的等面积分流法电火花加工试验研究[J];电加工与模具;2009年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 魏星;;面向先进性材料的超声加工技术[A];2008年电子机械与微波结构工艺学术会议论文集[C];2008年
2 徐锋;朱建军;臧小俊;吴欣;左敦稳;;雷达关键零件铣削参数优化及其数据库建设的关键技术[A];中国电子学会电子机械工程分会2009年机械电子学学术会议论文集[C];2009年
3 翁明浩;王振龙;;微阵列轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
4 李诚;刘传绍;;超声无磨料抛光硬质合金刀头修磨装置的设计[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
5 伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
6 陈西平;付庄;;压电型惯性冲击式二自由度位移机构[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
7 连海山;何建文;郭钟宁;张永俊;赵文凤;;多功能数控超声加工机床设计[A];第11届粤港机械电子工程技术与应用研讨会论文汇编[C];2010年
8 毛浩恩;张双杰;曾富铭;鲁素玲;李军;;深小锥孔件开式冷挤压成形极限的理论分析[A];第九届全国塑性工程学术年会、第二届全球华人先进塑性加工技术研讨会论文集(一)[C];2005年
9 李诚;刘传绍;;超声无磨料抛光硬质合金刀头修磨装置的设计[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
10 伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
3 玛嘎拉;高速微孔钻床主轴系统及钻头的动态特性研究[D];吉林大学;2005年
4 刘建芳;压电步进精密驱动器理论及实验研究[D];吉林大学;2005年
5 周明;微细电火花加工放电状态辨识与预测的理论和方法[D];大连理工大学;2006年
6 曾伟民;旋转超声钻削先进陶瓷的基础研究[D];华侨大学;2006年
7 张耀满;高速机床若干关键技术问题研究[D];东北大学;2006年
8 张洪丽;超声振动辅助磨削技术及机理研究[D];山东大学;2007年
9 刘德福;光纤连接器端面研磨抛光机理与规律研究[D];中南大学;2008年
10 权哲浩;纳米级步进压电微动台结构设计与性能分析研究[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李义辉;超声无磨料内圆抛光声学系统及抛光工艺研究[D];河南理工大学;2010年
2 贾男;微小孔电火花加工排屑方法及振动器研究[D];大连理工大学;2010年
3 安成明;微细超声加工装置及基础工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
4 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
5 宋曼;活动模板电解加工微小凹坑阵列研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 张欣耀;精密微小孔电解磨削复合扩孔加工技术研究[D];南京航空航天大学;2009年
7 杨培剑;电液束加工微小凹坑阵列技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 于强;微细铣削机床伺服特性优化及试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
10 朱成康;微细螺旋孔电解加工成型仿真技术研究[D];浙江工业大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 傅岳鹏;谭凯;田民波;;电子封装技术的最新进展[J];半导体技术;2009年02期
2 彭良强,徐韬光,韩勇,伊福廷,张菊芳;质子LIGA工艺的探讨[J];微纳电子技术;2002年05期
3 伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇;利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟;微机电系统的微细加工技术[J];微纳电子技术;2004年11期
5 李志永;朱荻;;叶片电解加工阴极设计CAD/CAE/CAM专家系统[J];北京航空航天大学学报;2006年01期
6 杜炳志;漆红兰;;电化学抛光技术新进展[J];表面技术;2007年02期
7 刘宏;向寓华;刘碧雄;;铝型材粉末静电喷涂生产工艺条件优化[J];表面技术;2009年01期
8 ;不锈钢化学研磨抛光技术及应用[J];表面工程资讯;2003年05期
9 刘壮;邱中军;衡冲;;基于阴极周期往复运动的微细电解加工系统[J];传感器与微系统;2009年03期
10 汪轩义,吴荫顺,张琳,曹备;不锈钢钝化膜研究进展[J];材料导报;1999年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 朱荻;张朝阳;明平美;曾永彬;王明环;;微细电化学加工技术的研究与发展[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 冯冬菊;超声波铣削加工原理及相关技术研究[D];大连理工大学;2006年
3 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 吕善进;激光加工数控系统及状态监测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
5 卢全国;基于GMM的微致动研究及应用[D];武汉理工大学;2007年
6 徐正扬;发动机叶片精密电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
7 郑新毅;深微孔电火花加工关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 武丹;超磁致伸缩执行器及其控制技术研究[D];大连理工大学;2000年
2 傅龙珠;稀土超磁致伸缩致动器的设计及实验研究[D];浙江大学;2003年
3 辛凤兰;高质量激光打孔技术的研究[D];北京工业大学;2006年
4 徐杰;超磁致伸缩执行器的设计方法研究及其测控系统的建立[D];浙江大学;2006年
5 吴品;旋转电极的电火花孔加工实验研究[D];上海交通大学;2007年
6 苗淑杰;光学非球面零件气囊抛光去除机理及试验研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
7 薛淼;超磁致伸缩材料在换能器中的应用研究[D];内蒙古科技大学;2007年
8 高升晖;微细及小孔电火花加工的关键技术研究[D];大连理工大学;2008年
9 马坤;超声波在清洗技术中的研究[D];山东大学;2008年
10 翁明浩;微细阵列轴孔的电火花和电化学加工工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 唐英;张大勇;;切削颤振研究的关键技术与进展综述[J];工具技术;2011年08期
2 齐加胜;张小蓉;韩星;董伟锋;周宝圣;;立体织物精密微小孔板的设计加工技术研究[J];玻璃纤维;2012年01期
3 全晓春;;基于多用途高精加工一体机的研制[J];甘肃科技;2012年09期
4 王咏梅;;0.5mm间距BGA芯片的PCB设计[J];印制电路信息;2012年03期
5 黄雨新;何为;胡友作;徐缓;覃新;罗旭;陈世金;王科成;;激光在印制电路板制造中应用的新进展[J];印制电路信息;2012年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 徐梦廓;激光加工高密度PCB的研究[D];广西工学院;2010年
2 李晓霞;射流电解小尺寸三维工艺研究[D];西安工业大学;2012年
3 胡辉;TC4合金小孔的电火花快速加工试验及有限元仿真[D];大连理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨继先,郭伟光,杨素梅,张永宏;陶瓷材料超声振动车削实验研究[J];兵工学报;1995年01期
2 杨继先,张永宏,杨素梅,郭伟光,郝利兵;陶瓷深孔精密高效加工的新方法──超声振动磨削[J];兵工学报;1998年03期
3 张德远;振动切削的精密微细切削特性[J];北京航空航天大学学报;1993年04期
4 张建中;李秀人;;超声波激振刀具镗孔的试验研究[J];电加工;1991年04期
5 金长善,代树武,朱武,赵空勤;喷丝板超声波电火花磨料三元复合加工[J];电加工;1998年01期
6 王建业;电解加工技术的新发展——高频窄脉冲电流电解加工[J];电加工;1998年02期
7 朱荻;国外电解加工的研究进展[J];电加工与模具;2000年01期
8 杨晓辉,增泽隆久;采用工件加振方式的微细超声加工特性的研究[J];电加工与模具;2000年03期
9 赵福令,史俊才,冯冬菊,郭东明;超声铣削机床数控系统研究[J];电加工与模具;2001年03期
10 曹国辉 ,庞滔 ,赵万生;模具型腔复合光整加工工艺的研究[J];电加工与模具;2001年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢留传;陈建民;;先进硬脆性材料复合加工技术的发展[J];国防制造技术;2009年06期
2 马星辉;高国富;赵波;董小磊;;精密微小孔加工技术进展[J];电加工与模具;2008年05期
3 黄春峰,赖传兴,陈树全;现代特种加工技术的发展[J];机械工人.冷加工;2001年11期
4 王至尧;特种加工技术在航天工业中的应用[J];机械工人.冷加工;1994年10期
5 赵家齐,郭永丰,刘永红,赵万生;用于纳米级加工的特种加工技术[J];仪器仪表学报;1995年S1期
6 ;第13届全国特种加工学术会议征文通知[J];电加工与模具;2009年01期
7 郭东明,邹国林,赵福令;面向快速制造的特种加工技术进展[J];世界制造技术与装备市场;2002年05期
8 ;第12届全国特种加工学术会议 征文通知[J];电加工与模具;2007年03期
9 ;第12届全国特种加工学术会议征文通知[J];电加工与模具;2007年01期
10 ;第14届全国特种加工学术会议征文通知[J];电加工与模具;2011年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王至尧;;特种加工技术的发展及在航空航天技术中的应用[A];第七届全国电加工学术年会论文集[C];1993年
2 黄春峰;;先进硬脆性材料复合加工技术的发展[A];大型飞机关键技术高层论坛暨中国航空学会2007年学术年会论文集[C];2007年
3 曹德君;戈迎喜;;车磨复合加工技术在航空业的应用[A];第三届民用飞机先进制造技术及装备论坛论文汇编[C];2011年
4 陈国文;;车铣复合加工技术在航空业内应用与展望[A];第二届民用飞机制造技术及装备高层论坛资料汇编(论文集)[C];2010年
5 蒋亨顺;迟恩田;;国内电火花成形加工技术发展方向探讨[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6 赵万生;顾琳;康小明;蒋毅;李磊;王丹;段君毅;;从ISEM-XV看特种加工技术的最新进展[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
7 徐波;干为民;安静;赵志芳;;难加工材料的电解机械复合钻削加工研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
8 赵万生;顾琳;康小明;蒋毅;李磊;王丹;段君毅;;从ISEM-XV看特种加工技术的最新进展[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
9 陈玉财;王希;廖东庭;刘李兵;吴斐;;铣削-电解新型复合加工可行性研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
10 金庆同;余承业;;探讨赶上国际水平的途径[A];第七届全国电加工学术年会论文集[C];1993年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 赵世亮;复合加工中与油墨相关的故障[N];中国包装报;2005年
2 ;国外高能束流加工技术发展概况[N];机电商报;2009年
3 尧文;高温高湿环境下复合加工应注意的事项[N];中国包装报;2010年
4 张宗;高温高湿环境下复合加工应注意事项[N];中国包装报;2010年
5 朱立平 徐正平;可加工骨科植入件的车铣复合加工中心面世[N];中国工业报;2009年
6 穆东辉;复合加工机床应运而生 厂家需强化售后服务[N];中国工业报;2007年
7 周军;复合加工:机床发展的重要方向 [N];中国工业报;2004年
8 李霞;大连东信致力于促进我国经济适用型复合加工机床的发展[N];中国高新技术产业导报;2006年
9 李霞;复合加工数控机床在大连研制成功[N];中国高新技术产业导报;2005年
10 本报记者 杨红英;新兴机床潜力市场[N];中国工业报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 纪仁杰;绝缘及弱导电工程陶瓷电火花铣磨复合加工技术及机理研究[D];中国石油大学;2011年
3 张厚江;碳纤维复合材料(CFRP)钻削加工技术的研究[D];北京航空航天大学;1998年
4 胡玉景;超声振动—磨削—脉冲放电复合加工技术及其智能控制的研究[D];山东大学;2006年
5 徐明刚;超声振动—气体介质电火花复合加工技术及机理研究[D];山东大学;2007年
6 杨卫平;超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
7 闫鹏;超声振动辅助磨削—脉冲放电复合加工及其控制技术研究[D];山东大学;2009年
8 任升峰;烧结Nd-Fe-B永磁材料加工新技术及机理研究[D];山东大学;2006年
9 马利杰;轴向振动钻削机理及其工艺效果实验研究[D];江苏大学;2007年
10 程祥;新型复合加工中心创新设计方法研究[D];西安理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘阳;面向石材制品的复合加工理论及应用研究[D];山东大学;2010年
2 张树彩;超声电火花线切割复合加工的研究[D];大连理工大学;2005年
3 张峰;复合加工数控系统的构建与模糊控制的研究[D];山东大学;2005年
4 杨琳;数控车铣复合加工程序仿真系统研究[D];重庆大学;2010年
5 肖海兵;复合加工图形参数化自动编程系统的研究[D];兰州理工大学;2010年
6 刘歆;电火花电解断续磨削复合加工新方法研究[D];山东科技大学;2003年
7 余毅权;激光脉冲电解射流复合加工技术试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
8 宋中权;玻璃纤维增强复合材料钻削加工试验研究[D];南京理工大学;2011年
9 吴笑天;基于磁控溅射技术的典型零件复合加工方法研究[D];南京理工大学;2011年
10 冯博;铣车复合加工中心直驱转台的热特性研究[D];兰州理工大学;2012年
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