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《电加工与模具》 2007年01期
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微细群电极的加工及其封装技术

曾伟梁  王振龙  
【摘要】:介绍了微细群电极的应用情况,分别给出了LIGA方法、电火花超声复合反拷加工法和电火花线切割加工法制作群电极的工作原理,并对这些工艺的特点进行了归纳,给出了具有代表性的加工实例,最后介绍了微细群电极的封装技术。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 周晓光;马莹;韩福柱;祝明德;;基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工[J];电加工与模具;2008年02期
2 胡洋洋;朱荻;李寒松;曲宁松;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术[J];光学精密工程;2010年03期
3 古文才;郭钟宁;于兆勤;刘小康;;微细阵列孔加工技术及其应用[J];机电工程技术;2008年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
2 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 吴赵兵;基于静电感应的微细电火花线切割加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 马莹;微细电火花五轴数控系统及其加工试验研究[D];北京邮电大学;2008年
3 李含林;微喷阵列孔电火花加工多模式脉冲电源系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
4 陈二明;微喷部件阵列孔电火花加工机床的孔加工工艺试验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 董德生;曾伟梁;杭观荣;王振龙;;群孔的微细电火花加工技术研究[J];电加工与模具;2006年02期
2 狄士春;黄瑞宁;迟关心;赵万生;;微细电火花线切割加工关键技术[J];机械工程学报;2006年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 周晓光;马莹;韩福柱;祝明德;;基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工[J];电加工与模具;2008年02期
2 丁维育;汪炜;刘正埙;张伟;陈建宁;;硅阵列通孔微细电火花加工试验研究[J];电加工与模具;2009年06期
3 黄永逸;白基成;朱国征;李浩洲;;微喷部件阵列孔电火花加工工艺试验研究[J];电加工与模具;2012年04期
4 古文才;郭钟宁;于兆勤;刘小康;;微细阵列孔加工技术及其应用[J];机电工程技术;2008年10期
5 吴琼;蔡安江;;基于非线性回归模型的线切割工艺参数优化分析[J];制造业自动化;2011年17期
6 黄瑞宁;楼云江;;微细线切割电极丝形位误差分析[J];哈尔滨工业大学学报;2012年03期
7 孙毅;曲宁松;李寒松;李冬林;刘建;;微小群孔阵列的照相电解加工技术研究[J];机械制造与自动化;2009年02期
8 强怀博;吴琼;;线切割工艺参数优化的非线性回归模型[J];西安工业大学学报;2011年07期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
2 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
3 丁维育;汪炜;刘正埙;张伟;陈建宁;;硅阵列通孔微细电火花加工试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
4 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马虎亮;微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 吴赵兵;基于静电感应的微细电火花线切割加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 杨志伟;微凸起和微坑结构的特种加工成形技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
5 马莹;微细电火花五轴数控系统及其加工试验研究[D];北京邮电大学;2008年
6 张志航;微细电火花线切割表面三维形貌及功能评定研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
7 楼晓波;电火花成型机床结构的动态特性分析及优化[D];浙江工业大学;2009年
8 陈二明;微喷部件阵列孔电火花加工机床的孔加工工艺试验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 李强;微喷部件群孔数控电火花加工机床脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 刘东平;基于表面分块的微细电火花三维表面粗糙度研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张文峰,朱荻;基于特种加工的镜面抛光新技术[J];表面技术;2003年04期
2 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
3 徐小兵,毛利尚武;日本电火花加工技术的发展动态[J];电加工与模具;2003年01期
4 于云霞;微细电火花加工技术的最新进展及应用实例[J];电加工与模具;2003年04期
5 赵万生,李文卓,王振龙;高精度微细电火花加工系统的研制[J];电加工与模具;2004年01期
6 贾宝贤,王振龙,赵万生;用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴[J];电加工与模具;2004年03期
7 狄士春,姜吉涛,黄瑞宁,迟关心;微小齿轮模具的微细电火花线切割加工研究[J];电加工与模具;2004年06期
8 王旭亮,谷安,刘新华;低速走丝电火花线切割机ISO代码的后置处理[J];电加工与模具;2005年02期
9 唐勇军,胡富强,王振龙,赵万生;微细电火花加工技术的最新进展[J];电加工与模具;2005年S1期
10 董德生;曾伟梁;杭观荣;王振龙;;群孔的微细电火花加工技术研究[J];电加工与模具;2006年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 许爱芬;杨胜奎;王鹏;黄勇;钱继锋;;C功能刀具半径补偿的优化算法[A];先进制造技术论坛暨第五届制造业自动化与信息化技术交流会论文集[C];2006年
2 李勇;崔晶;李向阳;鲁培;佟浩;陈旭鹏;;微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 曾伟梁;微细阵列电极阵列孔的组合电加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 郭晋峰;基于RTLinux的数控系统关键技术研究及软件开发[D];华侨大学;2001年
2 吴寒;基于RTLinux的开放式数控系统设计与实现[D];华侨大学;2002年
3 朱顺先;基于LINUX的PCNC系统的实现及其DNC系统的集成研究[D];南京航空航天大学;2004年
4 张宝亚;基于Windows平台的高速走丝线切割机数控系统的设计和开发[D];南京航空航天大学;2004年
5 董德生;阵列轴孔的微细超声电火花复合加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 董涛;卧式微小型电火花加工装置设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 任海滨;微细电火花线切割加工工艺规律研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 李建功;基于流场分析的微细电火花深小孔加工的研究[D];上海交通大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 李光杨;汪红;谭姣姣;杨卓青;姚锦元;丁桂甫;;提高微结构表面在镀液中的润湿性[J];微纳电子技术;2010年11期
2 孙术发;韦东波;狄士春;尤号田;于敏;王泽丽;张春阳;;一种测量微细电火花机床杂散电容的方法[J];电加工与模具;2011年04期
3 明平美;李英杰;王艳丽;王书卿;姜无疾;;微细电铸法制造高开孔率精细网片[J];电加工与模具;2011年04期
4 于同敏;黄晓超;包成;祝思龙;;基于高速铣削的微细电极加工方法[J];电加工与模具;2011年06期
5 杜立群;李成斌;李永辉;于同敏;;超声时效技术在微注塑模具制作中的应用[J];光学精密工程;2012年06期
6 张朝阳;李中洋;王耀民;毛卫平;;激光冲击效应下的力学电化学微细刻蚀加工[J];光学精密工程;2012年06期
7 徐斌;伍晓宇;凌世全;吴世云;罗烽;杜晨林;孙秀泉;;飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构[J];光学精密工程;2012年08期
8 潘涌;骆公序;安博言;陈俊;姜兆华;;折射式扫描系统设计及应用[J];应用激光;2012年03期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
2 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
3 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 安成明;微细超声加工装置及基础工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
2 于强;微细铣削机床伺服特性优化及试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 马虎亮;微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 吴赵兵;基于静电感应的微细电火花线切割加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 李含林;微喷阵列孔电火花加工多模式脉冲电源系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
6 陈二明;微喷部件阵列孔电火花加工机床的孔加工工艺试验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 李强;微喷部件群孔数控电火花加工机床脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
8 许龙芳;聚合物微流控芯片压印成型模具关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 黄晓超;基于超声振动的微圆柱阵列塑件填充性能[D];大连理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 贾宝贤,王振龙,赵万生;用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴[J];电加工与模具;2004年03期
2 宋小中,刘正埙,高长水;电火花微细加工技术及其发展[J];航空精密制造技术;1996年02期
3 李文卓,赵万生,于云霞;微细电火花加工的关键技术分析[J];石油大学学报(自然科学版);2002年03期
4 王振龙,赵万生,迟关心,刘光壮;微三维结构型腔的微细电火花加工[J];微细加工技术;2000年01期
5 刘维东,狄士春,赵万生;电火花加工技术的新发展[J];中国机械工程;1998年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 缪宏;左敦稳;王珉;张瑞宏;;10Ni3MnCuAl钢加工表面析出硬化层的性能研究[J];功能材料;2011年S2期
2 吴岐山;康小明;赵万生;吴金生;李林洮;;高速平动台辅助液中喷气电火花铣削试验探究[J];电加工与模具;2011年04期
3 孙小丽;袁光明;;轮胎模具的加工工艺方法[J];机械工程与自动化;2011年04期
4 张高萍;郭光宜;赵灵;;硬质合金电火花加工性能的试验研究[J];现代制造工程;2011年08期
5 石磊;;浅谈电参数对石墨电极相对损耗的影响[J];电大理工;2011年02期
6 张庆森;张桂香;;电火花成型加工的分类耦合模糊控制[J];山东理工大学学报(自然科学版);2011年03期
7 文武;王西彬;李忠新;蒙爱萍;伍懿;;冲液对电火花加工电极损耗的影响研究[J];系统仿真学报;2011年07期
8 李惠民;;电火花加工高精度小孔专用夹具的基本结构与加工难点[J];机电信息;2011年21期
9 谢志平;权变利;;基于信噪比的电火花加工Ti-6Al-4V加工工艺参数优化[J];煤矿机械;2011年08期
10 方莉俐;张洋;刘士国;;电铸超薄金刚石刀具的研制及应用[J];人工晶体学报;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 梁速;徐辉;陈默;康小明;赵万生;卢智良;万符荣;吴强;吴国兴;朱宁;;5轴联动电火花加工数控系统研制[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
2 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 赵万生;郭永丰;耿春明;;国外电火花加工最新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 张云鹏;孙广标;张安洲;;超声磨料对TC4钛合金电火花加工表面质量的影响[A];陕西省机械工程学会特种加工分会第九届学术年会论文集[C];2010年
5 任连生;郭妍;刘萍;庞宇;;电火花加工中专用步进电机控制系统研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
6 王润仓;;高速电火花加工小孔的发展及应用实例[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年
7 王津;韩福柱;卢建鸣;赵福令;;抬刀过程中加工屑运动规律的观察[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
8 李耕;;金刚石磨轮的电火花成形磨削加工[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
9 王振龙;杨晓冬;崔景芝;;基于多Agent的电火花加工智能系统的研究[A];2002年黑龙江省机械工程学会年会论文集[C];2002年
10 胡富强;胡丁;赵万生;钱志强;孟庆国;王扬;;高熔点材料混粉电火花加工的研究[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 杨红英;应急之需 新厂房为年产千台作保障[N];机电商报;2005年
2 王艳 赵峰;服务油泵油嘴行业 鲁南机床系列专机受青睐[N];机电商报;2008年
3 本报记者 兰海侠;电加工机床前景看好 国内电加工行业呼唤产业升级[N];机电商报;2008年
4 袁伟;一航黎阳转包生产进入快速发展期[N];中国航空报;2006年
5 刘献礼;PCBN刀具在中国市场的应用现状与思考[N];机电商报;2005年
6 本报记者 陈蕾;深耕十载 鲁南机床谋为发动机加工提供成套设备[N];机电商报;2007年
7 本报记者 王家东;孚尔默:以策略引领电加工机床市场[N];机电商报;2005年
8 本报记者 李志;做知识型的产业工人[N];辽宁日报;2008年
9 徐正平郑欢欢;新款石墨加工中心亮相国际模具展[N];中国工业报;2008年
10 张晶 刘希明 周世杰;勇于挑战的“80后”冠军[N];中国职工科技报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李磊;集束电极电火花加工性能研究[D];上海交通大学;2011年
2 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
3 郑新毅;深微孔电火花加工关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
4 赵伟;电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究[D];西北工业大学;2003年
5 谷安;四轴电火花数控系统的开发及研究[D];南京航空航天大学;2002年
6 方宇;液中放电沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 张旻;电加工用Cu-ZrB_2复合镀层的制备及其电加工性能研究[D];大连理工大学;2006年
8 徐明刚;超声振动—气体介质电火花复合加工技术及机理研究[D];山东大学;2007年
9 金柏冬;气中微细电火花沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 于丽丽;非导电工程陶瓷双电极同步伺服放电加工机理及应用研究[D];中国石油大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 白军军;气中电火花单脉冲加工温度场及应力场的有限元仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 马洪驹;微细倒锥孔电火花加工机构设计及其实验研究[D];清华大学;2010年
3 王辉;混粉电火花加工中粉末效应的研究[D];大连理工大学;2005年
4 袁方;电火花深孔套料加工研究[D];西安石油大学;2010年
5 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
6 冀震晓;钛合金电火花加工脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 吴勇;复杂型面电火花加工CAM技术研究[D];上海交通大学;2011年
8 曹银风;高阻半导体进电及振动方式对电火花加工影响研究[D];南京航空航天大学;2011年
9 王用贤;直流运动电弧铣削加工系统构建与工艺实验[D];清华大学;2009年
10 张龙;混粉电火花加工及其镜面加工技术的实验研究[D];大连理工大学;2003年
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