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《电加工与模具》 2006年02期
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群孔的微细电火花加工技术研究

董德生  曾伟梁  杭观荣  王振龙  
【摘要】:对微细电火花群孔加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花加工机床加工出单电极,并用该电极加工出2×2直径约100μm的阵列孔,在此过程中采用加大加工长度和适度欠补偿的方法,获得了质量较好的阵列孔。用此阵列孔作为工具加工出了2×2直径约100μm的群电极,然后用此群电极一次加工出2×2直径约100μm的群孔,从而实现了微细电火花阵列孔的加工。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 曾伟梁;王振龙;;微细群电极的加工及其封装技术[J];电加工与模具;2007年01期
2 周晓光;马莹;韩福柱;祝明德;;基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工[J];电加工与模具;2008年02期
3 丁维育;汪炜;刘正埙;张伟;陈建宁;;硅阵列通孔微细电火花加工试验研究[J];电加工与模具;2009年06期
4 黄永逸;白基成;朱国征;李浩洲;;微喷部件阵列孔电火花加工工艺试验研究[J];电加工与模具;2012年04期
5 古文才;郭钟宁;于兆勤;刘小康;;微细阵列孔加工技术及其应用[J];机电工程技术;2008年10期
6 孙毅;曲宁松;李寒松;李冬林;刘建;;微小群孔阵列的照相电解加工技术研究[J];机械制造与自动化;2009年02期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
2 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
4 丁维育;汪炜;刘正埙;张伟;陈建宁;;硅阵列通孔微细电火花加工试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 马虎亮;微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 吴赵兵;基于静电感应的微细电火花线切割加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 李强;微喷部件群孔数控电火花加工机床脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 杨志伟;微凸起和微坑结构的特种加工成形技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
5 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
6 马莹;微细电火花五轴数控系统及其加工试验研究[D];北京邮电大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 贾宝贤,王振龙,赵万生;用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴[J];电加工与模具;2004年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 周林;王宝瑞;;自成形微细电极制备技术研究[J];电加工与模具;2006年02期
2 张天鹏;云乃彰;陈建宁;;微细轴放电反拷成形方式的比较研究[J];电加工与模具;2006年04期
3 褚旭阳;狄士春;王振龙;;微细电火花加工技术在组合加工中的应用[J];电加工与模具;2010年04期
4 杨建明;卢龙;李映平;;电火花加工工具电极制备技术研究进展[J];机床与液压;2007年11期
5 杨国哲;刘峰;王野牧;;微细电火花三维成型加工系统的研制[J];机床与液压;2008年02期
6 林海波;杨国哲;;基于高精度运动平台的误差模型构建与分析[J];机械设计与制造;2011年10期
7 王立影;林建平;胡琦;王芝斌;;微细轴加工技术[J];现代制造工程;2007年05期
8 周林;王宝瑞;;自成型微细电极制备技术研究[J];制造技术与机床;2006年08期
9 郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 周林;王宝瑞;;自成型微细电极制备技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
2 周林;王宝瑞;;自成型微细电极制备技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
3 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
4 李刚;基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
5 王庆祎;多功能微型机床及其加工技术的研究[D];天津大学;2010年
6 李茂盛;五轴联动电火花加工机床及其复杂电极预装系统的研制[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 费翔;微细电火花与微冲压组合加工设备及工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
2 王学志;静电感应微细电火花加工放电特性与伺服控制研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
3 陈二明;微喷部件阵列孔电火花加工机床的孔加工工艺试验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 金方进;微细电火花铣削加工电极补偿算法及实验研究[D];上海交通大学;2012年
5 张天鹏;微细电火花加工工艺的基础性研究[D];南京航空航天大学;2006年
6 张强;微细电火花加工控制系统的研制[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 金嘉;Ta-W合金微细电火花加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 翁明浩;微细阵列轴孔的电火花和电化学加工工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 潘国新;基于UG NX的介入诊疗器械CAD系统零件加工工艺库的建立[D];青岛理工大学;2008年
10 李振;基于静电感应的微细电火花加工方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇;利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 吴希让,吴国玥;新型CNC机床控制系统的设计[J];兵工自动化;2000年03期
3 张文峰,朱荻;基于特种加工的镜面抛光新技术[J];表面技术;2003年04期
4 王明环,朱荻,徐惠宇;电化学腐蚀法制备针尖的试验研究[J];传感器技术;2005年03期
5 张厥宗;半导体工业的发展概况(续)[J];电子工业专用设备;2005年04期
6 王克锡;;电火花成形加工机的发展特点和今后的方向[J];电加工;1992年02期
7 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
8 朱荻;国外电解加工的研究进展[J];电加工与模具;2000年01期
9 宋博岩,赵万生,张宏;绿色电火花加工的概念[J];电加工与模具;2000年06期
10 施文轩,张明歧,殷旻,吴志刚;电射流加工工艺研究和发展[J];电加工与模具;2001年01期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 许爱芬;杨胜奎;王鹏;黄勇;钱继锋;;C功能刀具半径补偿的优化算法[A];先进制造技术论坛暨第五届制造业自动化与信息化技术交流会论文集[C];2006年
2 李勇;崔晶;李向阳;鲁培;佟浩;陈旭鹏;;微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3 曾伟梁;微细阵列电极阵列孔的组合电加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郭晋峰;基于RTLinux的数控系统关键技术研究及软件开发[D];华侨大学;2001年
2 吴寒;基于RTLinux的开放式数控系统设计与实现[D];华侨大学;2002年
3 朱顺先;基于LINUX的PCNC系统的实现及其DNC系统的集成研究[D];南京航空航天大学;2004年
4 张宝亚;基于Windows平台的高速走丝线切割机数控系统的设计和开发[D];南京航空航天大学;2004年
5 冯焕琴;基于线切割机的线电极放电磨削工艺的研究[D];吉林大学;2004年
6 陈安骏;超声电解复合加工在微器件制作中的基础研究[D];南京航空航天大学;2005年
7 韩桂海;三维微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2005年
8 吴冰洁;基于微器件的超声微细加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2006年
9 赵星;基于AGIE CHALLENGE ECUT 2F机床的微细电火花线切割加工技术实践研究[D];南京航空航天大学;2006年
10 于中福;微能可控微细电火花线切割脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周晓光;马莹;韩福柱;祝明德;;基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工[J];电加工与模具;2008年02期
2 范仲俊;王占和;赵旸;朱永伟;;摩擦副表面微凹坑的微细加工工艺研究[J];电加工与模具;2008年06期
3 褚旭阳;狄士春;王振龙;;微细电火花加工技术在组合加工中的应用[J];电加工与模具;2010年04期
4 孙术发;韦东波;狄士春;尤号田;于敏;王泽丽;张春阳;;一种测量微细电火花机床杂散电容的方法[J];电加工与模具;2011年04期
5 于同敏;黄晓超;包成;祝思龙;;基于高速铣削的微细电极加工方法[J];电加工与模具;2011年06期
6 胡洋洋;朱荻;李寒松;曲宁松;曾永彬;明平美;;UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术[J];光学精密工程;2010年03期
7 古文才;郭钟宁;于兆勤;刘小康;;微细阵列孔加工技术及其应用[J];机电工程技术;2008年10期
8 时小惠;;有限元法分析微小孔电解过程工件表面电场分布[J];机械制造与自动化;2008年05期
9 潘涌;骆公序;安博言;陈俊;姜兆华;;折射式扫描系统设计及应用[J];应用激光;2012年03期
10 王钦;李寒松;宫超林;曲宁松;曾永彬;;阵列群小孔活动模板电解加工技术研究[J];机械制造与自动化;2012年05期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
2 张志伟;汪炜;张伟;刘正埙;;微细相贯群孔的电火花加工试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 韩福柱;马莹;周晓光;祝明德;;微细阵列电极的电火花线切割加工研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
2 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年
3 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
4 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
5 钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年
6 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 安成明;微细超声加工装置及基础工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
2 江一;激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究[D];南京航空航天大学;2009年
3 于强;微细铣削机床伺服特性优化及试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 马虎亮;微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 吴赵兵;基于静电感应的微细电火花线切割加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 彭约钧;表面微结构在大气和水环境下的摩擦学特性研究[D];南京航空航天大学;2011年
7 李强;微喷部件群孔数控电火花加工机床脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
8 陈二明;微喷部件阵列孔电火花加工机床的孔加工工艺试验研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 赵旸;摩擦副表面微凹坑超声复合加工工艺研究[D];扬州大学;2008年
10 马莹;微细电火花五轴数控系统及其加工试验研究[D];北京邮电大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 王振龙栾,英艳,赵万生,张晓东;微细电火花加工中的电极在线制作与检测[J];电加工与模具;2000年03期
2 贾宝贤,王振龙,赵万生;基于特种加工的微细制造技术[J];电加工与模具;2003年04期
3 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
4 耿春明,赵万生,刘晋春,赵家齐;精密电火花磨削加工的切向进给法[J];制造技术与机床;2001年07期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王续跃,周锦进,杨连文,徐中耀;涂辊高密度网络小孔的电火花加工技术[J];电子工艺技术;1994年05期
2 方建成,王续跃,周锦进,扬连文;涂辊细小孔的电火花加工[J];机械制造;1998年02期
3 曾伟梁;王振龙;董德生;;微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术[J];上海交通大学学报;2007年10期
4 王磊;朱荻;曲宁松;王明环;;金属微孔网板微细电解加工技术研究[J];电加工与模具;2007年02期
5 薛宝;曲宁松;李寒松;陈建宁;;摩擦副表面微坑结构的微细电解加工技术研究[J];电加工与模具;2008年01期
6 王磊;朱荻;曲宁松;王明环;;微细群孔电解加工试验研究[J];微细加工技术;2007年02期
7 荣烈润;;激光微细孔加工技术及其在航空航天领域中的应用[J];航空精密制造技术;2009年06期
8 李冬林;朱荻;李寒松;;模板电解加工群孔技术研究[J];中国机械工程;2010年17期
9 荣烈润;激光微细孔加工技术及其应用[J];机电一体化;2003年06期
10 黄青松;高献娟;李文学;王立成;宋金贵;;复杂薄壁发动机加力隔热屏制造工艺设计及优化[J];锻压技术;2010年03期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 江一;汪炜;刘正埙;何铁军;彭昀;;激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
2 张志伟;汪炜;张伟;刘正埙;;微细相贯群孔的电火花加工试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
3 朱海南;夏慧峰;刘松;王德新;于冰;;高压水射流技术及其在航空发动机上的应用[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
4 马名峻;蒋亨顺;靳德福;;涡轮发动机密封环组件电火花加工工艺研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
5 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
6 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘晋飞;群孔的高效高精加工技术及机理[D];太原理工大学;2006年
2 马虎亮;微细阵列群孔加工电火花机床宏微复合数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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