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《电加工与模具》 1998年04期
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微细电火花加工工艺研究

李勇  严晓敏  郭  王显军  邹丽芸  
【摘要】:介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究。探讨了微细电火花加工微小轴 (工具电极 )、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
2 彭良强 ,伊福廷,张菊芳,韩勇,张院春 ,邹丽芸;大面积微细结构的电火花加工[J];航空制造技术;2002年05期
3 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状零件的微细电火花加工[J];航空制造技术;2006年01期
4 张明君,殷国富,袁光辉;大长径比微细轴的车削工艺研究[J];机械工程学报;2005年02期
5 彭良强,伊福廷,张院春,邹丽芸,张菊芳,韩勇;LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究[J];微细加工技术;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
2 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
3 李勇;李芳;郑云飞;周骋;;微细电火花加工技术的进展状况[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
5 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
6 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
7 李勇;李芳;郑云飞;周骋;;微细电火花加工技术的进展状况[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
8 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李成锋;介观尺度铣削力与表面形貌建模及工艺优化研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 邓容;微细电火花加工中电极损耗及补偿的算法与实验研究[D];上海交通大学;2008年
2 周明;电火花微孔加工工艺规律的研究[D];大连理工大学;2002年
3 黄军容;LIGA技术高深宽比研究[D];北京工业大学;2003年
4 任忠辉;电火花微能脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 周林;微细电火花加工技术研究[D];中国工程物理研究院;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李勇,胡敏,周兆英,郭,严晓敏,邹丽芸,巫仁智;采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置[J];电加工与模具;1998年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 袁松梅,赵万生,刘维东;微小型电火花加工装置的最新进展[J];电加工与模具;1998年06期
2 李文卓,赵万生,王振龙,王刚;我国微小型电火花加工装置最新研究与进展[J];电加工与模具;2001年02期
3 于云霞;微细电火花加工技术的最新进展及应用实例[J];电加工与模具;2003年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 邓容;微细电火花加工中电极损耗及补偿的算法与实验研究[D];上海交通大学;2008年
2 甘真玮;微细电火花加工机床控制系统的研究[D];中国石油大学;2007年
3 冯焕琴;基于线切割机的线电极放电磨削工艺的研究[D];吉林大学;2004年
4 甘雪松;新型蠕动式微细电火花加工装置开发及实验研究[D];上海交通大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐安平,张大卫,黄田,曲云霞;柔性螺旋立铣刀数控铣削表面形貌物理仿真模型[J];计算机辅助设计与图形学学报;2000年04期
2 阎兵,张大卫,徐安平,黄田,曾子平;球头铣刀铣削表面形貌建模与仿真[J];计算机辅助设计与图形学学报;2001年02期
3 张智海,郑力,李志忠,张伯鹏;基于铣削力/力矩模型的铣削表面几何误差模型[J];机械工程学报;2001年01期
4 孙雅洲,梁迎春,程凯;微米和中间尺度机械制造[J];机械工程学报;2004年05期
5 贾宝贤,王振龙 ,赵万生;微细切削加工与微机械制造[J];机械制造;2003年08期
6 张勇,王振龙,胡富强,赵万生;微细电火花加工装置的设计与应用[J];微细加工技术;2004年02期
7 高彤,张卫红,邱克鹏,万敏;周铣加工表面形貌仿真新算法[J];西北工业大学学报;2004年02期
8 孙雅洲,梁迎春;微细切削与微小型化机床[J];现代制造工程;2005年02期
9 陈根社,陈新海;遗传算法的研究与进展[J];信息与控制;1994年04期
10 孙雅洲,梁迎春,程凯;微型化制造设备与微型制造系统[J];中国机械工程;2002年07期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 赵伟;电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究[D];西北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 孙爱芹;电火花微小孔加工状态分析及电源研究[D];大连理工大学;2004年
2 苏健;线切割加工中等能量脉冲控制技术的研究[D];广东工业大学;2005年
3 周明;电火花微孔加工工艺规律的研究[D];大连理工大学;2002年
4 韩光臣;电火花铣削加工技术及计算机仿真研究[D];西北工业大学;2002年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 贾振元,周明,杨连文,郭东明,刘顺福;电火花微小孔加工工艺参数的优化研究[J];机械工程学报;2003年02期
2 陈继民;;激光微技术的发展现状[J];激光与光电子学进展;2006年09期
3 蒋亨顺;马明峻;;特种加工技术在精密制造中的应用[J];新技术新工艺;2006年05期
4 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
5 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状零件的微细电火花加工[J];航空制造技术;2006年01期
6 周林;王宝瑞;;自成形微细电极制备技术研究[J];电加工与模具;2006年02期
7 明平美,胡洋洋,朱健;微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J];微纳电子技术;2005年04期
8 明平美,朱荻,曲宁松,朱健,贾世星;电铸工艺对工具电极材料抗电蚀性能的影响研究[J];机械科学与技术;2005年05期
9 任福君,李小海;电火花加工技术的新发展[J];佳木斯大学学报(自然科学版);2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
2 赵万生;顾琳;郭锐;李刚;;微细电加工的最新发展与应用前景[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
3 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
4 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
5 邹丽芸;杨大勇;吴洪波;伏金娟;;复杂形状的微细电火花加工工艺研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
6 周林;王宝瑞;;自成型微细电极制备技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
7 周林;王宝瑞;;自成型微细电极制备技术研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
8 朱荻;张朝阳;明平美;曾永彬;王明环;;微细电化学加工技术的研究与发展[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
9 朱荻;张朝阳;明平美;曾永彬;王明环;;微细电化学加工技术的研究与发展[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 周明;微细电火花加工放电状态辨识与预测的理论和方法[D];大连理工大学;2006年
2 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
3 徐明刚;超声振动—气体介质电火花复合加工技术及机理研究[D];山东大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
2 周翠花;反射式金属光栅盘研制[D];电子科技大学;2006年
3 顾丰;电火花微小孔加工工艺参数优化及建模的研究[D];大连理工大学;2006年
4 周林;微细电火花加工技术研究[D];中国工程物理研究院;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 冯晓光,赵万生,栗岩,刘晋春,王征应;电极仿生微进给装置的研究[J];电加工与模具;1997年01期
2 刘正勋,宋小中,张元胜;电火花细微孔加工方法的研究[J];电加工与模具;1994年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李勇,严晓敏,郭,王显军,邹丽芸;微细电火花加工工艺研究[J];电加工与模具;1998年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李勇;李芳;郑云飞;周骋;;微细电火花加工技术的进展状况[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
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