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《电子工业专用设备》 2011年06期
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太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

陈特超  马度·巴布  李健志  毛朝斌  
【摘要】:介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。
【作者单位】中国电子科技集团公司第四十八研究所;UAE
【分类号】:TM914.4

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