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等离子刻蚀的终点检测

王安涛  黄嘉华  
【摘要】:正 在早期的等离子刻蚀设备中,往往不具备终点检测装置,人们只能凭借经验或试样来估计产品刻蚀的终点。显然,这不能保证刻蚀的线条尺寸和衬底的过蚀,影响了产品的精度和重复性。近十年来,随着刻蚀图形的精细化,国际市场出售的等离子刻蚀设备越来越多地装备有各种终点检测装置。本文分别介绍几种常用的等离子刻蚀终点检测方法。

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