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《东北师大学报(自然科学版)》 2009年02期
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共面介质阻挡放电蒸发聚四氟乙烯沉积碳氟膜的研究

王惠  吴庆浩  朱爱民  
【摘要】:首次将共面型介质阻挡放电(C-DBD)应用于蒸发聚四氟乙烯(PTFE)并沉积制备了碳氟膜,制备的碳氟膜尺寸为50~100 nm,其表面均方根(RMS)粗糙度为15.55 nm(测量面积为10μm×10μm)。发射光谱表明,C-DBD产生了能量较高的电子激发态Ar原子(12.9~13.5 eV)。该方法装置简单,在常温常压下操作,薄膜沉积速率快,而且环境友好.

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 闫继红;宁兆元;;低介电常数材料和氟化非晶碳薄膜的研究进展[J];材料导报;2005年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[J];北京理工大学学报;2005年S1期
2 陈强,张跃飞,张广秋,葛袁静,庞华,陈光良;采用连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜[J];包装工程;2005年02期
3 田继文;陈敏;李长敏;张庆瑜;任春生;;低温等离子体对生物材料表面改性固定生物分子的研究进展[J];材料导报;2005年03期
4 刘波,王红卫;丙烯酸等离子体改性电池隔膜用无纺丙纶[J];材料科学与工程学报;2005年05期
5 张晓林,马晓光;丙烯酸微波低温等离子体引发PET接枝改性的研究[J];纺织学报;2005年05期
6 黄健,王晓琳;低温等离子体对聚合物多孔膜的亲水化改性[J];高分子通报;2005年06期
7 孙妍,张冠军,赵文彬,严璋;低温等离子体处理柴油机尾气中氢氧化物的研究进展[J];高压电器;2003年06期
8 蒋向;邓剑如;;等离子体处理对芳纶性能的影响[J];合成纤维;2006年12期
9 李东风,王浩静,朱星明,王心葵;碳纤维石墨化设备的研究与进展[J];化工进展;2004年02期
10 李莹,李柯,陈杰瑢,刘峰,王志强;低温等离子体杀菌消毒技术的应用进展[J];化工进展;2004年07期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 吴争鸣;;21世纪的前沿科技——等离子体技术和工艺[A];第四届高新技术用硅质材料及石英制品技术与市场研讨会论文集[C];2006年
2 王德禧;;低温等离子体在聚合物材料中的应用[A];2005塑料助剂生产与应用技术信息交流会论文集[C];2005年
3 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[A];中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 代斌;等离子体催化二氧化碳经甲烷化制C_2烃反应的研究[D];大连理工大学;2002年
2 曲超;人工晶状体表面改性的实验研究[D];浙江大学;2004年
3 李建文;点燃式发动机火花塞离子电流特性及其应用的研究[D];天津大学;2004年
4 孙铭山;外场作用下强化钢液脱氮、脱氧的研究[D];上海大学;2004年
5 王广健;玄武岩纤维复合过滤材料的研究[D];河北工业大学;2004年
6 李艳;正相与反相感温型开关膜的制备及其感温特性的研究[D];四川大学;2004年
7 蒋渝;纳米金属粉体材料的氢等离子体制备机理及其润滑减摩特性研究[D];四川大学;2004年
8 钟厉;纯氮离子渗氮新工艺及离子渗氮机理研究[D];重庆大学;2004年
9 卞文娟;高压脉冲液相放电技术处理水中难降解有机污染物的研究[D];浙江大学;2005年
10 李学慧;纳米磁流体的等离子体制备及其应用基础研究[D];大连理工大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄玉堂;40Cr钢氮气—甲烷离子氮碳共渗工艺及机理的研究[D];重庆大学;2007年
2 李智明;等离子发生器化学反应流场数值模拟[D];哈尔滨工程大学;2003年
3 朱静;铝合金微弧氧化陶瓷层生长过程及耐磨性能的研究[D];西安理工大学;2004年
4 庞华;连续和脉冲射频PCVD制备低表面能薄膜的研究[D];北京印刷学院;2004年
5 赵文锋;ICP等离子体增强化学气相沉积制备纳米粉体氮化硅特性研究[D];华南师范大学;2004年
6 田树勋;甲烷部分氧化制合成气中Ni基催化剂的改性研究[D];天津大学;2004年
7 王海涛;甲烷部分氧化制合成气中等离子体对催化剂的改性研究[D];天津大学;2004年
8 刘兵;基于等离子体聚合膜的电化学生物传感器及共价固定卟啉的pH光化学传感器的研究[D];湖南大学;2004年
9 朱明;脉冲电晕法处理混合VOC_s实验研究[D];中国工程物理研究院;2004年
10 贲宇恒;等离子体处理催化剂过程温度参数的测定[D];天津大学;2004年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 辛煜,宁兆元,程珊华,陆新华,甘肇强,黄松;ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N_2气氛中的热退火研究[J];物理学报;2002年02期
2 程珊华,宁兆元,黄峰;等离子体增强反应蒸发沉积的氟掺杂氧化铟薄膜的性质[J];物理学报;2002年03期
3 杨慎东,宁兆元,黄峰,程珊华,叶超;a-C:F薄膜的热稳定性与光学带隙的关联[J];物理学报;2002年06期
4 王婷婷,叶超,宁兆元,程珊华;SiCOH低介电常数薄膜的性质和键结构分析[J];物理学报;2005年02期
【相似文献】
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1 王永清;王占友;周颖昌;李小佳;王海舟;;微型等离子体光谱仪激发源的研究与进展[J];冶金分析;2010年01期
2 赵广义;马英君;李险峰;陆景彬;竺礼华;吴晓光;李广生;温书贤;杨春祥;刘运祚;;~(168)Lu高自旋带退激的观测[J];吉林大学学报(理学版);2010年01期
3 程琪;管斌;林赫;黄震;;等离子体辅助NH_3-SCR去除柴油机NO_x的试验研究[J];车用发动机;2010年01期
4 赵卫东;蔡忆昔;王军;冉冬立;郑荣耀;;串联谐振模式下介质阻挡放电动态负载及工作特性研究[J];车用发动机;2010年01期
5 方志;杨浩;司琼;郑向阳;解向前;;利用介质阻挡放电处理提高太阳能电池板背膜表面能[J];高电压技术;2010年02期
6 黄继强;薛龙;吕涛;蒋力培;;可控谐振的DBD型臭氧发生器电源[J];高电压技术;2010年02期
7 丁伟;何立明;兰于丹;曾昊;;介质阻挡放电中反向放电的实验研究[J];高压电器;2010年02期
8 吴云枫;孟月东;舒兴胜;;大气压介质阻挡放电对聚丙烯隔膜表面改性的研究[J];高压电器;2010年02期
9 孙岩洲;张峰;;介质阻挡放电特性与臭氧合成的实验研究[J];高压电器;2010年01期
10 杨深;石挺;唐效峰;刘洋;陈大华;陈育明;李文鹏;李维德;;无汞光源研究进展(下)[J];中国照明电器;2010年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 于永亮;陈明丽;王建华;;低温等离子体在微型化原子光谱研究中的应用[A];中国化学会第27届学术年会第18分会场摘要集[C];2010年
2 屈广周;李杰;鲁娜;吴彦;;活性炭吸附-介质阻挡放电等离子体处理难降解有机污染物[A];第五届全国环境化学大会摘要集[C];2009年
3 李娟;陈强;杨丽珍;;利用介质阻挡放电对PET薄膜表面改性的研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4 王守国;;纳秒脉冲常压辉光放电等离子体及薄膜表面改性研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5 高倩;张溪文;韩高荣;;DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
6 刘爱元;张溪文;韩高荣;;DBD法二氧化钛薄膜的制备及其结构与性能研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
7 冯发达;黄炯;龙丽萍;杨岳;叶代启;黄碧纯;付名利;吴军良;;发泡金属-复合碳材料的制备及活性测试[A];第六届全国环境催化与环境材料学术会议论文集[C];2009年
8 廖晓斌;郭玉芳;叶代启;付名利;;氧化物催化剂对等离子体降解甲苯的促进作用研究[A];第六届全国环境催化与环境材料学术会议论文集[C];2009年
9 王丽;赵越;易颜辉;赵斌;刘春燕;苏际;刘文欢;宫为民;郭洪臣;;等离子体催化氨气裂解制氢:分子筛及无定形氧化物的载体效应研究[A];第十五届全国分子筛学术大会论文集[C];2009年
10 贾向红;杨景花;万军;赵伶俐;王守国;;常压氩等离子体喷枪对大肠杆菌灭菌效应及机理的研究[A];全国第十一届生化与分子药理学学术会议论文集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 本报实习记者 秦韵;等离子印染新技术顺应低碳经济潮流[N];中国知识产权报;2010年
2 本报记者王素影;行政保护人间蒸发国内药企再遇生死劫[N];中国经营报;2002年
3 ;铜峰电子5000万资金神秘蒸发[N];证券时报;2002年
4 记者 永中;中移动在港三日狂泻22%[N];中国证券报;2001年
5 本报记者 王智;增发:不要将投资者信心蒸发[N];经济日报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王攀;NPAC技术降低柴油机NO_x和PM排放的机理分析及试验研究[D];江苏大学;2009年
2 王军;NTP技术转化柴油机NO_x及再生DPF的实验研究和机理分析[D];江苏大学;2009年
3 蒋晓梅;纺织材料表面改性大气压辉光放电液相沉积关键技术的研究[D];苏州大学;2009年
4 周军成;氢氧等离子体法直接合成过氧化氢及其在丙烯气相环氧化中的应用[D];大连理工大学;2008年
5 丁慧贤;大气压下等离子体与催化协同低温脱除气相中甲醛研究[D];大连理工大学;2008年
6 刘忠伟;连续波光腔衰荡光谱装置的建立及其在非平衡等离子体HO_2和OH自由基定量测定中的应用[D];大连理工大学;2008年
7 谢维杰;光谱解析低温等离子体中O_2,N_2,CO_2的活性中间体及其环境化学行为[D];上海交通大学;2008年
8 郭明星;等离子体条件下分子氧和丙烯进行气相氧化反应的研究[D];大连理工大学;2006年
9 刘勇;材料表面处理高频高压低温等离子体放电电源技术的研究[D];浙江大学;2006年
10 王艳辉;均匀大气压介质阻挡放电特性及模式研究[D];大连理工大学;2006年
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1 潘贤林;常压等离子体处理对PBO纤维表面性能影响研究[D];东华大学;2010年
2 蔡叶青;常压脉冲调制射频介质阻挡辉光技术研究[D];东华大学;2010年
3 李嘉灵;常压介质阻挡放电等离子体连续处理对PET纤维表面改性技术研究[D];东华大学;2010年
4 刘磊;常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究[D];东华大学;2010年
5 罗志娟;新型介质阻挡放电特性的研究[D];武汉理工大学;2009年
6 席光庆;基于单片机与LabVIEW的介质阻挡放电监控系统研究[D];大连理工大学;2009年
7 王莹;低压孔板电极介质阻挡放电特性及匹配电源的研究[D];大连理工大学;2009年
8 李飞;介质阻挡放电脱硫脱硝的化学反应动力学模拟[D];华北电力大学(北京);2009年
9 朱亮;介质阻挡常压等离子体去除NO的实验研究[D];东华大学;2009年
10 程曼丽;大气压中频辉光放电等离子体特性研究及其改性纺织纤维[D];东华大学;2009年
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