收藏本站
《材料研究学报》 1998年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

SiC单晶的生长及其器件研制进展

王引书  李晋闽  林兰英  
【摘要】:SiC具有禁带宽度大、热导率高、电子的饱和漂移速度大、临界击穿电场高和介电常数低等特点在高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件及紫外探测器和短波发光二极管等方面具有广泛的应用前景.本文综述了半导体SiC体单晶和薄膜的生长及其器件研制的概况.

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 徐志淮,李贺军;CVD生长SiC涂层工艺过程的正交分析研究[J];兵器材料科学与工程;2000年05期
2 周松青,唐绍裘,肖汉宁,邹长元;碳化硅及其复合材料的烧结[J];陶瓷学报;1999年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 陈一峰;低维碳化硅的VLS自组装生长研究[D];电子科技大学;2010年
2 张军琴;宽禁带半导体MSM结构紫外探测器的研究[D];西安电子科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 马天菲;SiC薄膜的VLS选择性生长研究[D];电子科技大学;2007年
2 任向前;Cu/SiC_p(SiO_2)复合材料的制备与性能研究[D];郑州大学;2012年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙燕杰,何山虎,甄聪棉,龚恒翔,杨映虎,王印月;CTLM测量金属/半导体欧姆接触电阻率[J];半导体光电;1999年04期
2 周飞跃;杜江锋;于奇;靳翀;罗谦;杨谟华;;GaN基MSM结构紫外探测器光响应特性[J];半导体光电;2006年04期
3 黄烈云;吴琼瑶;赵文伯;叶嗣荣;向勇军;刘小芹;黄绍春;;日盲型AlGaN PIN紫外探测器的研制[J];半导体光电;2007年03期
4 岑龙斌;桑立雯;周绪荣;秦志新;张国义;;307~325nm波长AlGaN基紫外光探测器[J];半导体光电;2007年06期
5 张刚;SiC半导体材料与器件[J];半导体技术;1995年01期
6 宋登元;SiC器件基本制备工艺的原理与发展现状[J];半导体技术;1994年02期
7 杨克武,潘静,杨银堂;SiC半导体材料及其器件应用[J];半导体情报;2000年02期
8 简红彬;康建波;于威;马蕾;彭英才;;SiC薄膜的化学汽相沉积及其研究进展[J];微纳电子技术;2006年01期
9 牛新军,张玉明,张义门,吕红亮;碳化硅混合PiN/Schottky二极管的二维模拟[J];半导体学报;2002年05期
10 王俊,赵德刚,刘宗顺,伍墨,金瑞琴,李娜,段俐宏,张书明,朱建军,杨辉;GaN基肖特基结构紫外探测器[J];半导体学报;2004年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王丽;胡小波;董捷;李娟;姜守振;李现祥;徐现刚;王继扬;蒋民华;;Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 常远程;AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管的模型研究[D];西安电子科技大学;2006年
2 罗谦;AlGaN/GaN HEMT器件物理模型和关键工艺技术研究[D];电子科技大学;2007年
3 王春华;SiC_p/Cu复合材料电导特征的研究[D];郑州大学;2007年
4 程南璞;SiC_p/Al复合材料制备工艺和微结构及性能研究[D];中南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 高晓霞;金属基复合材料界面热传导性的研究[D];北京工业大学;2000年
2 王宇;硅基GaN薄膜制备及紫外探测器的初步研究[D];浙江大学;2001年
3 陈小红;GaN材料及MSM结构紫外光电探测器的研究与制备[D];厦门大学;2002年
4 朱德智;SiCp/Cu复合材料组织与性能研究[D];哈尔滨理工大学;2005年
5 周飞跃;GaN基MSM结构紫外探测器研究[D];电子科技大学;2006年
6 陈栋;粉末冶金法制备SiC_p/Cu复合材料工艺研究[D];西安科技大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 李冬云;杨辉;乔冠军;金志浩;;SiC/BN层状陶瓷的抗热震性能研究[J];材料科学与工程学报;2006年01期
2 冉丽萍,易茂中,黄伯云;短纤维增强C-SiC复合材料的制备和性能[J];粉末冶金材料科学与工程;2004年03期
3 杨继光,马丽娟,马泉山,陆峰;精细陶瓷的制作及发展[J];佛山陶瓷;2002年07期
4 刘持栋;成来飞;栾新刚;张伟华;;SiC涂层C/C复合材料在1300℃湿氧环境中的疲劳行为[J];复合材料学报;2009年04期
5 李贺军,曾燮榕,李克智,张秀莲;我国炭/炭复合材料研究进展[J];炭素;2001年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 曾庆丰;C/SiC复合材料优化设计[D];西北工业大学;2004年
2 付前刚;SiC晶须增韧硅化物及SiC/玻璃高温防氧化涂层的研究[D];西北工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾桂生;钙熔盐电解中石墨阳极的破损机理及防护研究[D];昆明理工大学;2003年
2 郝小辉;化学气相沉积法制备钨芯SiC纤维[D];西北工业大学;2005年
3 孙旭炜;SiC颗粒表面处理及制备工艺对SiCp/6066Al复合材料组织和性能的影响[D];西南大学;2006年
4 王标;化学气相沉积制备炭/炭复合材料防氧化涂层[D];西北工业大学;2007年
5 刘海威;CVD法制备高性能SiC连续纤维技术[D];西北工业大学;2007年
6 马奇;SiC-AlN水基料浆喷雾干燥及复相陶瓷的制备[D];浙江大学;2007年
7 宋焕巧;凝胶注模成型SiC-Sialon复相材料烧结性能研究[D];河北理工学院;2004年
8 霍艳丽;化学气相沉积制备碳化硅致密膜层的研究[D];中国建筑材料科学研究总院;2007年
9 张璐;稀土掺杂氮化镓纳米粉溶胶—凝胶制备及发光机理研究[D];西北大学;2011年
10 郭顺;炭/炭复合材料SiC/YAG-SiC-ZrO_2涂层的制备、结构和氧化性能[D];中南大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨晓萍;郑殊;王正汹;刘悦;;动力学Monte Carlo模拟原子相互作用对薄膜外延生长的影响[J];纳米科技;2011年03期
2 陈贵锋;谭小动;万尾甜;沈俊;郝秋艳;唐成春;朱建军;刘宗顺;赵德刚;张书明;;纳米折叠InGaN/GaN LED材料生长及器件特性[J];物理学报;2011年07期
3 王雪;李成山;于泽铭;郑会玲;冀勇斌;樊占国;;涂层导体用NiW合金基带表面改性研究[J];功能材料;2011年08期
4 刘江;魏汝省;徐佳;徐现刚;王璞;;基于6H-SiC衬底外延石墨烯的被动锁模掺镱光纤激光器[J];中国激光;2011年08期
5 李水清;汪莱;韩彦军;罗毅;邓和清;丘建生;张洁;;氮化镓基发光二极管结构中粗化p型氮化镓层的新型生长方法[J];物理学报;2011年09期
6 张磊;叶辉;皇甫幼睿;刘旭;;氧化硅缓冲层对于退火形成锗量子点的作用研究[J];物理学报;2011年07期
7 王卫卫;蒲明华;王文涛;赵勇;;湿度对YBCO薄膜微观结构和超导性能的影响[J];低温与超导;2011年07期
8 熊飞;潘红星;张辉;杨宇;;溅射沉积自诱导混晶界面与Ge量子点的生长研究[J];物理学报;2011年08期
9 余志强;谢泉;肖清泉;;Mg_2Si薄膜的磁控溅射制备及表征[J];材料导报;2011年12期
10 戴晔;何敏;阎晓娜;马国宏;;近红外飞秒激光诱导非晶硅薄膜的晶化(英文)[J];红外与毫米波学报;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周文;朱俊;罗文博;李言荣;;STO/MgO/GaN多层薄膜制备研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
2 李理;朱俊;罗文博;;以TiO_2为缓冲层在GaN上外延生长PZT铁电薄膜及性能测试[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
3 唐慧丽;徐军;李红军;苏良碧;吴锋;;Mg_(0.4)Al_(2.4)O_4衬底上ZnO薄膜的制备和性能表征[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
4 李言荣;;介电/半导体集成薄膜生长控制及其性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5 蔡衍卿;姚忻;赖亦坚;;镓酸钕基片上外延生长钇钡铜氧超导厚膜的a、c轴取向转变机制[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
6 陆颖;张宇栋;胡书新;李明;;硫化物纳米薄膜在PDA有机晶体表面的外延生长[A];中国化学会第十二届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2009年
7 李树玮;小池一步;矢野满明;;ZnO和ZnMgO材料的分子束外延生长及其光学性质[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
8 李美亚;赵兴中;B.Ma;R.E.Koritala;U.Balachandran;;倾斜衬底沉积法在金属衬底上外延生长YBCO薄膜[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 张峰;杜海宁;张志祥;吉丽娜;唐琳;王化斌;樊春海;徐洪杰;张益;胡钧;胡红雨;何建华;;多肽纳米纤维在无机衬底表面的外延生长:界面亲疏水作用的影响[A];第十次中国生物物理学术大会论文摘要集[C];2006年
10 张迎肖;索红莉;赵跃;刘敏;王榕;何东;周美玲;;在Ni5W基底上用MOD方法制备涂层导体过渡层的研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 飘尘;我国LED产值2010将超1000亿元[N];中国有色金属报;2008年
2 南开大学物理学院 陶长远 刘达清;碳化硅薄膜很优秀[N];科技日报;2002年
3 唐伟;Ⅱ型激光分子束外延设备整体性能国际先进[N];科技日报;2006年
4 彭万华;高亮度LED初具产业基础 仍需政策助力[N];中国电子报;2008年
5 樊哲高 孙江;三安:LED打造多彩生活[N];中国电子报;2004年
6 ;全球MOCVD设备热销背后的解读[N];电子资讯时报;2006年
7 中关村证券;G华工 低价超跌 底部蓄势[N];证券时报;2006年
8 梁红兵;LED:强化产业链建设 细分市场大有作为[N];中国电子报;2008年
9 ;大型多晶硅片加速碳化硅器件的发展[N];中国电子报;2001年
10 任爱青;我国LED上游产业亟待突围[N];中国电子报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 罗文博;介电氧化物薄膜在GaN半导体上的外延生长与性能研究[D];电子科技大学;2010年
2 张心强;铪基及稀土高k薄膜在Si、Ge及InP上外延生长及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
3 陶伯万;3英寸YBCO双面超导薄膜的外延生长和均匀性研究[D];电子科技大学;2003年
4 何垚;应变和电场对硅表面的吸附能及结构的影响[D];复旦大学;2005年
5 晏长岭;垂直腔面发射激光器的研制及其特性分析[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
6 许锐;磷酸铝分子筛膜的制备和性质[D];吉林大学;2007年
7 石林;外延生长动力学剪裁面心立方合金薄膜有序结构的研究[D];清华大学;2007年
8 何斌;宽禁带立方氮化硼薄膜的制备与掺杂研究[D];北京工业大学;2008年
9 陈峰;外延Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3单晶薄膜的制备与性能研究[D];中国科学技术大学;2008年
10 尹肖菊;沸石分子筛膜的制备和性质研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李钠;SiCl_4/H_2外延生长单晶硅反应机理的理论研究[D];辽宁师范大学;2005年
2 宋禹忻;动力学蒙特卡罗法仿真量子点生长过程的统计分析与参数优化[D];北京邮电大学;2007年
3 马琳;BCl_3/H_2外延生长P型硅反应机理的理论研究[D];辽宁师范大学;2007年
4 龚亮;外延薄膜生长过程的微观相场研究[D];天津大学;2008年
5 陈金文;SiC衬底外延生长GaN界面结构的第一性原理研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 靳瑞英;光控SiC器件的计算机模拟[D];西安理工大学;2004年
7 郭鑫;SiC外延生长加热系统热场分析[D];西安电子科技大学;2011年
8 孙伟峰;UHV/CVD外延生长硅及锗硅单晶薄膜[D];浙江大学;2005年
9 赵广才;图形衬底上GaN材料的外延生长研究[D];西安电子科技大学;2010年
10 杨晓东;紫外光电材料ZnO的外延生长及特性研究[D];西北大学;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026