金刚石薄膜品质及其表征

【摘要】：阐述了金刚石薄膜中成分、结构、夹杂尤其是化学与结构缺陷对热、电、光学、机械、化学性质的影响.介绍了薄膜品质检测、表征方法的新进展.表明品质表征有向点缺陷类别及其浓度分布、掺杂和偏折方向深入的趋势．为了控制品质、增强薄膜特性、开发新的器件，必须探求更完善的分析方法建议在SEM－WDCL（阴极荧光扫描电子显微分析装置）上，在确保‘CL’（阴极荧光）最高收集效率条件下，力求不降低原有SEM的空间分辨率；在‘CL’谱对杂质有很高灵敏度基础上完善定量分析能力，结合数字图象分析，取得了膜中缺陷、掺杂、偏析乃至非金刚石碳的分布统计

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中国期刊全文数据库

前10条

1	王克钢,董连科,龙期威;冲击加载下材料破坏准则的规范场理论[J];高压物理学报;1987年02期
2	彭江得,岳超瑜,黄翊东,周炳琨;Er~(3+)/Yb~(3+)掺杂全光纤环形激光器[J];光学学报;1990年10期
3	彭江得,岳超瑜,黄翊东,周炳琨;Er~(3+)/Yb~(3+)掺杂全光纤光放大器[J];中国激光;1990年S1期
4	吴小林,高永寿;缺损平板贴补加强后的效果[J];航空学报;1990年02期
5	李晴棉,黄锡珉,金长峰,王晓光,谢玉均;液晶中Disclination线的研究及新铁电液晶螺距的测定[J];压电与声光;1991年01期
6	沈顺元,孙小菡,张明德,沈光骏;光纤中二次谐波的产生及机理的电镜分析[J];电子器件;1992年04期
7	宗祥福,翁渝民,刘松,秦曦;扫描光荧光表征半导体材料特性[J];应用科学学报;1992年01期
8	杨嘉陵,余同希,张元;含缺陷的固支梁受冲击载荷作用的实验研究[J];爆炸与冲击;1992年01期
9	杜毅;吕伟;;玻化瓷砖常见缺陷的探讨[J];山东科学;1992年04期
10	仲维卓,华素坤;水晶的缺陷与品质鉴定[J];压电与声光;1993年05期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘敏;霍立兴;张玉凤;;含缺陷焊接结构可靠性分项系数安全评定方法[A];第九次全国焊接会议论文集（第2册）[C];1999年
2	武淮生;钟群鹏;应郁平;;含缺陷钛管的结构完整性评定[A];第四届全国压力容器学术会议论文集[C];1997年
3	沈士明;;含缺陷压力管道安全评定工程方法的评述与修正[A];第四届全国压力容器学术会议论文集[C];1997年
4	张正勇;张耀华;刘锦怀;;SnO_2主体材料气敏振荡特性的进一步研究[A];第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2000年
5	罗骐先;傅翔;宋人心;朱大铮;;探测混凝土内部缺陷及厚度的冲击回波法及测试系统[A];工程安全及耐久性——中国土木工程学会第九届年会论文集[C];2000年
6	罗骐先;傅翔;宋人心;朱大铮;王五平;;冲击反射法探测混凝土内部缺陷与厚度的方法及测试系统[A];第五届全国混凝土耐久性学术交流会论文集[C];2000年
7	韩和平;刘立英;张业新;;中厚板埋弧自动焊焊接工艺[A];第三届21世纪中国焊接技术研讨会论文专刊[C];2001年
8	王文东;刘非凡;;二氧化碳气体保护焊工艺在塔机底架制作中的推广使用[A];第三届21世纪中国焊接技术研讨会论文专刊[C];2001年
9	沈士明;朱利洪;;含缺陷压力管道失效载荷的模糊神经网络预测技术[A];第五届全国压力容器学术会议论文集[C];2001年
10	林筱华;;焊缝埋藏缺陷对在用压力容器安全状况的影响[A];第五届全国压力容器学术会议论文集[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	李凤华;YBaCuO超导带材制备的基础研究[D];东北大学;2005年
2	方应翠;镶嵌在SiO_2介质中的纳米晶Si的制备及其光致发光特性研究[D];复旦大学;2005年
3	杨春;ZnO/α-Al_2O_3（0001）薄膜生长初期的模拟研究[D];电子科技大学;2004年
4	曹江林;TiO_2和过渡金属掺杂TiO_2薄膜电极的制备及光电化学性能研究[D];浙江大学;2005年
5	管宗甫;高阿利特水泥熟料的烧成和掺杂阿利特的研究[D];中国建筑材料科学研究院;2005年
6	曹广胜;基于钨和钛的一维纳米材料的水热合成及性质研究[D];浙江大学;2005年
7	魏慧英;氧化物半导体纳米材料的制备及光学性能研究[D];山东大学;2005年
8	黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
9	刘晓;SbSn金属间化合物的制备及其脱硫应用[D];南京工业大学;2005年
10	邹启凡;锂离子电池用尖晶石锰酸锂的合成、结构与性能研究[D];中南大学;2005年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	黄胤彪;民事执行救济制度研究[D];湘潭大学;2005年
2	李丽萍;我国社会团体登记制度研究[D];中国政法大学;2005年
3	殷程鹏;我国现行环境法体系及存在缺陷与对策研究[D];南京农业大学;2005年
4	高志华;单双稀土芳香羧酸配合物的合成、晶体结构及发光性能研究[D];河北师范大学;2005年
5	孙红军;改性二氧化钛纳米粒子光催化性能研究[D];北京化工大学;2005年
6	刘春宁;磺酸掺杂煤基聚苯胺及其共混物的制备研究[D];西安科技大学;2005年
7	吕东辉;国有商业银行公司治理法律问题研究[D];黑龙江大学;2004年
8	亓鹏;SnO_2Co_2O_3Nb_2O_5系列压敏电阻电学性质的研究[D];山东大学;2005年
9	修志亮;磷酸盐纳米发光材料的制备与表征[D];山东大学;2005年
10	赵宜勇;夫妻财产制度研究[D];郑州大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	刘长忠;见利忘义棉包掺杂[N];中国商报;2000年
2	蔡永源;电子世界的保护神[N];中国化工报;2001年
3	;如何界定掺杂掺假[N];中国质量报;2001年
4	记者吴兢;高法高检作出司法解释[N];人民日报;2001年
5	记者原国锋;严禁食品掺“吊白块”[N];人民日报;2001年
6	郭入源;四川又一批农作物缺陷品种“下课”[N];农民日报;2008年
7	李明柱;浅议公民环境权在实践中的缺陷[N];江苏法制报;2008年
8	新加坡南洋理工大学国防及战略研究中心国防研究专家艾得里安·库阿伯纳德·卢本报特约编译郭宣;新加坡建网络化部队但缺陷明显[N];世界报;2008年
9	樊宇明;修补自身缺陷方能挺过寒冬[N];中华工商时报;2008年
10	本报通讯员陈家财;制售缺陷饲料，无须赔偿损失?[N];北海日报;2008年

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