收藏本站
《重庆师范大学学报(自然科学版)》 2005年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展

吴传贵  刘兴钊  张万里  李言荣  
【摘要】:探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求。为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对RO IC的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术;另一方面发展了复合探测器结构设计,已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其NEDT可达20 mK。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王冲;张约品;王金浩;;PMNT粉体的溶胶-凝胶法制备研究[J];宁波大学学报(理工版);2010年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 李甜;铁电薄膜电滞回线的理论分析[D];太原理工大学;2011年
2 王冲;PMNT系热释电红外传感材料的制备与性能研究[D];宁波大学;2010年
3 李龙海;同质InGaAs光伏型红外探测器的计算机模拟[D];吉林大学;2006年
4 吕小平;热释电探测器综合理论模型分析[D];长春理工大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 赵明远,唐艳;非致冷型焦平面阵列设计特性分析[J];传感器世界;2003年02期
2 孙顺明;铁电薄膜的材料系统与功能性质[J];硅酸盐通报;1999年04期
3 任天令,张林涛,刘理天,李志坚;硅基铁电薄膜的电性能研究[J];固体电子学研究与进展;2001年04期
4 唐军,程建功,褚君浩;非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器[J];红外技术;2001年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 阳启明,张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地;MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用[J];半导体技术;2004年10期
2 杜宏伟;魏昕;林悦香;潘志国;江景涛;;LiTaO_3晶片CMP过程的化学去除机理研究[J];半导体技术;2008年03期
3 郭冬云,王耘波,付承菊,于军;MEMS器件中的铁电材料[J];微纳电子技术;2004年03期
4 刘建华,孙杰,李松梅,陈冬梅;不同形貌氧化锌的微波电磁性能研究[J];北京航空航天大学学报;2004年09期
5 王卫林,丘翠环,熊正烨,李智强;铁电粉粒的介电测量[J];江西师范大学学报(自然科学版);2001年03期
6 米晓云;张丽;;改性PZT陶瓷的电学性能研究[J];长春理工大学学报;2006年04期
7 鄢国强,来旭春,周海丽;PbMn_(1/2)Nb_(1/2)O_3粉体的制备及表征[J];材料导报;1999年05期
8 刘立英;侯育冬;朱满康;王波;严辉;;(Na_(0.5)Bi_(0.5))TiO_3基弛豫铁电体相变的研究进展[J];材料导报;2005年08期
9 黄惠东;王志红;路胜博;吴家刚;朱基亮;肖定全;;退火温度对PLT铁电薄膜微结构和电畴的影响[J];材料导报;2006年11期
10 张洪伟;张树人;杨艳;谢和平;相龙成;;锆钛酸铅铁电薄膜电容的研究现状[J];材料导报;2006年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 田晓宝;杨新华;操卫忠;;不同应变率条件下铁电体180°畴结构的力学行为模拟[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
2 张利文;丁铁柱;王强;姜涛;;La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_(3-δ)薄膜的制备及其电学性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
3 朱杰;骆亚娟;孙大志;朱玉丹;金雪琴;;梯度钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3)材料性能的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
4 刘高旻;谢庆海;刘艺;王海晏;贺红亮;;PZT 95/5陶瓷FE→AFE相变区冲击放电规律研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
5 张利文;张胤;王强;张乐;吕宁;孙凯;郭海军;李昭进;王明;;钙钛矿氧化物Eu_(1-x)Sr_xCoO_(3-δ)的结构和性能[A];第十三届(2009年)冶金反应工程学会议论文集[C];2009年
6 董树荣;王德苗;金浩;;微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
7 江勤;姜胜林;张海波;杨智兵;钟南海;;非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
8 马建福;蔡炘富;吴传贵;张万里;;热释电红外探测阵列的工作原理、性能指标及应用[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
9 蔡炘富;马建福;吴传贵;张万里;;用于BST薄膜热释电单元探测器的CMOS放大电路设计[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张光祖;钛酸锶钡场致效应及热释电特性研究[D];华中科技大学;2010年
3 吴云良;扫描近场光学显微镜若干关键技术研究[D];中国科学技术大学;2010年
4 柯常波;NiTi形状记忆合金中Ni_4Ti_3相沉淀行为的相场法模拟研究[D];华南理工大学;2010年
5 康慧珍;光折变表面波激发及其在二次谐波产生中的应用研究[D];南开大学;2010年
6 曾慧中;铁电/AlGaN/GaN半导体异质薄膜的界面表征研究[D];电子科技大学;2010年
7 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
8 朱晓莉;充满型钨青铜铌酸盐陶瓷的结构、介电性能与铁电相变[D];浙江大学;2010年
9 汪川惠;Ba_(1-x)Bi_xTi_(1-y)Mn_yO_3和Bi_(5-x)La_xTi_3Fe_(1-y)Co_yO_(15)多铁陶瓷的磁性、铁电性以及介电性的研究[D];华中科技大学;2011年
10 闻心怡;铁电存储器关键工艺与器件建模研究[D];华中科技大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 侯建伟;电子型铁电体的介电调谐性的研究[D];湘潭大学;2010年
2 王芳;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电纳米管的制备与表征[D];湘潭大学;2010年
3 项尚;BaTiO_3、SrTiO_3及Ba_(1-x)Sr_xTiO_3纳米材料的制备研究[D];湘潭大学;2010年
4 董广军;铁电薄膜的频率依赖关系研究[D];湘潭大学;2010年
5 张军;铁电薄膜界面效应与尺寸效应的研究[D];湘潭大学;2010年
6 许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
7 张燕妮;聚(偏氟乙烯—三氟乙烯)铁电纳米薄膜性能改善的研究[D];华东理工大学;2011年
8 张菲;PZT铁电薄膜与AlGaN/GaN半导体异质结构的集成和性能研究[D];电子科技大学;2011年
9 项卓亮;外场对取向性铁电材料电畴和性能的影响[D];西安工业大学;2011年
10 李甜;铁电薄膜电滞回线的理论分析[D];太原理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成传品;唐明华;叶志;周益春;郑学军;;(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)薄膜退火研究[J];半导体技术;2007年03期
2 李靓,姚熹,张良莹;非制冷热释电薄膜红外探测器热绝缘结构的研制[J];半导体学报;2004年07期
3 陈伟,杜国维,马肇曾,肖治纲,裘宝琴;共沉淀法合成铌镁酸铅──钛酸铅介电陶瓷粉末[J];北京科技大学学报;1995年05期
4 闫军,庄乾章;热释电红外传感器的类别特性及应用[J];长春大学学报;2004年06期
5 王彬;热释电器件结构分析[J];长春理工大学学报;2004年02期
6 王彬;探测器的电流和调制频率的研究[J];长春理工大学学报;2005年02期
7 张伟,姚熹,吴小清;ANSYS在热释电薄膜红外探测器二维热分析中的应用[J];传感技术学报;2004年01期
8 黄传真,艾兴,侯志刚,陈元春;溶胶-凝胶法的研究和应用现状[J];材料导报;1997年03期
9 徐文彬;王德苗;董树荣;;铁电薄膜应用研究进展[J];材料导报;2004年10期
10 黄平;徐廷献;;FRAM用铁电薄膜疲劳问题研究进展[J];材料导报;2006年01期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
2 蔡道林;PZT铁电存储器的研究[D];电子科技大学;2008年
3 吴云翼;钛酸铋系铁电薄膜材料改性研究[D];华中科技大学;2008年
4 郭惠芬;钙钛矿铁电薄膜的制备及其表面微区电学性质研究[D];河南大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 陈宏伟;BST非线性铁电薄膜材料研究[D];电子科技大学;2005年
2 吕业刚;外场作用下的铁电薄膜相变及电畴翻转[D];湘潭大学;2007年
3 龚小刚;PSTT铁电薄膜的制备和性能研究[D];四川大学;2007年
4 李文静;钛酸饿铁电薄膜的改性研究[D];电子科技大学;2009年
5 宁平凡;铁电薄膜的极化疲劳机理研究[D];太原理工大学;2009年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王林泓;热释电红外信号特征分析及人体识别方法研究[D];重庆大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 韩雨;基于晶片键合技术的热释电红外探测器研究[D];中北大学;2011年
2 李晗;便携式智能监控系统的研究[D];长春理工大学;2011年
3 吕璠;热释电红外报警器的设计[D];河北工业大学;2011年
4 卢伟;汽车内饰面板激光弱化系统及其剩余厚度控制研究[D];华中科技大学;2011年
5 杨绪军;晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究[D];中北大学;2012年
6 王敏帅;InGaAs异质结红外探测器特性的计算机模拟[D];吉林大学;2007年
7 林国栋;基于双包层光纤的1550nm放大器和高功率探测器的研究[D];北京交通大学;2009年
8 杜文龙;热释电传感器敏感头的制作与测试[D];中北大学;2010年
9 朱金涞;接触网线夹温度的在线监测[D];西南交通大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李志坚,任天令,刘理天;铁电-硅微集成系统[J];半导体学报;1999年03期
2 孙志君;红外焦平面阵列技术的军用市场展望[J];传感器世界;1999年05期
3 朱惜辰;红外探测器的进展[J];红外技术;1999年06期
4 金伟其,侯光明,刘广荣;非致冷焦平面热成象技术及其应用[J];红外技术;1998年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣;热释电薄膜在红外探测器中的应用[J];红外;2004年03期
2 ;锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法[J];红外;2001年06期
3 胡志高;铁电薄膜光学性质的研究[J];红外;2002年09期
4 于军,董晓敏,赵建洪,周文利,谢基凡,郑远开,刘刚;MF(I)S结构设计对硅基铁电薄膜系统C-V特性的影响[J];无机材料学报;1999年04期
5 高;铁电薄膜极化方法[J];红外;1995年05期
6 陈磊,刘梅冬,曾亦可,饶韫华,李楚容;(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的制备及热释电性能研究[J];压电与声光;1999年01期
7 朱信华,洪建明,李爱东,朱健民,吴迪,周舜华,李齐,刘治国,闵乃本;层状钙钛矿铁电薄膜的层错结构研究[J];电子显微学报;2000年04期
8 任天令,张林涛,刘理天,李志坚;硅基铁电薄膜的电性能研究[J];固体电子学研究与进展;2001年04期
9 喻驰,朱建国,肖定全,袁小武,朱基亮,乐夕;溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铋铁电薄膜[J];压电与声光;2001年02期
10 饶韫华,刘梅冬,卢春如,王培英,吴国安,曾亦可;溶胶-凝胶方法制备PZT铁电薄膜材料的研究[J];功能材料;1994年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈辉;;非理想表面层对铁电薄膜极化率分布的影响[A];创新沈阳文集(B)[C];2009年
2 马建福;蔡炘富;吴传贵;张万里;;热释电红外探测阵列的工作原理、性能指标及应用[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
3 王彪;;纳米铁电薄膜及其相关材料相变性能的尺寸效应研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
4 朱建国;肖定全;刘洪;朱基亮;;多层纳米铁电薄膜介电增强机理[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5 于艳菊;王福平;赵连城;;稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
6 马运新;宋世庚;苏树兵;郑应智;;纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 周易春;;无铅铁电薄膜及其存储器的制备和失效行为[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
8 李金隆;张鹰;李言荣;邓新武;熊杰;;BST类铁电薄膜的最低晶化温度和自组装生长研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 王华;李岩;;Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜Ⅰ-Ⅴ特性的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 张敬民;;用高分辨电子能量损失谱方法(HR-EELS)研究铁电薄膜[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
2 ;“两院”入驻15位上海新院士[N];上海科技报;2005年
3 ;冬季青椒温室栽培法[N];吉林农村报;2006年
4 吴昌红 吴红梅;我省三十多个项目登榜[N];新华日报;2006年
5 组稿 责任编辑 郭易楠;“阳光世博”助推新能源经济[N];上海科技报;2010年
6 曹未仰;春萝卜高产七步曲[N];湖北科技报;2007年
7 记者 周应涛 通讯员 陈应明;市商务局积极缓解蔬菜价格上涨压力[N];孝感日报;2008年
8 任干生;纳米电子陶瓷材料面市[N];中国电子报;2000年
9 姚大鋆;江苏新侨自主创业创新成果喜人[N];新华日报;2007年
10 项城市园林绿化管理处 王广力;家养盆栽君子兰注意啥[N];周口日报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卢兆信;铁电薄膜相变性质的高阶格林函数研究[D];电子科技大学;2011年
2 张芹;铁电薄膜极化性质的理论研究[D];吉林大学;2011年
3 杨锋;铁电薄膜与隧道结存储器件性能模拟及失效机理研究[D];湘潭大学;2010年
4 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
5 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
6 郭惠芬;钙钛矿铁电薄膜的制备及其表面微区电学性质研究[D];河南大学;2010年
7 朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
8 裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
9 刘骁兵;铁酸铋与P(VDF-TrFE)铁电薄膜的制备及性能研究[D];复旦大学;2012年
10 迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
2 许华玉;有机铁电P(VDF-TrFE)薄膜的制备及铁电性能研究[D];湘潭大学;2010年
3 吴勤勇;铁电薄膜残余应力X射线衍射测试方法研究[D];湘潭大学;2010年
4 王震东;PZT铁电薄膜的磁控溅射低温生长[D];南昌大学;2006年
5 杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
6 姚东来;铁电薄膜的物理性质研究[D];苏州大学;2002年
7 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
8 万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
9 翟亚红;铁电存储器的设计及工艺研究[D];电子科技大学;2005年
10 田玥;弛豫铁电薄膜PMN-0.26PT的制备及其性能的研究[D];上海师范大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026